1
Изобретение относится к радиоэлектронной промышленности и может быть использовано при производстве пленочных резисторов, конденсаторов и микросхем.
Известно устройство, использующее анодную головку для нанесения гальванических покрытий на металл. Основными конструктивными элементами данного устройства является корпус, анод, ввод для электролита и тампон 1.
Однако это устройство предназначается .только для монополярного включения обрабатываемой детали в электрохимическую цепь, т. е. или только в качестве катода, или только в качестве анода.
Цель изобретения - повышение равномерности травления.
Это достигается тем, что в устройстве для травления металлических пленок, содержашем подвижные электроды с закрепленными на них тампонами, смоченными электролитом и соединенными с источником переменного тока, электроды выполнены прямоугольного сечения и размещены на общем изоляционном основании, причем расстояние между электродами равно ширине тампонов.
На чертеже представлены общий вид устройства и схема включения в электрическую цепь стравливаемой пленки.
Устройство состоит из корпуса (основание)
1, выполненного из изоляционного материала; двух одинаковых электродов 2 из проводников первого рода, смонтированных на корпусе 1и подключенных к источнику переменного тока; двух одинаковых тампонов 3 из пористого материала (фетр, войлок), смоченных электролитом и контактирующих с электродами; стравливаемой пленки 4; изоляционной прокладки 5.
Материал электродов выбирается таким образом, чтобы они могли работать в качестве катодов и в качестве нерастворимых анодов в одном и том же электролите. Степень смачивания тампонов, вырал енная отношением веса тампона после и до смачивания, быть в пределах 1,5-2,0.
Устройство работает следуюшим образом. Биполярный блок приводится в соприкосновение со стравливаемой пленкой 4, вручную
или механически обеспечивается относительное перемещение блока и пленки. Тампоны блока имеют площади касания с пленкой в виде симметрично расположенных прямоугольников, между которыми заключен участок пленки, щириной ав. При включении тока электрохимическая цепь замыкается по схеме: один полюс источника тока - электрод- тампон 3 - стравливаемая пленка 4 - тампон 3 - электрод - другой полюс источника тока. Электрохимические процессы идут
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ НА ИНСТРУМЕНТ СО СЛОЖНОПРОФИЛЬНЫМИ РАБОЧИМИ УЧАСТКАМИ ПОВЕРХНОСТЕЙ | 2013 |
|
RU2557406C2 |
СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ | 2002 |
|
RU2299934C2 |
Прибор для электрохимического маркирования | 1978 |
|
SU730520A1 |
ЭЛЕКТРОСТИМУЛЯТОР ЖЕЛУДОЧНО-КИШЕЧНОГО ТРАКТА | 1997 |
|
RU2134595C1 |
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ОТСЕЧЕК НА ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕЕ ПОЛЕ ИЗДЕЛИЙ ОСТЕКЛЕНИЯ | 1981 |
|
RU987931C |
АМПУЛЬНЫЙ ХИМИЧЕСКИЙ ИСТОЧНИК ТОКА И СПОСОБ ЕГО СБОРКИ | 2016 |
|
RU2653860C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ФАСОННЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ | 2008 |
|
RU2392097C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ КОНВЕЙЕРНОЙ ЛЕНТЫ | 1992 |
|
RU2026807C1 |
КИСЛОТНЫЙ АККУМУЛЯТОР | 2000 |
|
RU2185692C2 |
УСТРОЙСТВО АДАПТИВНОГО УПРАВЛЕНИЯ СМАЗОЧНЫМ ДЕЙСТВИЕМ | 2012 |
|
RU2493380C1 |
Авторы
Даты
1977-01-30—Публикация
1975-11-17—Подача