Устройство для травления металлических пленок Советский патент 1977 года по МПК C23F1/02 

Описание патента на изобретение SU544713A1

1

Изобретение относится к радиоэлектронной промышленности и может быть использовано при производстве пленочных резисторов, конденсаторов и микросхем.

Известно устройство, использующее анодную головку для нанесения гальванических покрытий на металл. Основными конструктивными элементами данного устройства является корпус, анод, ввод для электролита и тампон 1.

Однако это устройство предназначается .только для монополярного включения обрабатываемой детали в электрохимическую цепь, т. е. или только в качестве катода, или только в качестве анода.

Цель изобретения - повышение равномерности травления.

Это достигается тем, что в устройстве для травления металлических пленок, содержашем подвижные электроды с закрепленными на них тампонами, смоченными электролитом и соединенными с источником переменного тока, электроды выполнены прямоугольного сечения и размещены на общем изоляционном основании, причем расстояние между электродами равно ширине тампонов.

На чертеже представлены общий вид устройства и схема включения в электрическую цепь стравливаемой пленки.

Устройство состоит из корпуса (основание)

1, выполненного из изоляционного материала; двух одинаковых электродов 2 из проводников первого рода, смонтированных на корпусе 1и подключенных к источнику переменного тока; двух одинаковых тампонов 3 из пористого материала (фетр, войлок), смоченных электролитом и контактирующих с электродами; стравливаемой пленки 4; изоляционной прокладки 5.

Материал электродов выбирается таким образом, чтобы они могли работать в качестве катодов и в качестве нерастворимых анодов в одном и том же электролите. Степень смачивания тампонов, вырал енная отношением веса тампона после и до смачивания, быть в пределах 1,5-2,0.

Устройство работает следуюшим образом. Биполярный блок приводится в соприкосновение со стравливаемой пленкой 4, вручную

или механически обеспечивается относительное перемещение блока и пленки. Тампоны блока имеют площади касания с пленкой в виде симметрично расположенных прямоугольников, между которыми заключен участок пленки, щириной ав. При включении тока электрохимическая цепь замыкается по схеме: один полюс источника тока - электрод- тампон 3 - стравливаемая пленка 4 - тампон 3 - электрод - другой полюс источника тока. Электрохимические процессы идут

Похожие патенты SU544713A1

название год авторы номер документа
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ НА ИНСТРУМЕНТ СО СЛОЖНОПРОФИЛЬНЫМИ РАБОЧИМИ УЧАСТКАМИ ПОВЕРХНОСТЕЙ 2013
  • Ненашев Максим Владимирович
  • Деморецкий Дмитрий Анатольевич
  • Ибатуллин Ильдар Дугласович
  • Журавлев Андрей Николаевич
  • Марков Александр Сергеевич
  • Кретов Сергей Сергеевич
  • Дурницын Константин Сергеевич
RU2557406C2
СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ 2002
  • Остапенко Василий Васильевич
  • Бялик Гаррий Абрамович
  • Ткач Олег Николаевич
RU2299934C2
Прибор для электрохимического маркирования 1978
  • Смоленцев Геннадий Павлович
  • Едемский Николай Николаевич
SU730520A1
ЭЛЕКТРОСТИМУЛЯТОР ЖЕЛУДОЧНО-КИШЕЧНОГО ТРАКТА 1997
  • Терехин Ю.В.
  • Угадчиков А.Л.
RU2134595C1
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ОТСЕЧЕК НА ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕЕ ПОЛЕ ИЗДЕЛИЙ ОСТЕКЛЕНИЯ 1981
  • Бутенко В.А.
  • Гуськов В.С.
  • Симакова В.А.
RU987931C
АМПУЛЬНЫЙ ХИМИЧЕСКИЙ ИСТОЧНИК ТОКА И СПОСОБ ЕГО СБОРКИ 2016
  • Барнашов Сергей Анатольевич
  • Верещагин Александр Иванович
  • Загайнов Владимир Александрович
  • Лихотникова Татьяна Петровна
RU2653860C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ФАСОННЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ 2008
  • Долгих Анатолий Михайлович
  • Коноплянкин Сергей Владимирович
RU2392097C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ КОНВЕЙЕРНОЙ ЛЕНТЫ 1992
  • Вортман И.З.
  • Иоссель Ю.Я.
  • Липатов В.В.
  • Семенов Ю.Н.
RU2026807C1
КИСЛОТНЫЙ АККУМУЛЯТОР 2000
  • Григорчук В.С.
RU2185692C2
УСТРОЙСТВО АДАПТИВНОГО УПРАВЛЕНИЯ СМАЗОЧНЫМ ДЕЙСТВИЕМ 2012
  • Любимов Дмитрий Николаевич
  • Долгополов Кирилл Николаевич
  • Вершинин Николай Константинович
  • Иванов Алексей Евгеньевич
RU2493380C1

Иллюстрации к изобретению SU 544 713 A1

Реферат патента 1977 года Устройство для травления металлических пленок

Формула изобретения SU 544 713 A1

SU 544 713 A1

Авторы

Фаличева Анфиса Ивановна

Соловьева Нина Андреевна

Даты

1977-01-30Публикация

1975-11-17Подача