Осадительная центрифуга Советский патент 1977 года по МПК B04B1/20 

(54) ОСАДИТЕЛЬНАЯ ЦЕНТРИФУГА

НИИ, стекает вниз под действием сил тяжести, затем через сливные окна фланца сливается в приемную кольцевую камеру и далее поступает в емкость для сбора фугата или непосредственно на рабочие операции.

В тех случаях, когда фугат подается непосредственно на рабочие операции, ванна (суспензия) после каждой остановки центрифуги загрязняет фугат, в результате чего значительно снижается качество готовой продукции, что имеет место, в частности, при химико-механической обработке полупроводниковых пластин.

Целью изобретения является предотвращение попадания суспензии в фугат при периодических остановках центрифуги и повышение таким образом чистоты фугата.

Это достигается тем, что в предлагаемой центрифуге в приемной камере фугата на фланце ротора по окружности установлены лопатки, при этом выпускной патрубок фугата размещен в верхней части камеры тангенциально по направлению вращения ротора, а в нижней части камера имеет отверстие и тангенциально укрепленный в направлении, противоположном направлению вращения ротора, патрубок для слива суспензии из ротора при его остановке.

На фиг. 1 изображена осадительная центрифуга, общий вид; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1.

Центрифуга имеет цилиндроконический ротор 1, внутри которого размещен щнек 2, предназначенный для выгрузки твердой фазы. На торцах ротора 1 установлены фланцы 3 и 4 с окнами 5 и 6 для отвода твердой фазы и фугата. На фланцах 3 и 4 выполнены приемные кольцевые камеры 7 и 8 для сбора и отвода твердой фазы и фугата. В приемной кольцевой камере 8 на фланце 4 ротора 1 по окружности установлены лопатки 9. В верхней части кольцевой камеры 8 тангенциально по направлению вращения ротора 1 размещен выпускной патрубок 10 фугата. В нижней части камеры 8 имеется отверстие 11 и тангенциально укрепленный в направлении, противоположном направлению вращения ротора 1, патрубок 12 для слива суспензии из ротора 1 при его остановке. Ротор 1 и шнек 2 приводятся во вращение от привода.

Предлагаемая центрифуга работает следующим образом.

Исходная суспензия, например абразивная, подается по трубе 13 и через отверстие 14 поступает во вращающийся ротор 1. Твердая фаза под действием центробежной силы отжимается к внутренней поверхности ротора 1, выгружается шнеком 2 через окна 5 фланца 3 в кольцевую камеру 7 и выходится наружу.

Жидкость (суспензия) перемещается в сторону большого диаметра ротора 1. По мере поступления исходной суспензии по патрубку

12 толщина слоя жидкости (ванна) возрастает и по достижении уровня окон 6 фугат начинает выливаться в приемную камеру 8. Этот фугат захватывается вращающимися

лопатками 9, через выпускной патрубок 10 выгружается наружу и по трубопроводу подается на рабочие операции. Ванна (суспензия), находящаяся в роторе 1, в период остановки центрифуги скапливается под действием сил тяжести в его нижней части, а затем при достижении уровня окна 6 расположенного в нижней части фланца 4, сливается в приемную камеру 8, откуда через отверстие

11и патрубок 12 удаляется из центрифуги. Для предотвращения выхода фугата в процессе центрифугирования через патрубок 12 зазор между лопатками 9 и камерой 8 должен быть минимальным.

Наличие в нижней части приемной кольцевой камеры 9 отверстия и тангенциально укрепленного в направлении, противоположном направлению вращения ротора 1, патрубка

12обеспечивает полную выгрузку загрязненной суспензии, попадающей в камеру 8 при

остановках центрифуги, что исключает попадание суспензии в фугат и таким образом повышает его чистоту. Это позволяет применять предлагаемую осадительную центрифугу, в частности для очистки от ворсы замщи, сколов кремния суспензии, подаваемой непосредственно на рабочие участки, например операции химико-механической полировки полупроводниковых пластин.

Формула изобретения

Осадительная центрифуга, включающая цилиндроконический ротор, имеющий на торцах фланцы с окнами для отвода фугата и

твердой фазы, щнек для выгрузки твердой фазы, приемные кольцевые камеры для сбора и отвода фугата и твердой фазы с выпускными патрубками, отличающаяся тем, что, с целью предотвращения попадания суспензии в фугат при периодических остановках центрифуги и повыщения таким образом чистоты фугата, в приемной камере последнего на фланце ротора по окружности установлены лопатки, при этом выпускной патрубок

фугата размещен в верхней части камеры тангенциально по направлению вращения ротора, а в нижней части камера имеет отверстие и тангенциально укрепленный в направлении, противоположном направлению вращения ротора, патрубок для слива суспензии из ротора при его остановке.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США № 3858794, кл. 233-7, опубл. 1975.

2.Контарович 3. Б. Машины химической промышленности. М., «Машиностроение, 1965, с. 86-87.

.1