Установка для климатических испытаний полупроводниковых приборов Советский патент 1976 года по МПК H01L21/66 

родниковых приборов. Увеличение ее проиэ -: водительности достигаеГся за счет увеличения транспортной системы,: На показана предложенная |новка в разрезе, Усюновка для климатическ{« испытаний содержит основание 1, вертикальные отсеки 2|3 рабочей камеры и ваклощхый отсек 4,; В объеме, обравованном екгнованием и отсе-i кателямй рабочей камеры, усгановлено загру 13очное устройство 5 (на чертеже показано условно), вклк)чающее кйссежу, многоканаш :яую точку с анкерным меяашгмом и дось лателем, В орнованин 1 расположены вентилятс 6, воздуховод 7, пневмоднлиндры 8 и 9 н разбраковщик приборов 10, Вертикальные и наклонный отсеки вмес те с воздуховодом 7 образуют замкнутый/ ронтур, в котором создан микроклимат для испытуемых приборов,;В этом контуре раэмещеиа транспортно накопительная система, включакицай ненодвижкые стенки 11 н 12 d полками 13, подашкные стенкй 14 и 15 с полками 16, Систему I 24 л1са гелей, состоящую йэ рам Ь 1чишодами 21-24 и крошатейнаш 25, а Tajose из досылателей , Полки 13 и 16 представляют собой шшнкн с пазами, размер которых соот ветствует размеру выпводов приборов.,, КройЧ штейны 25 рам I и 18 выполнены в виде планок с выемкой, форма которой соответствует корпусу транзистора, что позволяет транзисторам согсранять ориентацию от начала траксдортировки до позиции кон тактирования о групповым подключающим усзройстеом 30, Льток 31 предназначен для вьгоода транзисторов иа камеры в раэфаковшик iOe Установка для климатических испытаний; рабо-рает следующим образом, ;Мз загрузочного устройства 5 транзисторы по одному :с помощью анкерного механизма под дейст. вием собственного веса подаются на полку подвижной стенки 14, а досыла-; Тель 27 обеспечивает ИХ точное положение; на дай, Затем подвижная стенка 14 перемешается вверх;на шаг пневмоцилиндром 8, а рама 17 передвигает транзисторы на полку 13 неподвижной стенки 11, После эгогс ;подвижная стенка 14 опускается в исход;«ое положение, рама 18 сдвигает транзио ;торы с полки 13 стенки 11 на полки 16 ;стенкй 14, Таким , цикл за циклом 15 наисторы поднимаются выше, Непрерывю поступая из кассеты загрузочного уст юйстаа 5, транзисторы накапливаются в oi зеке 2 рабочей камеры по высоте. При доо гиженин верхней полки подвижной стенки l4 граизистсфы дорылателем 29 сдвигаются в |гечку ааклонного отсека 4 и, двигаясь под {действием собственного веса, достигают верхней полки 16 подвижной стенки 15, посуле чего начинается перемещение их вниз. На нижней полке неподвижной стенки 12 осуществляется контактирование транзисторов в устройстве 30, После измерения электрических параметров транзисторы переходят на нижнюю полку подвижной стенки 15, откуда досылателем 26 смещаются в лоток 31, а из него попадают в разбраковщик 10, Формула изобретения Установка для климатических испытаний полупроводниковых приборов, содержащая луснование, рабочую камеру с установленным :в ней накопительно-транспортным устройством, загрузочное и разгрузочное устройства, отличающаяся тем, что, с целью повьщдения производительности устано&ки, упрощения ее конструкции и экономии ; производственных площадей, рабочая камера выполнена в виде образующих замкнутый объем двух вертикальных разновысоких от секов и соединяющего нтс наклонного отсека, при этом загрузочное устройство установлено в объеме, образованном основанием и отсеками рабочей камеры. Источники информации, принятые во вни-t мание при экспертизе: 1.Оборудование для производства полупроводниковых диодов и триодов, под редак цией П, Н, Масленникова, Энергия, М,,197О., стр. 145. 2. Электронная промышленность № 1б, 1973, стр. 75 (прототип).