Способ оценки качества очистки и обезгаживания электродов электровакуумных приборов Советский патент 1976 года по МПК H01J9/42 

санеой переходной области. Для большинства ЭВП с МПК эта область соответствует умень. шенйю катодного тока до 0,8-0,9 от величины его в области пространственного заряда. Поэтому в предлагаемом изобретении выбирается для определения критерия качества именно эта область, тем более, что выбираемые значения токов очень близки к реальным токовым нагрузкам на электроды. В случае воздействия на катод загрязнений электрода статический ток, равный по величине импульсному току, в указанной переходной области можно отобрать только при более высОКих напряжениях накала катода. И чем больше воздействие загрязнений на МПК, тем больше разность напряжений накала, при которых в переходной области можно отобрать одинаковые по величине статический и импульсный токи. Следовательно, эту разность напряжений накала МПК можно принять за критерий качества обработки электродов ЭВП с МПК. В случае чистого электрода она равна нулю, а при наличии загрязнений отлична от нуля и по абсолютной величине тем больше, чем больше загрязнений на электроде. Чувствительность предлагаемого способа тем выше, чем меньше загрязнения электрода будут влиять на импульсный катодный ток по сравнению с .влиянием на рабочий статический ток. Условием этого является минимальная длительность и максимальная скважность импульсов прикладываемого между электродом и катодом напряжения. Рекомендуемые длительности 1-2 мкс, скважности - не менее 1000. предлагаемый способ оценки качества обработки электродов ЭВП с МПК может быть с успехом использован на различных этапах изготовления приборов. Например, в процессе разработки технологии откачки Этот способ позволяет выбрать оптимальный режим обезгаживания электродов прибора электронной бомбардировкой. На этапе тренировки приборов этот способ может быть использован как один из методов определения критерия длительности тренировки, зависяшей от степени стабилизации вакуумной чистоты того или иного электрода. Кроме того, предлагаемый способ может быть непосредственно использован как чувствительный способ оценки качества очистки внутриламповых деталей ЭВП различного типа при разработке технологии этой очистки, для чего достаточно поместить исследуемую деталь в вакуумный объем, в котором, кроме этой детали, выполняющей роль анода, должен находиться МПК, и определить описанным способом критерий качества. Формула изобретения Способ оценки качества очистки и обезгаживания электродов электровакуумных приборов с высокотемпературными, например металлопористыми, термокатодами, заключающийся в измерении катодного тока в импульсном и непрерывном режимах при разных значениях напряжения накала, но одинаковых значениях напряжения между катодом и электродом, прикладываемого в этих режимах, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности способа, определяют разность напряжений накала при значениях импульсного и непрерывного катодного тока, равных 0,8-0,9 от уровня его при рабочем режиме катода, и, по этой разности судят о качестве очистки и обезгаживании электродов.