Устройство ввода многокомпонентной газовой смеси в реактор для осаждения слоев Советский патент 1978 года по МПК B01J17/32 

1

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для газового химического осаладения слоев, яреимущественно полупровод нико1вых материалов, и может быть использовано в Электр о няо,й промышленности.

Известны устройства ввода газовых смесей, используемые в реакторах для осаждения слоев, выполненные в -виде трубчатых колец и Т-юбразны.х трубок с о,тверстиям1И 1. Недостатками таких устройств Яiвляeтcя форма, непригодная для использования их в вертикальных реакторах и нерегулируемость раз-меров отверстий.

Известно устройство ввода многокомпояентной газовой смеси, включающее смесительную камеру и приспосабление для подачи в нее компонентов, выполненное в виде взаимоизолированных вертикальных коллекторных камер с рядом отверстий IB сплошной фронталвной (,по отношению распространения потока газа) стенке каждой камеры, расположенных ПО высоте стенки 2.

Недостатком такого устройства является выполнение лрохода для газа во фронтальных стенках камер в виде отдельных отверстий, что не позволяет регулировать подачу газовой смеси и приводит к неоднородности смешения.

Для повышения однородности смешивания компонентов в предлагаемом устройстве пряспосОбление для подачи компонентов выполнено в виде отдельных впускных камер, соединенных со смесительной камерой обш.ей стенкой, имеющей регулируемые зазоры, выполненные под углом 35-40° к горизонтали. Общая стенка закреплена с помощью гибкой пластины И снабжена регулировочными винтами, установленными во впускных камерах с помощью сильфонов. Стенки смесительной

камеры, контактирующие с реактором, выполнены в виде отдельных пластин, установленных ic зазором и под углом 110-120° по отношению друг к )ту.

На чертеже изображено описываемое устройство, вертикальный разрез.

Устройство ввода состоит ив двух впускных камер 1 и одной смесительной камеры 2. Впускные камеры 1 разделены между собой стенкой 3. Задняя стенка каждой вп скиой камеры снабжена двумя входными щтуцерами 4. Камеры 1 имеют общую стенку 5, отделяющую их от смесительной камеры 2 и имеющую регулируемые зазоры, выполненные под углом 35-40° к горизонтали.

Общая стенка 5 закреплена с помощью гибкой пластины 6 и снабжена регулировочным винтом 7, установленным с помощью сильфонов 8, герметич1но введенных вовпускные камеры 1.

Смесительная камера 2 имеет сборные сте-нки 9, выполненные в виде отдельных пластин, установленных ic зазором 10 лод углом 110-120° по отношению друг к другу.

Устройство работает следующим образом.

Предварительно перед включением реактора для осаждения слоев устанавливают необходимую ширину зазоров устройства ввода. При этом регулирование ширины зазоров осушествляют поступательным перемещением стенки 5 и винтом 7. ОсобеннОСть регулирования параметров зазоров состоит в том, что благодаря герметичному вводу винта 7 в полость впускной камеры оно возможно и в ходе процесса.

После установки ширины зазоров включают реактор.

Потоки газовых компоневтов поступают через штуцеры 4 в камеры 1, наполняя их по всей высоте. Через регулируемые зазоры в стенке 5 потоки входят под острым углом друг к другу в камеру 2, пересекаются, падают на наклонные стенки 9 камеры 2 и смешиваются.

Поток образовавшейся газовой смеси через зазор 10 поступает в реактор для осаждения слоев.

Наличие смесительной камеры, выполнение составных частей ее стенки наклонными по отношению к направлению входящих а нее потоков компонентов и размещение регулируемых зазоров под углом друг к другу приводит к увеличению степени однородности потока газовой смеси, поступающей в реактор для осаждения слоев.

Размещение средства перемещения О|бЩ€Й стенки внутри герметичной камеры, а Средства управления им вне камеры, наряду с гибким типом крепления общей стенки, позволяет производить регулировку зазоров непосредственно в ходе процесса, не прерывая

работы устройства (без разгерметизации реактора) и производить корректировку процесса IB ходе его.

Применение устройства спосОбствует повыщению процента выхода годных слоев, снижению нерационального расхода рабочеговремени на обсл1уживание, упрощает эксплуатацию установки.

Формула изобретения

1.Устройство ввода многокомпонентной газовой смеси в реактор для осаждения слоев, включающее смесительную камеру и лриспособленне для подачи в нее компонентов, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения однородности смешивания компонентов, приспосОбление для подачи компонентов выполнено в виде отдельных впускных камер, соединенных со смесительной камерой общей стенкой, имеющей регулируемые зазоры.

2.Устройство поп. 1, отличающееся тем, что, с целью регулирования подачи смеси, Общая Отенка закреплена с помощью гибкой пластины и сна;бжена регулировоЧ1НЫМИ винтами, установленными во впускных камерах с помощью сильфонов.

3.Уст1рО)йство по пп. 1 и 2, отличающееся тем, что зазоры в о-бщей стенке выполнены под углом 35-40° ж горизонтали.

4.Уст1ройство по пп. 1-3, отличающееся тем, что стенки смеоительнон камеры выполнены в виде пластин, установленных с зазором и под углом 110-120° по отношению

друг К Кругу.

Источники информации, принятые ВО внимание гари экспертизе 1. Электронная промышленность. 1973, №7, с. «2.

2. Электронная промышленность. 1973, № 3, с. 84.