Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к высоковакуумным откачным устройствам. Оно может быть использовано в промышленных и исследо вательских установках, работающих в области высокого и сверхвысокого вакуума В основном изобретении по авт.св. № 277169 охлаждаемая ловушка для ул ливания паров рабочих веществ насосов содержит подвижные защитные элементы с приводом, позволяющим плавно изменять зазоры между ними. Такие ловущки входят в состав высоковакуумных и сверхвысоковакуумных средств откачки, таких как геттерные, геттерно-ионные, магниторазрядные и некоторые другие насосы. Однако применение подобных ловушек значительно снижает быстродействие насосов, так как создается дополнительное сопротивление потоку откачиваемого газа, входящего в насос. Цель изобретения - увеличение быстр действия откачных устройств, использующих ловушки указанного типа. Поставленная цель достигается тем, что в охлаждаемой ловушке на поверхность подвижных элементов нанесен слои гет1ера. На чертеже показана охлаждаемая ловушка, установленная в откачном устройстве. Охлаждаемая ловушка 1 с поворотными пластинами 2 установлена на входном сечении охлаждаемого корпуса 3, являющегося непосредственным откачивающим элементом насоса. Поворот пластин осуществляется с помощью тяги 4 от привода 5, расположенного на внещней стороне корпуса насоса. Испарение геттера производится испарителем 6. Перед испарением пластины с помощью привода 5 и тяги 4 устанавливаются под углом 45 к оси. Вместе с остальными поверхностями насоса они образуют оптически непрозрачную ловушку для паров испаряемого геттера. Во время испарения поворотные пластины покрываются слоем геттера и по окончании испарения автоматически поворачиваются, устанавливаясь под углом 90 к оси ловушки. Тем самым увеличивается вероятность поглощения газо- Бого потока геттером, осажденным на поверхностях пластин охлаждаемой ловушки, Таким образом защитная ловушка становится наряду с охлажденным корпусом, непосредст венным откачивающим элементом, что приво дит к увеличениюбыстродействия устройства в целом.
Использование изобретения позволит увеличить быстродействие различных от качных средств,
включающих защитные ловушки.
Формула изобретения
Охлаждаемая ловушка по авт.св. № 277169, отличающаяся тем, что, с целью увеличения быстродействия вакуумных агрегатов на ее основе, на поверхность подвижных элементов нанесен слой геттера.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Ионно-геттерный насос | 1983 |
|
SU1102408A1 |
Защитное устройство | 1987 |
|
SU1442711A1 |
ВАКУУМНАЯ ЛОВУШКА | 1996 |
|
RU2123620C1 |
Комбинированный ионно-геттерный магниторазрядный насос | 1981 |
|
SU970510A1 |
СПОСОБ МОНТАЖА АВТОМОБИЛЬНОГО ТЕПЛОАККУМУЛЯТОРА | 1993 |
|
RU2077009C1 |
ВАКУУМНЫЙ КАТОДОЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЙ ДИСПЛЕЙ С ПОЛЕВОЙ ЭМИССИЕЙ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 1999 |
|
RU2174268C2 |
Сорбционный вакуумный насос | 1987 |
|
SU1520258A1 |
Вакуумный сорбционный насос | 1987 |
|
SU1492082A1 |
Способ откачки газов и электродуговой испарительный насос | 1983 |
|
SU1152433A1 |
Способ управления скоростью распыления материала в геттерном насосе и устройство геттерного насоса | 2017 |
|
RU2661493C1 |
vv
;J Qr - r vr--
j Л.
fe-cf
SzS
.
Авторы
Даты
1978-11-05—Публикация
1976-08-19—Подача