Устройство ввода газа в реактор вертикального типа для осаждения слоев Советский патент 1978 года по МПК B01J17/32 

Описание патента на изобретение SU592438A1

Похожие патенты SU592438A1

название год авторы номер документа
Источник ионов 1982
  • Наталочка С.В.
SU1097120A1
Способ регулирования напряжения тиристорно-трансформаторного источника постоянного напряжения 1982
  • Денисов Б.В.
SU1182983A1
Устройство для обработки изделий в вакууме 1983
  • Наталочка С.В.
SU1144417A1
Литниковое устройство 1973
  • Галдин Николай Михайлович
SU465260A1
Детектор электронов 1973
  • Осипов Владимир Николаевич
SU481008A1
Устройство для укладки и выдачи ориентированных кристаллов в производстве полупроводниковых приборов 1972
  • Щукин Юрий Иванович
SU517087A1
Масс-спектрометрический способ анализа ионов 1971
  • Слободенюк Генрих Иванович
SU493723A1
Тара-спутник 1974
  • Щукин Юрий Иванович
SU519881A1
Кассета для химическо% обработки изделий 1974
  • Сапожников Борис Иванович
SU503319A1
Литниковая система 1975
  • Галдин Николай Михайлович
SU558746A1

Иллюстрации к изобретению SU 592 438 A1

Реферат патента 1978 года Устройство ввода газа в реактор вертикального типа для осаждения слоев

Формула изобретения SU 592 438 A1

SU 592 438 A1

Авторы

Сигалов Эдуард Борисович

Даты

1978-02-15Публикация

1975-08-01Подача