Способ измерения скорости испарения веществ в вакууме Советский патент 1977 года по МПК C23C13/00 

1

Изобретение отиоснтея к нолученню тонки.х пленок в вакууме, точнее к еиособам измерения динамических параметров в процессе испарения материала и получення пленок.

Известен сноеоб измерения скорости испарения 1, основанный на измерении тока насыщения ПОЛОЛСИТеЛЬНЫ.Х НОНОВ с ПОМОН11 Ю

разделения положительно и отринательно заряженных нотоков во всем паровом объеме. Этот способ требует применения высоких isaнрялчений, которые оказывают cyniecTiieHHOc влияние на сте.хиометрпческий cocTais TOIIKOU пленки.

Наиболее близки.м техничееким решением к изобретению являетея сноеоб iLiMCpeiniH скорости испарения вешеетв в вакууме посредством измерения тока термоэлектронноГ эмиссии испаряемого вещеетва 2.

Этот способ не обеспечивает достаточной точности измерения скорости испарения в вакууме веществ, частично диссоциированных в расплаве (например, твердых электролитов типа , KAgf4l5), из-за номех, создаваемых током отрицательных попов. Кроме того. в процессе измерепий оказывается нл)яипе па стехиометрический состав пленки.

Цель изобретеппя - повышение точпостп измерения скорости испарения в вакуу.ме веществ, частично диссоциированных в расплаве, при одиоврсменгюм сохрапенип стехпометрпи цлепки по отпоп1епию к испаряемому веществу.

Это достигается тем, что поток пспаряющихся частиц модулируется переменным электрическим полем и измеряется а.мплитудное значепие частотно-модулированного тока насыщения электродов, эмиттированных новерхиостью испарения.

Апалнз вольт-амперных характеристик при испарении расс.матрпваемых вепгеств показывает, что ток пасыщепия электронов наблюдается при пизких плправлеппях (порядка В).

Г1а чертеже показана возможная схема реал пз а ЦП и п р едл а га смого способа.

Датчик включает в себя тпгель 1 с испаряемым веи1сством. К поверхностп исиареппя подводят проволочный электрод (катод) 2. Тигель обхватывается цилипдрической сеткой 3 и цилиндрическим коллектором 4 отрицательно заряженных частиц (анодом).

От регулируемого источника 5 поетоянного напряжеппя прикладывается напряжепие меж;;у 11оверх1:(1стью испарения и коллектором. ;;остат()чиоо Дя пол че:;1 я тока пасыщения -|.1ект юпов.

От псточнико;; ( нег ысоких импульсных папряжений между :о;зерхп(1стыо нсп; реппя и сеткой прикла;и ;вае1ея Г1апряженпе с частоой / (напряжение раскачки). Это нан)яжейие модулирует электронный поток ло частоте и слабо влияет на поток тяжелых отрицательных ионов и комплексов. На нагрузочном сопротивлении 7, включенном в анодную цепь, при помощи измерителя 8 амплитудного значения переменной составляющей, измеряют амплитуду напряжения на частоте /, нропорциональную току насыщения электронной составляющей. Это значение и определяет скорость испарения вещества, так как является функцией величины поверхности испарения и температуры.

Формула изобретения

Способ измерения скорости испарения веществ в вакууме посредством измерения тока термоэлектронной эмиссии испаряемого вещества, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности измерения скорости испарения в вакууме ,еств, частично диссоциированных в расплаве, при одновременном сохранении стехиометрии нленки но отнощению к испаряемому веществу, поток испаряющихся частиц модулируется переменным электрическим иолем и измеряется амплитудное значение частотно-модулированного тока насыщения электронов, эмиттированных поверхностью испарения.

Источники информации, нринятые во внимание при экспертизе:

1.Авт. св. К° 328215, кл. С 23с 13/00 12.11.1971.

2.Авт. св. К° 297303, кл. С 23С 13/00, 14.12.1970.