(21)Ц2 40 2/25-Об
(22)02.04.07
(ii6) 07.11.89. Бюл. № k
(72) С.Л.Аракелян и А.И.Барышев (53) 621.528.3 (080.0)
(56)Патент США N , кл. 315-108, опублик. 1972.
(k) СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС
(57)Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с распыляемым геттером. Цель изобретения улучшение откачных характеристик « Сорбционный вакуумный насос содержит корпус 1, испаритель 2 геттера, а также дополнительно содержит вращающийся полый цилиндр 3 из нема нитного материала с продольной прорезью 4, охватывающий испаритель 2. Испаряющийся геттер осаждается как на внутренней поверхности цилиндра 3, так и на поверхности корпуса, попадая на него через прорезь 4, причем такое нанесение слоя геттерного материала на поверхность корпуса обеспечивает равномерность. 1 ил.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Ионно-геттерный насос | 1983 |
|
SU1102408A1 |
| Вакуумный сорбционный насос | 1987 |
|
SU1492082A1 |
| Комбинированный вакуумный насос | 1982 |
|
SU1034099A1 |
| Комбинированный ионно-геттерный магниторазрядный насос | 1981 |
|
SU970510A1 |
| Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос | 1980 |
|
SU943920A1 |
| Способ откачки газов и электродуговой испарительный насос | 1983 |
|
SU1152433A1 |
| Магниторазрядное откачное устройство | 1983 |
|
SU1088092A1 |
| Сорбционный вакуумный насос | 1987 |
|
SU1439278A1 |
| Охлаждаемая ловушка | 1976 |
|
SU631672A2 |
| Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос | 1982 |
|
SU1034100A1 |
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с распыляемым геттером. Цель изобретения - улучшение откачных характеристик. Сорбционный вакуумный насос содержит корпус 1, испаритель 2 геттера, а также дополнительно содержит вращающийся полый цилиндр 3 из немагнитного материала с продольной прорезью 4, охватывающий испаритель 2. Испаряющийся геттер осаждается как на внутренней поверхности цилиндра 3, так и на поверхности корпуса, попадая на него через прорезь 4, причем такое нанесение слоя геттерного материала на поверхность корпуса обеспечивает равномерность.
(Л
, 31520258
относится к вакуумной
н к ч
технике, а именно к конструкциям сорб- ционных вакуумных насосов с распыляемым геттером.
Цель изобретения - упучшение от- качных характеристик.
На чертеже представлена схема насоса.
Сорбционный вакуумный.насос соцер- жит корпус 1 и установленный по его йси испаритель 2 геттера. Насос дополнительно содержит вращающийся полый цилиндр 3 с продольной прорезью 4, охватывающий испаритель 2 и выполненный из немагнитного материала.
Насос работает следующим образом.
После предварительного вакуумиро- вания полости корпуса 1 насоса зажигают дуговой разряд, возникающие при этом катодные пятна на поверхности катода, которым является испаритель 2, способствуют испарению геттерного материала. Одновременно с испарением катода включают вращение цилиндра 3. Испаряющийся геттер осаждается как на внутренней поверхности цилиндра 3
0
5
0
5
так и на поверхности корпуса, попадая на него через прорезь 4, причем такое нанесение слоя геттерного материала на поверхность корпуса обеспечивает равномерность.
В результате увеличивается рабочая поверхность геттера, так как дополнительно поверхность цилиндра является откачивающей, что позволяет улучшить откачные характеристики на- jcoca без увеличения габаритов, а танс- же уменьшить вероятность попадания паров геттера в откачиваемый объем.
Формула изобретения
Сорбционный вакуумный насос, содержащий корпус и установленный по его оси испаритель геттера, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачйых характеристик, насос дополнительно содержит вращающийся полый цилиндр с продольной прорезью, охватывающий испаритель и выполненный из немагнитного материала.
