Устройство для измерения продольной аберрации микрообъективов Советский патент 1978 года по МПК G01M11/02 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОДОЛЬНОЙ

АБЕРРАЦИИ МИКРООБЪЕКТИВОВ I2

расположена в плоскости предметов микрообъектива 5, Лучи от марки 4 проходят микрообъектив 5, диафрагму 6, расположенную в плоскости выходного зрачка микрообьектива 5 и выделяющую исследуемые зоны, и собираются в плоскости изображений микрообъектива 5, с которой совмещен. центр кривизны зеркала 7, и, отразившись от него по нормали, снова проходят через диафрагму б, микрообьектив 5 и собираются в плоскости предметов микрообьектива 5, где и образуется перевернутое автоколлимационное изображение марки 4. Марка 4 и автоколлимационное изображение наблюдаются в стереомикроскоп 9.

Диафрагмой 6 выделяют, исследуемую зону, т. е, открывают два симметричных относительно оптической оси отверстия 1О, которые и определяют высоту riaдения пучков лучей на микрообъектив 5. Перемещением зеркала 7 добиваются совпадения его центра кривизны с плоскостью изображений микрообьектива 5 для исследуемой зоны. Момент совпадения характеризуется совмещением марки 4 и его автоколлимационного изображения по глубине и наблюдается стереомикроскопом 9, Далее ыаделяют другую исследуемую зону. При этом, если существует продольная сферическая аберрация, то плоскость из1)бражений для этой зоны не совпадает с центром кривизны зеркала 7 н наблюдается расхождение марки 4 и его автоколлимационного изображения, т. е. они кажутся по-разному удаленными от наблюдателя. Перемещением

i Сферического зеркала 7 до&ваются совмещения марки 4 н автоколлнмационнга изображения. Продольную сферическую аберрацию определяют как..|эазность перемещений зеркала 7. |Е|еличину перемещений измеряют устройством 8, Например ;оптккатором..

Измерение продольной хроматической аберрации производится так же как измерния продольной сферической аберрации, однако при этом в процессе меняют светофильтры, а исследования ведут для одной зоны.

Формула изобретения

Устройство для измерения продольной аберрации микрообьективов, содержащее источник света, конденсор, марку микрообъектив, сферическое зеркало, наблюдательную систему, отличающееся тем, что, с целью измерения продольной аберрации микрообъективов, центр кривизны сферического зеркала, снабженного устройством для измерений продольных перемещений, совмещен с плоскостью изображений микрообъектива, в плоскости предметов которого расположены марки, а в плоскости выходного зрачка - диафрагма, выделяющая исследуе- мые зоны.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Журнал Оптико-механическая промьшленность, № 1, 1935, с. 5-9.

2.Авторское свидетельство СССР, NO 67224, кл. GrOl М 11/02, 1946.