Способ получения газонепроницаемых уплотнений между металлическими и диэлектрическими деталями Советский патент 1946 года по МПК H01J9/26 

Технология изготовления газонепроницаемых зплотнений между металлическими и диэлектрвческим и деталями является сложной и поэтому в значительной мере ограничивает круг применения безнасосных вакуумных приборов. Предложенный способ имеет целью упростить технологию изготовления уплотнений этого типа, сохраняя лри: этом их эксплуатационную надежность, для чего на диэлектрическую дета.ль наносят тонкий слой металла, который сопрягают с мягкой металлической прокладкой, припаянной к металлической детали, и осуихествляют спаивание указанного слоя с прокладкой, путем прижатия деталей друг к другу при повышенной температуре.

На чертеже изображена схема газонепроницаемого стыка между диэлектрнческой и металлической деталями вакуумного прибора, в )азрезе.

На торце изолятора / нанесен тонкий слой 2 металла, который сопрягается с мягкой металлической прокладкой-кольцом 3. Прокладка припаяна припоем к металлическому фланцу детали 4. Сильным нажимом фланца на изолятор прокладка сильно деформируется и плотно прилегает к пленке металла на изоляторе. При повышенной температуре, благодаря встречной диффузии одного металла в другой, прокладка 3 спаивается с пленкой 2, образуя газонепроницаемый шов. Спекание прокладки с пленкой происходит не сплавлением мета.члои, а путем взаимной диффузи1И между ни-ми.

В случае применения металлов, окисляющихся в открытой атмосфере, процесс спаивания следует вести или в среде нейтрального газа, или в вакууме.

Опыты показали, что наиболее подходящим металлом может служить серебро, которое даже при невысоких сравнительно температурах порядка 200-300°) и средних давлеииях (20-30 /сг/лг.иа) легко сращивается.

Слой 2 наносится на изолятор / любым способом металлизации, например, методом катодного распыления, методом восстановления металла из их соединений, применяемым в зеркальном производстве,

И т. п.

Предмет изобретения

Способ получения газонепроницаемых уилотнений между металлическими и диэлектрическими деталями для вакуумных приборов путем сопряжения металлических по-верхностей, отличающийся тем, что на диэлектрическую деталь наносят тонкий слой металла, который сопрягают с мягкой металлической прокладкой, припаянной к металлической детали, и осуществляют спаивание указанного слоя с прокладкой путем прижатия деталей друг к другу в условиях повыи енной температуры.