Устройство для укладки и выдачи ориентированных кристаллов в производстве полупроводниковых приборов Советский патент 1976 года по МПК H01L23/00 B01J17/00 

вом.хомуткха 9. Упоры 8 предназначены для создания зазора ь;ежду крышкой 6 и кассетой и предотвраща.ют поворот крышки при шаговом леремещенли кассеты. КасСходимый заоор между крышкой и касс тоЭ (-го нее толщины кристалла) устанавливают n i-Qмещением хомутика на корпусе. Для установки упороа 8 в одной плоскости служат регупмроБочи-ге прокладки 10, а для передачи ша гового льрелгещения хр -ловому колесу - собачка 11, поджатая пружиной 12 к зубьям этого колеса и закрепленная на поворачивающемся под действием пружины 13 относительно корпуса устройства рычаге 14. Поворот рычага осуществляется от кулачкозого привода (на фигурах не показан и ограничивается регулируемым упором 15. На .кальном валу установлены тормозные ко.лодки 16 для предотвращения проскальзызания кассеты. Кристаллы 17 размещены 3 ячейках кассеты, выполненных по концентрическим окружностям. Устройство работает следующим обраоом, Операция укладки кристаллов. Кассету с пустыми ячейками, с надетой и зафикисоовгнной, например, с помощью щтифта крышкг устанавливают на вертикаль ный вал с noBC,-iKOM, при этом упорь: 8 заходят в болоььте иазы крышки и удерживают ее от дальчейшето перемещения вниз вместе с F.acceTOL, i. поспэдняя опускае.ся ниже и упирается зс фл иец вала. Штифт аыходит из пази крышки, предохранения укладываемых кристаллов от зыпадения из ячеек и на рушений их .зрир. 1тации зазор между крыщкой и кассетой должен бьть установлен менее тол..11ины кристалла, Криста71л, соривнтированный на предметном столике ук.1::идчкка, захватывается вакуумной присоског и укладывается в ячейку кассеты (CTO.IHK у -паачика и вакуумная присоска на фигурах не псказаны). После укладк; кристалла рычаг .4 с помощью кулачка привода (на фигурах не пгка зан) поворачивается, собачка выходит из за цепления с зубом храпового колеса, западае за последующий зуб и иод действием пружины 13 поворачивает храповое колесо на таг до соприкосновения рычага 14с упором 15 При этом вместе с храповым колесом поворачивается вертикальный вал, которьтй повод ком поворачивает на шаг кассету, а упоры 8 неподвижно закрепленнь е на корпусе и входя щие в боковые пазы крьплки, удерживают ее от поворота вместе с кассетой и сохраняют зазор между кассетой и крышкой посто5;ы ным. Отверстие в кассета чля загрузки и выгрузки з.рт-юталлсВ остается непсдьижкым относительно позиции загрузки кристалллов вакуумной присоской. После заполнения всех ячеек кассеты кристаллами она снимается с вертикального вала Еместе с крышкой, при этом от прикладываемого усилия крышка перемешается относительно кассеты, выбирается зазор, крышка соприкасается с кристаллами, выравнивает и фиксирует их в ячейках. Кассета с зафиксированными -фышкой кристаллами переносится и монтируе- -ся на установке для присоединения кристаллов к держателю корпуса. Операция присоединения кристаллов. Работа устройства на установке для присоединения кристаллов аналогична работе укладчика кристаллов, разница лишь в том, что при установке заполненной кассеты на вертикаль. вал с поводком упоры 8 заходят в боковые пазы крышки и удерживают ее от дальнейшего перемещения вниз .гместе с кассетой, а последняя опускается до упора во фланец вала, при этом кристалль; освобождаются и между ними и крышкой образуется зазор. Вакуумная присоска (на фигурах не показана) захватывает кристалл Ко кассет;ч. переносит егг4 и присоединяет к держателю корпуса. Затем кассета позорччиь е.гсл на шаг и подает следующий кригт шл г-а позицию выгрузки. Устройство обеспечивает ; i . укное яре дохранение кристаллов от , м:-л и нарушения их ориентации. Формула изобретения 1.Усг-ройство для укладки и ВЬЕД.ЧЧИ ориентированных кристаллов в ;1ро;;аводотве полупроводниковых прибороЗ; IлvлJo aющee корпус, съектаую кассету, с ячейкам:, под кристаллы, установленную на вертикальном валу, привод шагового поремещеиия и тормозные колодки, о т ли ч ающееся 1ем, что, с целью предохранения кристал-тов от аыпадения и нарушения их ориентация, кассета снабжена крышкой с отверс ием для загсузки и выгрузки кристаллов, устаноЕленной подвижно относительно кассеты и фит-ссируемой акреплекными на корлчусе угореми,входящими в пазы крышки, ььыолненлые в ее боковой стенке. 2.Устройство по п„ 1. с т л н 4 а ю II е е с я iGM, что, с целью увеличения про;;ззодятельности, в кассете ячейки 11од криг таллы выполнег-ы по концентрическим окружностям.

Фи2. 7

U2.2