Защитное устройство Советский патент 1988 года по МПК F04F9/06 

4ib 4 N9 Ч

Изобретение м.б. использовано для предотвращения.попадания паров масла и продуктов его разложения в откачиваемый объем. Цель изобретения - повышение запщтной способности устр-ва. В корпусе размещены охлаждаемая высоковакуумная геттерная ло- вутпка, нагреватель 2 и запорное устр-во с приводом. Защитное устр-во выполнено жалюзийного типа Привод выполнен в виде связанного штоком с жалюзи (Ж) 4 электромагнита с механизмом закрытия Ж 4. Ловушка выполнена в виде расположенных по обе стороны от нагревателя 2 и установленных на Ж 4 пластин.6 из геттерного материала.. Шток снабжен механическим демпфером и соединен с Ж 4 посредством кулисного механизма. Электромагнит со штоком соединен с возможностью изменения величины хода штока 3. Установка заданного угла раскрытия Ж 4 в зависимости от условий работы изменением величины хода штока повышает вероятность столкнове- ния молекул масла с поверхностью геттера и диссоциации молекул. 3 з.п ф-лы, 3 ил. (Л

9иг.З

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано в устройствах для предотвращения попадания паров масла и продуктов его разложения в откачиваемый объем.

Цель изобретения - повьшение защитной способности устройства.

На фиг. 1 приведено защитное уст- ройство, общий вид; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение Н-Б на фиг. 1.

Защитное устройство для предотвращения попадания паров масла и про- дуктов его разложения в откачиваемый объем содержит корпус 1, в котором размещены охлаждаемая высоковакуумная геттерная ловушка, нагреватель 2 и запорное устройство с при- водом, причем защитное устройство выполнено жалюзийного типа, привод выполнен в виде связанного штоком 3 с жалюзи 4 электромагнита 5 с механизмом закрытия жалюзи 4, а геттер- нал ловушка выполнена в виде расположенных по обе стороны от нагревателя

2и установленных на жалюзи 4 пласти 6 из геттерного материала.

При этом шток 3 привода снабжен механическим демпфером 7. Шток 3 может быть соединен с жалюзи 4 посредством кулисного механизма 8.

Электромагнит 5 с штоком 3 может быть соединен с возможностью измене- ния величины хода штока 3. Шток 3 введен в корпус устройства с помощью сильфона 9, а изменение хода штока

3регулируется с помощью отверстий

1О в нем и щтифтом 11.

Защитное устройство работает следующим образом.

Вакуумный объем предварительно откачивается средствами форвакуумной откачки, после чего отключается элек тромагнит 5 и жалюзи 4 закрываются. При этом выделяющиеся в большом количестве пары масла во время запуска диффузионного насоса не проходят в откачиваемый объем и не загрязняют геттерный материал до начала непосредственной работы устройства. Подается питание на нагреватель 2, и жалюз-и 4 нагреваются до рабочей температуры. В зависимости от режима работы выбирается определенный угол раскрытия жалюзи 4 за счет изменения хода штока 3. После выхода на режим диффузионного насоса (не пока

0

0

5

0

0

5

зан) подается питание на электромагнит 5. Кулиса 8 поворачивается, и жалюзи 4 открываются. Так как многие геттерные материалы имеют повышенную хрупкость, то для уменьшения ударных нагрузок используется механический демпфер 7, жестко соединенный с штоком 3.

Перед выключением паромасляного насоса (не показан) отключается питание электромагнита 5, сильфон 9 возвращает шток в исходное положение и жалюзи 4 закрываются. После закрытия жалюзи 4 отключается диффузионный насос, а после его охлаждения выключается нагреватель 2.

Предлагаемое изобретение значительно снижает обратный поток паров масла, так как разлагает большинство молекул масла, попадающих в защитное устройство от насоса. Снижение динамических нагрузок при срабатывании электромагнита и изменение скорости поворота жалюзи 4 посредством кулисного механизма 8 повышает долговечность полос из геттерного материала. Установка заданного угла раскрытия жалюзи 4 в зависимости от условий работы изменением величины хода штока 3 повьш1ает вероятность столкновения молекул масла с поверхностью геттера и диссоциации молекул. Закрытие жалюзи 4 защитного устройства в случае аварийного отключения электропитания предотвращает попадание масла в откачивае -1ый объем. Формула изобретения

314427114

механизма.

. 5

изменения величины хода штока.

9и,г.1

10