Способ откачки газов Советский патент 1979 года по МПК H01J41/12 

(54) СПОСОБ ОТКАЧКИ ГАЗОВ

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к средствам получения безмасляного вакуума. Известен способ откачки газов с помощью электрораарядных насосов, в которых на плазму, образованную путем ионизации остаточного газа к молекул геттерного материала, выбитого ионной бомбардировкой, наложено магнитное поле Однако производительность такого спо соба довольно низкая, Наиболее близким к предлагаемому является способ откачки газов в ионносорбционных насосах, заключакяшйся в подаче напряжения на электроды Гйнерато ра плазмы, один из которых вьтолнен из геттерного материала, Сущность такого способа заключается в переводе геттерного материала в coot тояние плаамь в вакуумной дуге, возбуждаемой между электродами, выполненными из этого материала, ионизации молекул газа электронами плазмы, ускорении образованных в результате ионизации ионов к сорбирующей поверхности в электрическом поле и сорбции их пленкой, конденсирующейся из плазмы Kft этой поверхности, Одасако этот способ обладает недостаточной эффектавностью, что связано с необходимостью использования высоких напряжений (несколько тысяч вольт) для электростатической фокусировки электронов и увеличения их длины свободного пробега. Вероятность же ионизации молекул газа ускоренными электронами имеет максимальное значение при энергии электронов в несколько десятков электронвольт и сильно падает с ростом их энергии. Таким образом низкая ионизирующая способность высокоэнергетических электронов обуславливает в этом способе недостаточную эффективность процесса ионной откачки. Цель изобретения - повышение эффективности откачки газов. Это достигается зажиганием дополнительного несамостоятельного разряда в парах геттерного материала путам подачи