Устройство для настройки сканирующего интерферометра Советский патент 1979 года по МПК G01B9/02 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАСТРОЙКИ СКАНИРУЮЩЕГО ИНТЕРФЕРОМЕТРА

Функциональная схема устройства приведена на чертеже.

Устройство содержит источник излучения 1, подвижное 2 и неподв ижное 3 зеркала интерферометра, светоделитель 4, двухкоординатный привод неподвижно/о зеркала 5, фотоприемник 6 и усилитель 7 опорного тракта, последовательно включенные фотоприемник 8, усилитель 9, синхронный детектор 10 и усилитель мощности II тракта вертикального отклонения, а также пследовательно включенные фотоприемник 12, усилитель 13, синхронный детектор 14 и усилитель мощности 15 тракта горизонтального отклонения..

При этом фотоприемники 6, 8 и 12 в плоскости изображения интерференционной картины расположены под углом 120° друг кдругу, опорные входы синхронных детекторов 10 и 14 объединены и подключены к выходу усилителя 7, сигнальные входы этих детекторов подключены соответственно к выходам усилителей 9 и 13, а выходы детекторов через усилители мощности 11 и 15 подключены к приводу 5.

Устройство работает следующим образом.

Пучок излучения источника 1, предварительно расширенный до заполнения зеркал 2 и 3 интерферометра направляется на светоделитель 4, которым он делится на две части. Одна часть излучения отражается от светоделителя и падает на подвижное зеркало 2, а вторая часть проредит Чер1ез светоделитель и падает на неподвижное зеркало 3. При последующем отражении от зеркал 2 и 3 первая часть проходит через светоделитель, а вторая отражается от него и направляется в бдну сторону с первой частью. Обе. части излучения рекомбинируют и создают интерференционную картину. Если интерферометр расстроен, т.е. зеркала 2 и 3 имеют угол взаимного расположения, отличнь1Й от 90°, то интерференционная картина имеет вид полос равного наклона, количество которых или их щирина характеризует степень расстройки интерферометра, а расположе нйе полос - Направление р.асстройки. В процессе сканирования излучения равномерным перемещением подвижного зеркала 2 полосы непрерывно перемещ,аются в плоскости наблюдения в направлении, перпендикулярном расположению полос. Фотоприемники 6, 8, 12 трактов отклонения и опорного расположены в плоскости изображения интерференционной картины. Переменная интерференционная картина сопровождается изменением освещенности на фотоприемнике по синусоидальному закону. Вследствие определенного взаимного расположения фотоприемников в плоскости полосы пересекают их не одновременно, а со сдвигом во времени. Поэтому возникающие на фотоприемниках электрические сигналы оказываются взаимно

сдвинутыми по фазе. Величина сдвига зависит от ширины полос, а знак - от направления их смещения. Сигналы всех трех фотоприемников усиливаются усилителями напряжения 7, 9, 13 и поступают на синхронные детекторы 10, 14 с фильтрами нижних частот, причем сигналы трактов отклонений - на сигнальные входы синхронных детекторов, а опорный сигнал - на опорные Ьходы синхронных детекторов. На фильтрах нижних частот синхрон1гых детекторов выделяются управляющие сигналы, величина которых определяется шириной интерференционных полос, а знак - направлением смещения. Управляющие сигналы усиливаются выходными усилителями 11, 15 и подаются на двигатели отклонений двухкоординатного

привода неподвижного зеркала и обеспЕЧивaюt соответствующую подстройку зеркала с целью уменьЦ ения расстройки интерферометра.

Управляющие сигналы усиливаются усилителями мощности li, 15 и подаются- на двигатели двухкоординатного привода, который, изменяя положение зеркала, обеспечивает соответствующую подстройку интерферометра в процессе работы.

Таким образом данное устройство обеспечивает высокую точность настройки в автоматическом режиме и может быть использовано в автономных ко струкциях.

Формула изобретения

Устройство для настрой-ки сканирующего интерферометра, содержащее два фотоприемника с усилителями и подключенный к ним привод неподвижного зеркала интерферометв ра, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности и упрощения настройки, в него дополнительно введены фотоприемник с усилителем и два синхронных детектора, при этом опорные входы синхронных детекj торов объединены и подключены к выходу .цополнйтельного усилители, сигнальТяые вхЪ ДКГ детекторов подключены к выходам остальных усилителей, а выходы детекторов подключены к приводу. . Источники информации, принятые во вниe мание при экспертизе-,

1.Авторское свидетельство СССР № 123329, кл. G ОГВ 9/02, 1958.

2.Патент Франции № 2098666, кл. G 01 В 9/02, 1970.