Способ определения разнотолщинности пьезокварцевых пластин Советский патент 1977 года по МПК G01N29/04 

(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗНОТОЛЩИННОСТП ПЬЕЗОКВАРЦЕВЫХ ПЛАСТИМ

1

Изобретение касается неразрушающего контроля и может использоваться при иэмерении разно толщинных плоских пьезоквар цевых пластин.

Известен способ определения толщины пьезопластин, по которому измеряют спектр дебаевских шумов и по ним судят о толщине пластины.

Однако известный способ определения толщины пьезопластины имеет низкую точ- ность измерения, связанную с трудностью измерения небольших амплитуд и дебаевских шумов 1 . ,

Известентакже способ определения разнотолщинных плоских пьезокварцевых пластин, по которому контролируемую пьезокварцевую пластину помешают между двумя возбуждающими электродами, которые подключены к генератору, и измеряют частоту пооледовательного резонанса пластины 23 .

Недостаток известного способа определения разнотолщинносги пьезокварцевых пластин заключается в том, что при контроле невозможно сохранение воздушного зазора

между электродами, и поэтому получаи/г низкую точность измерения,

Кроме того, недостаткам ГИЗБесгпого способа ПЕШяются Е5ысо:кая грудоог-.1кость и недостаточная производи т агшиосгь.

С целью повышения точности контроля и упрощения процесса измерения, определяют величину девкащш частопл колебаг1Т й генератора ггрй пагвмещеш 150збу клаюишл электродов по гармо1тческо ;у закону RT оси до края пьеаокварцевой пласткнзл п вращении их вокруг оси пластишл.

Способ (осуществляется. следующим образом.

Контролируемую пьезокварцевую пластину помещают между двумя возбуждаюншми электродами, которые подключены к гене- ратору, перемещаю их от оси до края пластины по гармоническому закону.

Так как частота последоваг ельного розонапса цьезокварцевой пласгины зависит от толщины активной зоны пластины, заклк ченной между электродами, при перемеще НИИ возбуждающих, электродов изменяется частота колебаний кварцевого геи.ератора ,

которые оказываются промодупированы по частоте. При этом частота модуляции равна частоте перемещения возбуждающих электродов,а /девиация частоты определяется рааностью толщины активной зоны пластнны в области перемещения электродов, что позволяет путем измерения девиацин частоты. генератора оп юделить величину разнотолщинности I пьезокварцевой пластиш 1. Причем ({змеритель глубины девиации может быть проградуирован непосредственно в значениях разнотолщинности пластины.

Пря оценке разнотолщинности пьезокварцеврй пластины необходимо определять зоны максимальной разнотоящинности, т.е. определять направление клиновидноети плас.тины, что позволит провести ее исправление. Указанные зоны могут быть определены по максимальному значению девнацин частоты колебаний генератора при вращении плоскости перемещения электродов вокруг оси пластины.

Предложенный способ измерения разнотолшинности плоских пьезокварцевых плао тин более эффективен, в том случае ; когда, площадь возбуждающих электр1оаов значительно меньше площади Ш1аствяы По этому способу измерения приращение частоты последовательного резонанса oneiufвается за каждый период модулнруюшей частоты, поэтому почти полностью исключает ся погрешность за счет факторов, оказывающих дестабилизирующее влияние на параметры и характеристики пьезокварцевой пластины.

Формула изобретения

Способ определения разнотолщинности пьезокварцевых пластин, заключающийся в гом, что контролируег 1ую пьезокварцевую niiacrmif помещают между двумя возбуждающими электродами, которые подключеныТ к генератору, и измеряют частоту последовательного резонанса пластины, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности контроля и упрощения процесса иэмерввня, определяют величину девиации чш;тоты колебаний ген атора при перемещении возу буждаюших электродов по гармоническому закону от оси до края пьезокварцевой пластины и вращении вокруг оси пластины.

Источники информации, принятые во-лвнимание при экспертизе:

2,Авторское свидетельство № 456351, кл. Н 9/ОО, 1972 г.