Устройство для дозирования жидких диффузантов в поток газа-носителя Советский патент 1977 года по МПК G01F13/00 

фузанга в дозирующем сосуде задается и подцерживаатся нагревательным устройством, 1S По мере испарениа жидкого диффуэанта в дозирующем сосуае 1 уровень t его уменьшается, и при неизменной температуре диффузанта увеличивается интенснввость-. парообразования, что влечет к от клоиевшо в сторову увеличения концентраНИИ паро-гааовой смеси от заданного уров« to ня Для лрецизиовного поддержаввг уровня t в дозирующем сосуде лоследний сооб щен с сосудом-пптателел 9 двумя патрубками 14 в 15, одна вз кото{%1к (трубка 14 соединена с сосудом штателем через его дно, а другой ее Kojueat опущен в доанруюищи сосуд ниже уровня д фузакта. Вер НИИ конец трубки 15 соедвнш{ с аеркней полостью сосуда-питатеяй, а ее нижней ко нец, опутаешш1й в дозкруювшй сосуд вмеет с тораа сре% пяосгдастькоторого располо« жена под углом к горизонтальной плоскости П0 уменьшает |рашшдействук щэпю Сия поверхностного ват5зжш;0а яшдкого диффу шта во вяодном этой трубка и углен1Е ивер шош1ость itps подпнтае дгффузан том доз}фушщвго сосуда. При ум зЕЬшеййи уровня диффузанта в до эдруюгцем сосуд© обраэзг гся свобод1«зв прсн странство между noBepsutKiTbso диффузанта и торйом 15, 0 каугоро© поступает пар и, поднимаясь вверх но трубке, направ ляэтся в верхшок полость сосуд -тштателя 9, Б это время на изосуда-яитатвла двф фузант перетекает по трубке 14 а дозирующий сосуй teo ypo&HSE 11 ойределйе мого пощЕЫМ перек|: ытн«ё 1«1 оеЧевая среза трубки 15, в результате чего бырешяввает ся давлекве tpoa днффузанта в сосуде-шн тателе и до рз1ашем; сосуде а прекращае ч ся подошгка последнего. Прк ггаследуюшем уменьшении уровня i: в дозирующем cs суде операция его ПОДПИТКЕ повторяется. Таким в дозирующем сосуде Ш омат0ческ11 поддерживается заданшэ1й уровень дпффузанта я тем самым обеспечв вается жесткая стабилизация концентрашш паро газовой смеси отводимой нз смеснтеп 5 вой камеры 2 чбрез штуцер 13 в реакан) онную камеру. Управление ковцентрацней паро-газовой смеси в гфедлагаемом дозаторе осушествл етса клапаноь -регулятором 4 за счет иэмш:ения зазора между корпусом 5 и поверхностью дкффузиоююй трубки 3, приводящего к изменению величины диффузионного сопротиштениг. Уве/шченяе этого зазора при водят к уменьшенгао диффузионного сопро тивления и новышенгао уровня ионцентрапги перо-газовой смеси в потоке газа-носителя а с уменьш вем зазора увепнчивается двф фушоввое сопротввленве в уровень конаев трацнк паро гааовой смеси ум гьшаетсб. Дозатс жидких диффузантов в поток носителя может быть использован в днф фузионш х системах автоматизированных линий с управлением технрлогнчео КИМ процессом от электроннохвычЕслйтель ныхмашин при производстве микрощ иборов. { длагаемое устройство позволит улра&аятъ кошхентраоией паро-газовой смесв в широком диапазоне при непрерывном доаг ровании и тем самым повкюить качество ДИФФУЗИОШ1ЫХ слоев по электрофизическим свойствам, воспроиадаодимость их па|эаметров и выход годных мшфопрвборов. Ф о р м у ла изобретеввз Устройство для дозирования жидких днф фуэантов 6-потоктаза-носителя, содержащее устаноеле{шые в термостатнруемом корпусе дозирующий сосуд и смесительную камеру, соединенные диффузионной трубкой, отличающееся тем, что, с аел1« улучшения управления концентрацией диф фузантов в потоке, диффузионная жена кпапанок -регулятором, выполненным в виде конуса с вершиной, обращаемой в наг вленнв диффузионного потока. Источники иш{)ормации, принятые во вн0 манне при экспертизе: 1,Авторское свидетельство СССР №186217, 13/ОО, 1962. 2.Авторское свидетельство СССР i 231148, клг Q 01 F 13/00, 1964.

.--Л flagff-sasoSee