Устройство для исследования влажных образцов в растровом электронном микроскопе Советский патент 1979 года по МПК H01J37/26 

Описание патента на изобретение SU649062A1

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ

ВЛАЖНЫХ ОБРАЗЦОВ В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

Похожие патенты SU649062A1

название год авторы номер документа
ДЕТЕКТОР ЭЛЕКТРОНОВ 2009
  • Казьмирук Вячеслав Васильевич
  • Барабаненков Михаил Юрьевич
  • Чои Чангхун
  • Цисарь Дмитрий Владимирович
RU2412503C1
Способ локального катодолюминесцентного анализа твердых тел и устройство для его осуществления 1988
  • Каспаров Константин Николаевич
  • Зарецкий Николай Иванович
SU1569910A1
Способ исследования микрообъектов и ближнепольный оптический микроскоп для его реализации 2016
  • Жаботинский Владимир Александрович
  • Лускинович Петр Николаевич
  • Максимов Сергей Александрович
RU2643677C1
Коллектор светового излучения 1981
  • Сапарин Геннадий Васильевич
  • Обыден Сергей Константинович
SU982117A1
Способ определения типа дислокаций в монокристаллах 1985
  • Драненко Алексей Сергеевич
  • Новиков Николай Николаевич
SU1260785A1
РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ КАТОДОЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО АНАЛИЗАВ П Т В- ff^ •• V Г»1 .'^ S • "^ г г ~' Е'^ ^^ р.cpoiifi aiiiiHfchii 1972
SU420013A1
Способ получения изображений в растровом электронном микроскопе 1980
  • Рау Эдуард Иванович
  • Сасов Александр Юрьевич
  • Спивак Григорий Виниаминович
SU911651A1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ ЖИДКИХ СРЕД В ПРОЦЕССЕ АМПЛИФИКАЦИИ И/ИЛИ ГИБРИДИЗАЦИИ 2007
  • Афанасьев Владимир Николаевич
  • Афанасьева Гайда Владиславовна
  • Бирюков Сергей Владимирович
  • Белецкий Игорь Петрович
RU2406764C2
УЛЬТРАЗВУКОВОЙ МИКРОСКОП 2011
  • Меньших Олег Фёдорович
RU2451291C1
Способ электронномикроскопического исследования замороженных образцов 1976
  • Бочко Регина Анатольевна
  • Кузьмин Владимир Александрович
SU570126A1

Иллюстрации к изобретению SU 649 062 A1

Реферат патента 1979 года Устройство для исследования влажных образцов в растровом электронном микроскопе

Формула изобретения SU 649 062 A1

Изобретение относится к электронной микроскопии и предназначено для наб.гаодения и исследования на субмикронном уровне структур, находящихся в естественном (живом, влажном и т.п состоянии. Известны специальные микрокамеры, полностью или частично герметизированные, для исследования влажных образцов 1. Однако они позволяют исследовать образцы только микронной толщины, что обусловлено самим принципом работы просвечивающего и растрово-просвечивающегомикроскопов. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является уст ройство для исследования влажных образцов в растровом электронном микроскопе, содержащее регистрирующую систему и герметичную микрокамеру с исследуемым объектом, снабженную кры кой с отверстием, закрытым защитной пленкой, для прохождения электронног луча 2. Однако в этом устройстве затруднительно получить высококачественное изображение из-за невысокого отношения сигнал/шум. Обусловлено это недостаточной эффективностью регистрации сигнала отраженных электронов. вынужденных пронизывать защитную пленку, причем регистрация проводится в пределах небольшого телесного угла. Вследствие указанных причин теряется разрешение и уменьшается информативная емкость о микроструктуре объекта. Целью изобретения является повышение информативности и качества получаемого изображения. Это достигается тем, что регистрирующая система выполнена в виде отражающей поверхности эллипсоида, в одном из фокусов которого расположена крышка микрокамеры в виде сцинтиллирующега световода. На чертеже приведена конструктивная схема устройства. Устройство включает электронный зонд 1, регистрирующую систему, состоящую из эллипсоидальной отражающей поверхности 2, собирающего световода 3 и фотоэлектронного умножителя 4. Исследуемый объект 5 располагается в микрокамере 6, которая закрыта крышкой 7, выполненной из светопроводящего материала и имеющей отверстие 8 для прохождения электронного луча, закрытое защитной пленкой. Защитная пленка крепится эпоксилом в отверстии-окне 8 крышки микрока

SU 649 062 A1

Авторы

Рау Эдуард Иванович

Спивак Григорий Вениаминович

Горбунов Юрий Васильевич

Даты

1979-02-25Публикация

1977-12-20Подача