Способ изготовления фотокатода Советский патент 1977 года по МПК H01J9/12 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОКАТОДА

Изобретение относится к фотоэлектронной технике, в частности к способам, изготовления фотокатодов. Известны способы изготовления фотокат дов на основе соединений типа А В , вкл чающие активировку цезием при повышенной темлерэлуре ij . Полученные фотокатоды не обладают высокой HjBCTBHTenbHост Известны способы активфовки фотока- тодов на основе соединений типа А В цезием при пониженных температурах ( 100°С). Они обеспечивают высокую фоточувствительность катодов, но стабильность фото увствительности при этом невысока Целью изобретения является повышение стабильности фоточувствитеяьности. Поставленная цепь достигается тем,что после окончания низкотемпературной активировки повышают температуру до 1ОО150 С, активируя при этом фотокатод цезием давление паров которого повышают в процессе нагрева, затем выдерживают фотокатод при указанной температуре, активируя при STOvi цезием при постоянном давлении его паров до тех пор, покз vj./ir-чувствительность не перестанет изх;лл(яться. После этого понижают температуру до комнатной, активируя при этом пезпем, давление паров которого в процессе охлаждения. Для повышения давления ларов цез;;я во время нагрева и понижения давг о};1;я во время охлажде.шш используют буфорпы;г источник цезЕя, содержащий вешоство, -le полностью вступившее в реакшпо с цезием. После низкотемпературного прогрева фотокатода (т. е. перед non-beNJOM температуры до 1ОО - 150°С) фотокатод подвергают воздействию кислорода или фтора. В результате стабильность фоточувствительности возрастает. Формула изобретен Способ изготовлен ш фотокатода из соединения типа А В , включаюший активировку цезием при температ ре ниже до максимума фоточувствительности, о т-

пинающийся тем, что, с цепью повышения стабильности фоточувствитепьности, поспе окончанкя низкотемпературной активировки повышают температуру до 100 - 150°С, активируя при этом цезием, давление которого повышают в процессе нагрева, затем. выдерж11вают фотокатод при указанной температуре, активируя при этом цезием, при постоянном давпении его паров до тех пор, пока фоточувствительность не перестанет изменяться, поспе чего понижают температуру до комнатной, активируя при этом цезием, давление паров которого снижают в процессе охпаждентш.

Источники информации, принятые во вкнманке при экспертизе :

l.J.J-ns-t.Te6ev. E-ng-r-s.Joipoi-n 1966, 20, № 3, с. 199.

2. Патент США № 3669775, кл. 117224 1972 г. (прототип).