Устройство для выявления дефектов поверхности полупроводниковых приборов Советский патент 1985 года по МПК G01N21/88 H01L21/66 

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к аппаратуре неразрушающего контроля качества незагерметизированных полу проводниковых приборов. Известны устройства для выявления дефектов поверхности полупровод никовых приборов по фотоответному изображению, полученному при сканировании светового луча по поверхнос ти исследуемых образцов l , Наиболее близким по технической сущности к изобретению является уст ройство для выявления дефектов поверхности полупроводниковых приборо включающее сканирующее устройство ,и усилитель, в кбтором коллимирован ный луч света развертывается в раст .и фокусируется на поверхность свето чувствительного полупроводникового лрибора, электрический сигнал с выхода полупроводникового прибора уси ливается и используется для получения фотоответного изображения на эк ране электронно-лучевой трубки, раз вертка которого синхронизируется с разверткой светового луча С Недостатком указанного устройств является низкие эффективность и качество выявления дефектов приборов, наличие сложной системы синхронизации электронного и светового лучей. К тому же невозможно достичь их абсолютно синхронного сканирования, что искажает фотоответное изображение и не позволяет получить геомет(рическое разрешеН1 е устройства, определяемое оптическим разрешением фокусирующей на образец оптики. Целью изобретения является улучшение качества и эффективности выявления дефектов. Цель достигается благодаря тому, что перед сканирующим устройством установлена элек-трооптическая ячейка, а за сканирующим устройством расщепитель падающего луча на видео- и зондирующий лучи, имеющий две соединительные ветви, .одна из которых состоит из поляризатора, объектива, экранаs а другая из объектива, фокусирующего зондирующий луч на поверхности исследуемого пол проводника. Схема предлагаемого устройства изображена на чертеже. Она содержит источник 1 поляризованного света, электрооптическую ячейку 2, сканирующее устройство 3 расщепитель 4 светового луча, поляризаторы 5, 6 света, объективы 7, 8ц экран 9, наследуемый полупроводниковый прибор 10, видеоусилитель t1 сигнала фотоотёета. Устройство работает следзтощим образом. Поляризованный свет от источника 1 направляется через электрооптическую ячейку 2 на сканирующее устройство 3. Последний формирует растр, который расщепителем 4 светового луча расщепляется на две части: растр видеолуча и растр зондирующего луча. Пе15вый из них проходит через поляризатор 5 и объективом 7 проецируется на экран 9, а второй - растр зондирующего луча объективом 8 фокусируется на поверхность исследуемого образца (поляризатор 6 не используется). Сигнал фотоответа усиливается электронным усилителем 11 и подается на электрооптическую ячейку, которая с поляризатором 5 составляет модул:ятор интенсивности видеолуча. На экране 9 формируется позитивное или негативное изображение фотоответа в зависимости от относительной ориентации плоскости поляризации направленного на электрооптическую ячейку света и направления поляризации поляризатора 5. Так, если они скрещены, то изображение получается позитивным, а при параллельной ориентации - негативным. Р более общем случае в путь зондирующего луча может быть введен поляризатор 6. При отсутствии поляризатора.6 зондирующий луч остается немодулированным по интенсивности. При изменении электрического напряжения на электрооптической ячейке осуществляется лишь модуляция поляризации зондирующего луча, т.е. изменяется соотношение длин.осей эллипса, описываемого световым вектором. Поляризатор 6 вместе, с электрооптической ячейкой модулирует интенсивность падающего на образец зондирующего луча, причем модуляция осуществляется синфазно или противофазно модуляции интенсивности видеолуча. Так если направления поляризаций поляризаторов 5 и 6 совпадают, то при увеличении интенсивности видеолуча возрастает также и интенсивность зондирующего луча и модуляция обоих лучей совпадает по фазе. При скрещенной ориентаци поляризаторов 5 и 6 с увеличением

36309834

интенсивности видеолуча интенсивностькая обратная связь, возникшая при

зондирующего луча падает, т.е. проис-установке в путь зондирующего луча

ходит противофазная модуляция лучей.поляризатора 6, позволяет эффективно

Модуляция зондирующего луча фото-выявить дефекты, отличаюпщеся по

ответньм видеосигналом приводит к воз- sконтрастности.

никновению светоэлектрической обрат- Применение устройства для выявленой связи при формировании изображе-ния дефектов поверхности- полупроводния фотоответа. Обратная поло-никовых приборов позволит увеличить

цсительная, если модуляция лучей сов-качество и эффективность контроля

падает. В противном случае обратная 10и диагностические возможности устройсвяэь отрицательная. Светоэлектричес-ства.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫЯВЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, включающее сканирующее устройство и усилитель, о т- л ичающе'еся тем, что, с* целью повьанения эффективности и качества выявления дефектов, перед , сканирующим устройством установлена электрооптическая ячейка, ^ за сканирующим устройством - расщепитель падающего луча на ввдео- и зондирующий лучи, имеющий две соединительные ветви, одна из которых состоит из поляризатора, объектива, экрана, а другая - из об'бектива, фокусирующего зондирующий луч на поверхность исследуемого полупровод-' ника.