Способ изготовления сурьмянощелочного фотокатода Советский патент 1978 года по МПК H01J9/12 

1

Изобретение отиоситея к области электронной техники.

Известен еиособ нзготовленмя сурьмянощелочного фотокатода, включающий наполнение елоя сурьмы и обработку его сначала в парах калия, а затем в парах цезия 1.

Недостатком такого способа изготовления фотокатода является то, что изготовленные фотокатоды имеют бо.лыние темновые токи.

Известеи также другой сноеоб изготовления сурьмягю-щелочного фотокатода, включающий обработку сурьмы в парах калия и цезия и контроль фоточувствительности по фототоку с получением максимума фототока при обработке калием 2.

Иедоетатком этого способа также является относительно большой ток фотокатода и длительное время его обработки.

Целью изобретения является снижение темновых токов фотокатода и уменьшение времени обработки.

Указанная цель достигается тем, что перед обработкой сурьмы в парах калия проводят ее обработку в парах цезия до получения иитегральной чувствительности 0,5- 15 мкА/лм.

Указанные пределы чувствнтельностн сурьмяно-дезиевого фотокатода являются

оптимальными для данного способа, так как в нолучсиия Sb -Cs фогокагоДОВ меньше Чу;зСТВ ТеЛЬНОСТ 1(

0,5 мкА/лм) после даль е 1шей обработк калием нолучается сурьмя о-кал евь Й фотокатод, а в случае большей чхвствпте. (чем 15 мкА/лм) образуется сурьмя о-цезпевь фотокатод с избыточп 11м содержа 1ием Cs, котор)1Й н дпль 1е1 |П1ем трудно нроработат1.

, а стекло окна прибора 1 а з1ЛЯЮТ СурЬМ Л ДО

розрач1 ост. Этот обрабатывается в парах при тел ературс 180-220С до получе 1 я сурьмяио-цез1 евого соед 1неиня с едостаточнь.л содерл а см ч}-вствитель остыо 0,5-15 мкА лм. Так как сурьм) обрабатывают цезис. до

НОЛуче 1ИЯ с неДОСТаТОЧ з М СОдержаннсм , то в этом сл} чае обработка пронсход т б з стрее (. в 3 раза).

Получеи Ь Й сурьмя о-цезневыГ1 фотокатод обрабатыва от в тс.мнературе 180-220 С до достиже я макс МаЛЬНОЙ ЧуВСТВ ТеЛЬ ОСТ.

Обработка c p ЬЯ O-цeз eвo o с, в этом случае протекает быстро, так как обрабатываемое соединение имеет недостаток щслоч ого металла. Изготовленные этим способом фотокатоды имеют интегральную чувствительность . мкА/лм, а величина термотоков равна 10-17 А/см. .Таким образом, иснользование нредложенного способа обеспечивает снижение темновых токов и уменьшает время обработки сурьмяно-щелочных фотокатодов. Формула изобретения Способ изготовления сурьмяно-щелочного фотокатода, включающий последовательную обработку сурьмы в парах калия и цезия и контроль фоточувствительности но фототоку с получением максимума фототока при обработке калием, отличающийся тем, что, с целью снижения темновых токов фотокатода и уменьн:ения времени обработки, перед обработкой сурьмы в парах калия ироводят ее обработку в парах цезия до получепия интегральной чувствительности 0,5-15 мкА/лм. Йсточннки информации, принятые во внимание нри экспертизе 1.Патент США № 3753023, кл. 313-103, опублик. 1973. 2.Авторское свидетельство СССР № 537410, кл. Н 01J 39/06, 1976.