(54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК ОКИСЛА ЖЕЛЕЗА 3 полупрозрачных фотошаблоно гографической обработки пи пленок Fe, 0 осажденны при 14О-2ОО°С. Пример 1. - 1ОО Пример d-l,i9 КВгТемпература осаждения скорость транления 40 А/с ный размер штриха 3 мкм. Пример 3. HCPd,H9 - 100 КВг- 25 CujCtj- 16 Н,0- 80 Температура осаждения скорость травления 30 А/с размер штриха 3 мкм. 04 Формула изобретения Раствор для травления пленок акисла же леза, Например при получении рисунка фотошаблона, содержащий соляную кислоту, воду, галогеиид калия и соединение меди с хлором, отличающийся тем, что; с увеличения скорости .травления в повышения точности воспроизведения рвсунка фотошаблона, в качестве галогенида калив ов содержит бромистый калий, а в качестве соединения меди с хлором хлоонстую Медь при следующем соотношении исходных компоненгов, г: 3-25 Бромистый калий 1,1-16 Хлористая медь 20 - 8О Остальное. Соляная кислота Источники информации, принятые во внимание нри экспертизе: 1. Патент ФРГ № 3 1О2517,кл. 48dl/OO, 28.09,61.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Раствор для катодной обработки тугоплавких металлов перед нанесением гальванических покрытий | 1976 |
|
SU697552A1 |
| СПОСОБ ЛОКАЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ГАЛЛИЯ | 1991 |
|
SU1814446A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРОННЫХ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИХ ДОРОЖЕК НА ПОДЛОЖКАХ АНОДИРОВАННОГО АЛЮМИНИЯ | 2019 |
|
RU2739750C1 |
| Состав для травления железоокисных слоев | 1978 |
|
SU715610A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНОГО КОРРОЗИОННО-СТОЙКОГО ЭЛЕКТРОДА | 2011 |
|
RU2456379C1 |
| Позитивный фоторезист | 1981 |
|
SU1068879A1 |
| ФОТОПОЛИМЕРИЗУЮЩАЯСЯ КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ СУХОГО ПЛЕНОЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА | 1999 |
|
RU2163724C1 |
| Фотошаблон и способ его изготовления | 1978 |
|
SU938338A1 |
| РАСТВОР ДЛЯ РАЗМЕРНОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК ФТАЛОЦИАНИНА МЕДИ | 1995 |
|
RU2090652C1 |
| Способ изготовления печатной формы для офорта и травильный раствор для его осуществления | 2019 |
|
RU2699750C1 |
