(54) СОРБЦИОННЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ВЛАЖНОСТИ ГАЗОВЫХ СРЕД
Ha чертеже показана структурная сасёма предлагаемого щ еобраэователя. Ссфбци- онный щэео азователь влажности газовых сред содержит токоподаодящке электроды 1 и 2, поверхностно-активную пленку 3,
аодоиап}эоницаемую диэлектрическую пленку 4. V. основание подложку 5 а виде массивного диэлектрика. Сплошная тонкая 1пленка диэлектрика с одной стороны исключает щэоийсновенне к электродам молекул И ионов, содержащихся во влагочуветв тельном слое пре-образователя и тем caivibiM повышает надежность и стабильност egro работы, а с другой стороны значительное уменьшение толшины диэлектрическсмго защйтйогр слоя, за счет применения ваку умно наййпённой пленки толщиной в несKCWibKo: тысяч ангстрем, вместо листового диэлектрика в десятки раз повышает чув ствнт0льнрсть к малым приращениям влаж«Ы 5 И4 .Вторая пленка растворима в воде Ъ яф(Л яется noBepxHocTHo-aKTHBHbDvi веществом (fJAB) и способствует равномерному .распределению адсс бированной воды по поьерхмости диэлектрической пленки и
о6разо 1аишо нроаодящего слоя. Наличие плеЫкм ПАВ резко уменьшает влияние Н« ко тлексное сопротивление преобразо1 вт«ля растворимых в воде частиц н газов, ойеДающюс на его пов1ерхности из исследуемой газовой среды.
Технико-оконояическая эффективность предлвгаемого праобразойателя выявлена 1 ocgiOBeHHH опытной проверки более пяти////
J.f/ ..- .
сот образцов. Результаты испытаний показывают, что 7О % из них имеют разброс параметров в пределах -5% ртноситель-г ной влажности таким о(5разом существенно возрасла их взаимозаменяемость и точность.
Формула изобретения
Сорбционный преобразователь влажнооти газовых сред, содержащий диэлектрическую подложку с закрепленными на ней электродами, изолированными от окружающей среды диэлектрической пленкой, отличающийся гем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерения малых приращений влажности газовых сред, диэлектрическая пленка покрыта активной пленкой в виде композиции поверхностно-активных веществ при следующем соотношении компонентов, об.%:
Алкилтриметиламмоний Хиорид5-2О
Вьчэавниватель А5-15
Клей БФ-63-5
Спирт этиловыйостальное
Источники информации, во вниман1{е при экспертизе:
1.Патент США № 355О57, кл. 33834, 2О.11.68.
2.Авторское свидетельство СССР 160355, М. Кл. 2 QO1 N 27/22, 1962 (прототип).
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БЕСКОНТАКТНОГО ДАТЧИКА | 1991 |
|
RU2009477C1 |
Датчик влажности газов | 1980 |
|
SU935773A1 |
Способ определения состава газа | 1980 |
|
SU862684A1 |
Емкостный датчик | 1980 |
|
SU898312A1 |
ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫЙ МАССИВНЫЙ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ КАЛОРИМЕТР | 2013 |
|
RU2521208C1 |
Преобразователь влажности газов | 1984 |
|
SU1223117A1 |
ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ДЕТЕКТОР | 2019 |
|
RU2718133C1 |
ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИ | 2016 |
|
RU2647168C2 |
Способ изготовления МДП-структур на основе InAs | 2015 |
|
RU2611690C1 |
УСТРОЙСТВО ВОЗБУЖДЕНИЯ ОБЪЕМНОГО РАЗРЯДА В ПЛОТНЫХ ГАЗАХ | 1990 |
|
RU2030046C1 |
Авторы
Даты
1977-01-25—Публикация
1975-07-28—Подача