Устройство для травления металлических пленок Советский патент 1977 года по МПК C23F1/02 

1

Изобретение относится к радиоэлектронной промышленности и может быть использовано при производстве пленочных резисторов, конденсаторов и микросхем.

Известно устройство, использующее анодную головку для нанесения гальванических покрытий на металл. Основными конструктивными элементами данного устройства является корпус, анод, ввод для электролита и тампон 1.

Однако это устройство предназначается .только для монополярного включения обрабатываемой детали в электрохимическую цепь, т. е. или только в качестве катода, или только в качестве анода.

Цель изобретения - повышение равномерности травления.

Это достигается тем, что в устройстве для травления металлических пленок, содержашем подвижные электроды с закрепленными на них тампонами, смоченными электролитом и соединенными с источником переменного тока, электроды выполнены прямоугольного сечения и размещены на общем изоляционном основании, причем расстояние между электродами равно ширине тампонов.

На чертеже представлены общий вид устройства и схема включения в электрическую цепь стравливаемой пленки.

Устройство состоит из корпуса (основание)

1, выполненного из изоляционного материала; двух одинаковых электродов 2 из проводников первого рода, смонтированных на корпусе 1и подключенных к источнику переменного тока; двух одинаковых тампонов 3 из пористого материала (фетр, войлок), смоченных электролитом и контактирующих с электродами; стравливаемой пленки 4; изоляционной прокладки 5.

Материал электродов выбирается таким образом, чтобы они могли работать в качестве катодов и в качестве нерастворимых анодов в одном и том же электролите. Степень смачивания тампонов, вырал енная отношением веса тампона после и до смачивания, быть в пределах 1,5-2,0.

Устройство работает следуюшим образом. Биполярный блок приводится в соприкосновение со стравливаемой пленкой 4, вручную

или механически обеспечивается относительное перемещение блока и пленки. Тампоны блока имеют площади касания с пленкой в виде симметрично расположенных прямоугольников, между которыми заключен участок пленки, щириной ав. При включении тока электрохимическая цепь замыкается по схеме: один полюс источника тока - электрод- тампон 3 - стравливаемая пленка 4 - тампон 3 - электрод - другой полюс источника тока. Электрохимические процессы идут