Полировальный состав Советский патент 1978 года по МПК C09G1/02 

Изобретение относится к композициям для химико-механического полирования материалов электронной техники и особенно монокристаллов полупровоаников. Известен полировальный состав, содержащий аэросил и воду fl1 . Однако этот состав имеет сравнительно низкую устойчивость и малый срок службы. Цель изобретения - повышение стабильности состава при полировании поверх ности материалов электронной техники. Эта цель достигается тем, что полировальный состав Содержит аэросил с поверхностью, модифицированной аминосоединениями (аминоорганоаэросил) при еледующем соотношении компонентов, в вес.% Аэросил с посерхностью, модифицированной аминосоединениями2-25ВодаОстальное Для повышения эффективности компози ции в.ее состав можно вводить растворы травителей из группы органических аминосоединений, при этом композиция содержит2-20 вес.% модифицированного аминорганоаэросила, 2-60 вес.% тра- вителя из группы органических оснований (аминосоецинений), а остальное - вода. Модифицированная поверхность аэросила может содержать аминосоединения алифатического, ароматического и др. рядов. Ниже приведены примеры приготовления и практического применения композиций аминорганоаэросила для полирования полупроводниковых материалов. Пример. В емкость с 980 г деионизированной воды вносят 20 г порошка аминорганоаэросила и перемешивают до однородной консистенции. Полученную композицию применяют для длительного полирования поверхности - пластин после АСМ 1/10 ИЛИ АСМ 0,5/0. Пример 2. В емкость с 75О г воды порциями вносят 250 г аминорганоаэросила и тщательно перемешивают. Полученную композипию применяют для полирования поверхности Si -пластин после полирования K3M5 или полированияАСМЗ АСМ2/1, АСМ1/0 и АСМ 0,5/0. Пример 3. В емкость с 900 г воды вносят 10О г аминорганоааросила и после перемешивания применяют для окончательного полирования поверхности Si -пластин, поцвергнутых шлифованию и полированию. Пример 4. К водной цисперси, содержащей 20 г аминэтоксиаэросила и 970 г воды, добавляют 10 г этилендиамина. Полученную композицию применяют для полирования Tt «пластин. Пример 5, К раствору, содержа щему 6ОО г этилендиамина и ISO г вод добавляют 250 г аминоэтоксиаэросипа и перемешивают. Полученную композицию применяют для эффективного полирования кремния, подвергнутого шлифования. Примере. К водному раствору, содержащему 1ОО г моноэтаноламина И 780 г воды, добавляют 120 г порошка аминоэтоксиаэросила. Композицию перемешивают и применяют для эффективного полирования Si -пластин. Пример 7. К композиции, содержащей 12О г порошка аминэтоксиаэросила и 83О г воцы, добавляют 50 г HgO и после перемешивания применяют для полирования поверхности Ge и Qa Ав , Примере. К композиции, содер)- жащей 1ОО г порошка аминоэтоксиаэросила, 765 г воды и 1ОО г этилендиамина, добавляют 35 г Н О и после перемешивания применяют для полирования поверхности Qe и монокристаллов А® В Результаты применения предлагаемого состава для полирования поверхности материала приведены в таблице.

Формула изобретения Полировальный ссхлав, содержащий : 45 аэросил и воду, отличающийС я тем, что, с аелью повышения стабильности состава при полировании поверхности материалов електронвой техники, он соаержят авросил с поверхностью, $0 модифицировааной аминосоедвнеииями, при следуюи(емсоотношениикомпонеытов,ввес.%: ;

Аэросил с поверхностью, модифицированной аминосоединениямй2-25

Вода .Остальное

Источники информации, принятые во внимание гфи эксп тизе:

1. Авторское свидетельство № 334852,, кл, С 09 G 1/02, 197О.