УСТРОЙСТВО для КЛИМАТИЧЕСКИХ ИСПЫТАНИ Советский патент 1972 года по МПК G05D23/30 

Изобретение относится к испытательным оборудованиям и .предназначено для класоификации интегральных схем в условиях глубокого холода илИ тепла с последующей разбраковкой их по группам годности по результатам испытаний.

Известны полуавтоматы для температурных испытаний полупроводниковых приборов, содержащие .проходную термостатированную камеру, механизмы загрузки, выгрузки, транспортирования, разбраковки и щлюзы, предназначенные для уменьшения влияния внешней среды на температурный режим внутра камеры (выполненные в виде форкамеры с управляемыми заслонками).

Однако в таких устройствах во время открывания заслонок шлюза полезный объем сообщается с внешней средой, что отрицательно сказывается на температурном режиме в шлюзе. Кроме того, в полезный объем вносятся изделия, имеюш,ие температуру окружающей среды.

Цель изобретения - исключение нарушений климатического режима во время загрузки и выгрузки изделий.

Для этого предлагаемое устройство снабжено отсеком предварительной термической выдержки и переходньшИ камерами, сообщенными с теплоизолированным объемом посредством шлюзов, выполненных в виде ряда секций, каждая из которых перекрыта упругой диафрагмой с профильным-и вырезом по форме изделия. На фиг. 1 и 2 дана схема предлагаемого

устройства для климатических испытаний с разрезами по Л - Л и Б -Б.

Устройство содержит полезный объем I, заключенный в цилиндрическую рубашку 2 (см. фиг. 2) и служащей для размещения и работы в нем механизма перемещения интегральных схем (ИС); подающий транспортер 3 механизма перемещения; переходную камеру 4; ленту 5 подающего транспортера, натягиваемую колесом 6 и проходящую в отсек 7 предварительной термической выдержки через шлюзовой канал 8, перекрытый эласт1ичными диа фрагмами Я а в секциях между ними- ворсинками 10. Диафрагмы имеют профильные вырезы //, соответствующие профилям

НС 12, и плотно облегают НС. Ротор 13 криволинейного накопителя 14 с помощью наклонного тангенциального съемника 15 связан с подающим транспортером 3, а с помощью наклонного питателя 16 - с устройством для контактирования, посредством ленты 5 отводящего транспортера 18. Контактор устройства для конта.ктирования выполнен из двух частей - верхней (подвижной) 19 « нижней (неподвижной) 20. Отводящий транспорлогичную камере на входе, в переходную камеру и взаимодействует там с разбраковщиком (на чертеже не показан). В отсеке 21 нижней камеры размещены центробежный вентилятор 22, распылитель жидкого азота 23 и нагреватель 24, служащие для создания климатических режимов. Даище 25 отсека, расположенного в верхней части камеры, выполнено перфорированным и служит для равномерной подачи среды в район выдержки н замера ИС 12.

Камера работает следующим образом.

Каждая из ИС попадает на ленту 5 подающего транспортера 3 и неремео;ается с ней через переходную камеру 4, где, в случае испытаний на холод, она осушается (например, патронами с силикагелем, обдуво.м сухим подогретым воздухом и т. д.) н далее через шлюзовой канал 8 попадает в отсек 7. Для исключения влияния внешней среды на среду в полезном объеме канал 8 перекрыт эластичными диафрагмами Я имеющими профильные вырезы 11, пространство между которыми заполнено эластичными ворсинкамИ 10.

В канале постоянно находятся движущиеся вместе с лентой 5 не менее четырех PIC 12, которые плотно облегаются диафрагмами 9, что в сочетании с ворсинками 10, заиолняющимп пространство между нимИ, надежно уплотняет шлюзовой канал 8. После прохода канала 8 ИС попадают в отсек 7 и из него по наклонному съемнику 15 - на криволинейиую линейку накопителя 14. Далее они перемещаются ротором 13 в течение времени, необходи.мого для выдержки в заданном климатическом режиме, а затем ио наклонно.му питателю 16 попадают на ленту 5 отводящего транспортера 18 и в устройство 17 для контактирования. В этом устройстве каждая ИС 12 ориентируется и ()иксируется, затем верхняя подвижная часть 19 контактора опускается и СБОЯМИ контактами прил имает выводы ИС 12 к контактам ппжией неподвижной части 20 контактора на время, необходимое для снятия параметров ИС.

После замера параметров лента 5 отводящего траиспортера 18 через П1люзовой канал п переходную камеру отводит каждую ИС 12 в разбраковщик на разбраковку по результатам испытаний на группы годности. Температура в полезном объеме камеры создается распылением жидкого азота или электрическими нагревателями. Воздух распределяется центробежным вентилятором 22.

Предмет изобретения

Устройство для климатических испытаний, содержащее теплоизолированный объем, щлю31)1, механизмы для перемещения и контактирования изделий, отличающееся тем, что, с целью нсключения нарушений климатического режима во время загрузки и выгрузки изделий, оио сиабжено отсеком предварительной

термической .выдержки и переходными камерамИ, сообщенными с теплоизолированным объемом посредством шлюзов, выполненных в виде ряда секций, каждая из которых перекрыта упругой диафрагмой с профильным вырезом по форме изделия.