Способ определения вакуума Советский патент 1976 года по МПК G01L21/34 

(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВАКУУМА 12

личины питающего напряжения вызывает пропорциональное изменение |разрядного тока. Для магниторазрядных манометрических преобразователей, у которых поверхность электродов покрыта продуктами крекинга органических соединений, вид указанной saiKOномерности нарушается. Данное явление может быть объясненно нелинейны-м изменением распределения потенциалов поля в объеме ионизации датчика, вызванного как падением напряжения на пленках, так и наведением ,на НИх дополнительных зарядов. Это изменение приводит к нелинейному уходу градуировочной характеристики замасленного преобразователя по отнош-ению к чистому. Таким образом, для обеспечения предлагаемого способа измерения необходимо определить заранее для каждого типа магниторазрядного вакуумметра, датчИК которого тщательно обезгажен и обладает чистыми поверхностями, градуирОВочные характеристики при измененном (пониженном или повыщенном) анодном потенциале. Измеряя затем разрядные токи при номИнальном и измененном анодном потенциале и определив абсолютное значение разности отношений этих токов как при чистом, так и при замасленном преобразователе, оценивают величину ухода градуировочных характеристик, после ч-его судят о давлении.

На фиг. 1 представлены градуировочные характеристики преобразователя при двух различных напряжениях питания датчика: на фиг. 2 - градуировочные характеристики того же преобразователя при тех же режимах питаниЯ, но после наработки преобразователя в течение 100 час на вакуумной системе с принудительным замасливанием.

Представленные характеристики получены на магниторазрядном преобразователе инверснонмагнетронного типа ПММ-32-1. Аналогичные результаты были получены и на других типах магниторазрядных датчиков. Из графиков видно, что по предлагаемому способу можно оценить величину погрешности изМбрения в зависимости от замасливания преобразователя.

Способ определения вакуума был реализован на конвейерной линии откачки кинескопоз. Преобразователи типа ПММ-32-1 запитывались от устройства, имеющего на выходе две величины напряжения питания (2,5 и 4,0 кВ). Испытания показали, что, используя предлагаемый способ, можно контролировать погрешность измерения с достаточной точностью И оценивать состояние датчика при его замасливании.

Формула изобретения

Способ определения вакуума с помощью магниторазрядного манометрического преобразователя путем измерения постоянной составляющей ионного тока, отличающийс я тем, что, с целью определения выхода градуировочной характеристики преобразователя за пределы допустимой погрешности, обусловленной наличием паров масла в объеме конизации и замасливанием электродов преобразователя, измеряют ионный тон при номинальрюм напряжении питания, фиксируют значение давления по градуировочной характеристике и определяют для этого значения давления отношение между измеренным током и ионным током, полученным ранее на чистом цреобразователе при повышенном или пониженном анодном потенциале, затем измеряют ионнный ток при таком же анодном потенциале, берут отношение между измеренными ионными токами и по абсолютному значению разности между полученными отношениями оценивают величину погрешности измерения, после чего судят о величине давлеН1ИЯ.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.Дж. Лекк «Измерение давления в вакуумных системах. М., 1966 г.

2.Авторское свидетельство № 417702, М. Кл.2 G 01 L 21/34, 1974. (-прототип).

ю

6 д ff S 7