Глазурь для керамических деталей радиоэлектронной аппаратуры Советский патент 1978 года по МПК C03C5/02 C03C9/00 H05K7/06 

1

Настоящее изобретение относится к технологии изготовления радиоэлектронной аннаратуры, а именно - к глазурям для покрытия различных установочных деталей, вынолненных на керамических материалов.

Известны глазури для нанесения на поверхности установочных деталей радиоэлектронной аппаратуры на основе системы SiOa- ВгОз-МгОз-PbO.

Наиболее близка к изобретению глазурь, содержащая (в вес. %): SiOo 60--75, А1оОз 2,5--12,5, ЬагОз 25-10, ВаО 15--30, БаОз 0-5, МО 0-10 (М - Mg, Са, Sr илн нх смеси).

Такая глазурь, обеспечивая хорошие электрические свойства деталей, имеет однако высокую температуру гладкого растекания и не позволяет получить покрытие, равномерное по толщине, что затрудняет изготовление на установочных деталях мелкоструктурных нленочных элементов и ухуд1нает работу микросхем, в особенности схем, работающих на высоких частотах.

Целью настоящего изобретения является создание глазури для покрытия установочных деталей, например подложек микросхем, в особенности схем, работающих на высоких частотах, обладающей низкой температурой гладкого растекания н образующей равномерное по толщине покрытие. Поетавленная цель

остигается тем, что глазурь содержит РЬО, Si02, СаО, В20з н АЬОз прп следующем соотношении компонентов (в вес. %): РЬоО 56-58, SiOa 31-33, СаО 4-6, ВоОз 4-6,

АЬОз 2-1.

Изобретение поясняется примером выполнения.

Для прнготовленпя глазури берут шихту, содержащую (в %): РЬзО4 52,6, SiO 30,0,

НзВОз 8,2, СаСОз 6,4, 2,8. После норсмешивания в течение 30 мин шихту подвергают плавке в корундовом тигле, подни.мая в течение 4 час температуру до 1400°С. При этой температуре стекло выдерживают около

1 час. Если в стекле отсутств ют пузырп (показатель качества варки), то его выливают в холодную воду. При этом размер гранул стекла находится в пределах 2-5 мм. Гранулы размалывают до получения порошка с размером зерен 1-2 мк в фарфоровом барабане при номощи фарфоровых шаров диаметром 15-20 мм. Норошок просеивают сквозь сито.

В результате получают порошок глазури (стекла), которая содержит (в %): РЬО 56, SiO2 33, В2Оз 5, СаО 4. АЬОз 2.

Глазурованные покрытия наносят на керамические подложки с шероховатостью поверхности около 3-6 мк любым известным сиособом, например, пульверизацией еуспеизии норошка глазури в связке. Может быть использована сус 1см1зия, содержащая (в вес. ч.):

Порошок глазури75,3

Канифолыю-скипидарный

раствор21,5

Касторовое масло0,7

Скипидар2,5

После нанесения суспензии подложки иагревают в муфельной нечи до температуры 1050°С.

Величина иоверхностных дефектов глазурованных образцов в пределах О-0,5%. Класс чистоты поверхности 13. Па образнах покрытий проколов фоторезист, пе обнаружено. Величина подтравливания на нокрытиях на 20% ниже, чем на покрытиях по патенту США № 3558346.

Высокие показатели поверхноети глазурованных покрытий делают их пригодиыми для печатания практически любых пленочных элементов. Минимально возможные размеры элементов определяются в этом случае только

разрешающей способностью фоторезиста и применяемой аппаратуры. Па глазурова пюй поверхности удается получит, элементы шириной 30 мк и выше.

Формула и 3 о б р е т е и и я

Глазурь для керамических деталей радиоэлектронной анпаратуры, включающая SiO2, АЬОз, СаО и ВзОз, отличающаяся тем, что, с целью улучшения качества глазурова} гой поверхности, она дополиительно содержит РЬО нри следующем еоотношеции компонентов (вес. %): SiOa 31-33, АЬОз 2-4, В,0з 4-6, РЬО 56-58, СаО 4-6.

Источиики информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Яманов С. А. Повые электроизоляционные материалы и проблема надежцоети.

«Энергия, М., 1971, с. 89.

2.Патент США №. 3501322, кл. 106-48, 1970.