Способ измерения отклонения размеров изделий от эталонной величины Советский патент 1979 года по МПК G01B11/00 

(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЯ РАЗМЕРОВ ИЗДЕЛИЙ ОТ ЭТАЛОННОЙ ВЕЛИЧИНЫ ранственно разнесенные волны 3 и 4, после чего объемные пространственно разнесенные волны 3 и 4 устройством 5 преобразуют в поверхностные волны 6 и 7. Эталонное изделие 8 и контролируемое изделие/, 9 устанавливают в поле поверхностных опорной 6 и зондирующей 7 волн соответственно. При внесении в поле поверхностных волн эталонного изделия 8 и контролируемого изделия 9 меняется фазовая скорость поверхностных волн, причем величина изменения фазовой скорости зависит от размеров эталонного и контролируемого изделий. Затем обе волны пространственно совмещают системой 10. По из меренной разности фаз в месте пространственного перекрытия опорной и зондирующей волн оценивают величину отклонения размеров изделия от этало ной величины. Предлагаемый способ позволяет повысить точность измерения за счет преобразования объемных волн в поверх ностные, распространяющиеся в диэлек трическом волноводе, и возможности внедрения изделий в поля поверхностных волн, так как габариты устройств реализующего способ, существенно уменьшаются ) по сравнению с известным. Кроме того, при использовании предлагаемого способа отпада ет необходимость в термостатировании, так как опорная и зондирующая волны распространяются не в случайно-неоднородной среде, а в статически однородной среде - диэлектрическом волноводе . Формула изобретения Способ измерения отклонения размеров изделий от эталонной величины, заключающийся в том, что из электромагнитного излучения формируют две когерентные пространственно разнесенные волны, в поле одной из которых устанавливают эталонное изделие, а в поле другой - контролируемое, совмещают обе волны и измеряют разность фаз, по которой судят об отклонении размера контролируемого изделия от эталонного, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, две пространственно разнесенные волны преобразуют в поверхностные. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 63059, кл. G 01 В 11/24, 1944. 2.Патент Франции № 2146752, кл. G 01 В 11/00, 1973.