Проходная камера для климатических испытаний полупроводниковых приборов Советский патент 1977 года по МПК H01L21/66 

Г1одш1Ж 1Ь е каретки 17-20 соединены тяга ми 23-26 с П-обраэньми паремычжами 27-30. По1следние лосредство рычагов 31-34 и храповых колес 35-38 взаимодействуют с валом 39, соедигненными с приводом возБратыо-поступательного движения 40.

Вал 39 , помощи xpanOtBoro колеса 41 и рычага 42 соадипен с тягой 43, которая вместе с Х|раповым колесом 44 предназначена для период и поворота на шаг барабана-на КО;Пителя 10. В нижней части проходной каморы установлена направляющая 45 выгрузки изделий.

П.роходная -квмера ра ботает следующим образом.

Транзисто1ры, уложенные в технологическую тару-:опутнн1ки или без нее, поступают в теч«у .питателя 1, затем в направляющую 3 механизма загрузки 2, проходят сквозь паз 7 неподвижной направляющей 6 и запружаются в .паз И транопортирующего барабана накопителя 10. Приборы снизу удерживаются диска.МИ (на чертеже не наказаны).

При заполнении наза 11 число за1пружаемых приборов контролируется фотоэлементами (на чертеже не показаны), мехаиизм 2 перемещается на шаг, совмещая направляющие 3 и 4 с пазом 8 промежуточной направляющей 6 и пазо-м 12 барабана-накопителя 10.

По заполнепии паза 12 механизм 2 перемещается еще 1на шаг, со1ВЛ1ещая направляющие 4 и 5 с пазами 9 и 13. После заполнения трех радиально расположенных пазов И, 12 и 13 непрерывно действующий П|ривод 40 с помощью храпового колеса 41 подворачивает рычаг 42, который перемещает тягу 43. Последняя пооредство,м храпового колеса 44 взаимодействует с ба|рабаном-нак0пителем 10 и поворачивает его на шаг. На позип,ии загруаки под промежуточной направляющей 6 устанавливаются свободные пазы i6apa6aiHaнакопителя 10, заполнение которых изделиями осуществляется описанным выше o6ipaзом.

После заполнения каждого ряда пазов ((В радиальном направлении) барабан поворачивается на шаг. Полный оборот барабаиа по времени соответствует времени «выдержки приборов в заданном температурном режиме. Из пазов изделия выгружаются ноштучио.

Вначале изделия выгружаются из паза 11 карет1кой 19, которая посредст1вом хранового колеса 37, рычага 33 и тяг 25, соединенных перемычкой 30, перемешается от исходного положения (Показано на чертеже) нод ступень 16 барабаиа-наконителя 10, сов.мещаясь с пазом 11. В каретку 19,падает один прибор, который она подает до исходного положения, прибор выпадает и через неподвижную направляющую 21 попадает в каретку 20, которая перемещает прибор от исходного положения к подключающему устройству 22, где измеряются элоктричеокие параметры, а при обратном ходе каретки 20 Н1роисходит выгрузка

изделий через направляющую 45 из камеры в сортировочное устройство.

Подобным образом носредст1вом храпового колеса 36, рычага 32, перемычки 28, тяг 24 н каренки 18, :котО|рая заходит под ступень 15, выгружаются изделия из паза 12. Соогветствевно с помощью xipanoiBoro колеса 35, рычага 31, перемычки 27, тяг 23 и каретки 17, которая заходит под ступень 14 (положение карет(ки 17 в момент выгрузки

изделия на чертеже показано пунктиром), выгружаются изделия из паза 13. Каретки 17, 18 и 19 работают поочередно, обеспечивая полную выгрузку соотБетст1вующего паза, в то время как две другие находятся в исходном положении (неподвижны).

После выгрузки последнего nip«6opa из паза 13 б рабан-накапитель 10 поворачивается на шаг, и овобадные пазы 11, 12 и 13 оказьиваются на позиций загрузки.

Формула и 3 о б р е т е н и я

Проходная камера для климатических испытаний полупроводнИ|Кавых приборов, например мощных транзисторов, в технологических

спутниках-носителях, содержащая рабочую камеру, накопительный Т1раиспортирующий барабан с пазами для приборов, разг1рузочное и загрузочное устройства, отличающаяся тем, что, с целью увеличения проиэводительности и коэффициента использования объема рабочей камеры и накопителя, пазы размещены в радиальном направлении на всю глубину барабана, выполненнаго ступенчатым в нижней части, а разлрузочное устройство выполнено в виде кареток с приводом возвратно-поступательного движения, имеющих пазы для спутников с приборами и расположенных на уровне соответствующих ступеней барабана.

Источни ки информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент ФРГ № 1698104, кл. 42/ 12/01, опубл. 1970 г.

2.Те ниче1окое описание устаноаки «Super charger-72, мод 8072, каталог фирмы «Delta

Design, 1972 (прототип).

4J

22

J7