Устройство для сборки фотоэлектрических приборов типа видиконов Советский патент 1979 года по МПК H01J9/38 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СБОРКИ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ ТИПА ВИДИКОНОВ

Изобретение относится к электровакуумной промь1шленности, а более конкретно к производству фотоэлектрических приборов (ФЭП) типа ВИДИКОНОВ с окисно-свинцовыми фотодиодными мишенями для цветного телевидения. Мишень этих видиконов пред ставляет собой поликристаллический пористый слой окиСи свинца. Толщина кристаллических пластинок составляет около 100 А, а обшая их поверхность достигает 50 . На фотоэлектрические свойства таких мишеней сильно влияют любые газы, кроме инертных или пассивных (азота). Поэтому при изготовлении видиконов с такими мишенями необходима зашита михйени от воздействия атмосферного воздуха и других газов и паров на всех технологических операциях. Устройство обеспечивает сохранение напыленной мишени видикона от воздействия атмосферного воздуха при снятии баллона видикона с откачного гнезда напылительной установки после изготовления мишени, при вакуумной обработке электронно-оптической системы (ЭОС) внутри герметичной камеры, при предварительном соединении баллона с ЭОС под заварку и транспортировку баллона с ЭОС на завару в герметичной камере, заполненной инертным газом. Известно устройство для производства технологических операций в обеспыленной среде, например для сборки электровакуумных приборов 1. Устройство имеет камеру, в которую через фильтр подается очиш,енный воздух. Сборка прибора осушествляетСя внутри камеры и для рук оператора впереди камеры предусмотрен проем. Недостатком данного устройства является то, что в нем невозможно производить сборку ФЭП типа видиконов, так как оно не обеспечивает защиту фотодиодной мишени от контакта с воздухом. Известно также устройство для сборки фотоэлектрических приборов типа видикоНОВ, включающее стационарную камеру с Отверстиями для подачи и выпуска инертного газа .

Недостатком известного устройства является то, что оно имеет большие габаритные размеры, а следовательно, требует расхода большого количества инертного газа. Кроме того, при сборке фотоэлектронного прибора, например видикона, не исключает ся возможность загрязнения мишени атмосферным воздухом. Это происходит потому, что ЭОС после вакуумной обработки на откачном посту переносится в камеру для сборки с баллоном в атмосфере воздуха. Поверхности деталей ЭОС, соприкасаясь с воздухом, захватывают молекулы газов, которые при сборке ЭОС с баллоном примешиваются к инертному газу. СмесУтвозДуха с инертным газом попадает внутрь баллона и на мишень, после чего теряет нужные свойства. Все манипуляции при сборке прибора, например видикона, осушествляются с помошью резиновых перчаток. Из-за наличия в резине огранических вёшеств-углеводородов, которые улетучиваются и смешиваются б инертным газом, мишени загрязняются и портятся.

Целью изобретения является уменьшение габаритных размеров и исклю11ение попадания в прибор воздухапутем изменения потока инертного газа внутри устройства. Указанная цель достигается тем, что в устройство введена съемная вакуумная камера с гнездом для установки электронно- оптической системы и с отверстием для подачи и выпуска инертного газа, а стационарная камера выполнена из двух частей - подвижной и неподвижной, причем подвижная часть Камеры состоит из двух цилиндров с размешенными в них механизмами захвата колбы прибора и крышки съемной вакуумной камеры и снабжена отверстиями для подачи и выпуска инертного газа, расположенными на торце неподвижной части камеры и цилиндре с механизмом захвата колбы прибора, а также тем, что подвижная

ПШЩВШйай q dffкамеръГеЬедйнёнЬ меж .:-лГ.ду собой при помощи ползуна.

На фиг. 1 изображено устройство для сборки ФЭП, вертикальный разрез; на фиг. 2 - съемная вакуумная камера, вертикальный разрез; на фиг. 3 - устройство в сборе со съемной вакуумной камерой; на фиг. 4 - устройство в положений, при котором подвижная часть камеры перемещена в крайнее правое положение; на фиг. 5 - устройство в положении, при котором под вйжная часть камеры перемещена в крайнеё левое положение.;

Устройство для сборки ФЭП состоит из стационарной камеры, к которой присоединяется съемная вакуумная камера.

Стационарная камера состоит из подвижной верхней части 1 и неподвижной нижней

части 2. Подвижная часть 1 камеры состоит из ползуна 3, на котором внутри полого цилиндра смонтирован захватывающий механизм 4 с цанговым патроном, предназначенным для зажима баллона и снятия его с уплотнительного гнезда напылительной ус тановки. На этом же ползуне 3 внутри другого полого цилиндра смонтирован другой механизм, состоящий из торцового ключа 5 с винтовыми зажимом 6 и предназначенный

для снятия и установки с съемной вакуумной камеры ее верхнего уплотняющего устройства.

Пробка 7, вставленная в коническое отверстие на верхней части полого цилиндра, предназначена для изменения направления потока инертного, газа внутри камеры в зависимости от проведения технологического процесса сборки прибора. Захватывающий механизм 4 состоит из подпружиненного штока 8, соединенного с цанговь1м патроном, рукоятки 9, предназначенной для разжима и зажима цанги, и рукоятки 10, предназначенной для поворота вокруг оси и ручного перемещения вверх или вниз штока 8. Для фиксации штока в его верхнем положении

5 служит винт 11. Неподвижная нижняя часть 2 камерыСОСТОИТ также из полого цилиндра 12 и прямоугольной камеры 13, прикрепленной к полому цилиндру сверху. На торцовой части прямоугольной камеры 13 шарg нирно на оси 14 прикреплена стенка 15 с держателем 16, предназначенным для установки в него дополнительной вакуумной камеры. Как на полом цилиндре подвижной части камеры 1, так и на стенке 15 предусмотрено коническое отверстие, в которое

5 вставлена такая же пробка. На нижней части 2 полого цилиндра 12 установлен съемный пробковый кран 17, предназначенный для подачи инертного газа в камеру. Для обеспечения центрирования баллона ФЭП с камерой, .балло вставлен в уплотни тельное гнездо, на нижней части 2 полого цилиндра 12 в основании 18 предусмотрена центрирующая втулка 19. К основанию 18 прикреплены ножки 20 для удобства установки устройства на рабочий стол.

5 Съемная вакуумная камера состоит из стеклянного цилиндра 21, с которым вакуумплотно соединен металлический цилиндр 22. К стеклянному цилиндру 21 присоединено съемное уплотнительное устройство 23 с гнездом 24 для установки в него ЭОС 25.

0 Герметизация уплотнительного устройства 23 с цилиндром 21 вакуумной камеры осуществляется уплотнительным кольцом 26 с помощью завинчивания на резьбовую часть корпуса уплотнительного устройства накидной гайки 27. В уплотнительном устройстве 23 в его гнезде 24 предусмотрена подпружиненная пробка с дном и резьбовая пробка 28, обеспечивающая открытие

и закрытие вакуумной камеры, заполненной инертным газом, и имеющая отверстие для откачий и коническое отверстие для установки в него съемного пробкового крана 17.

Вакуумная камера сверху уплотняете другим съемным уплотнительным устройством, которое состоит из колпачка 29 с винтом 30, вставленным в цилиндр 31. Между колпачком 29 и цилиндром установлена резиновая уплотнительная прокладка 32, зажимаемая с помощью гайки 33. На этой гайке для торцового ключа 5 предусмотрен шлиц 34.

Устройство для сборки ФЭП работает следующим образом. Устройство центрирующей втулкой 19 устанавливают на баллон прибора. Который уплотнен с откачным Гнездом напылительной установки. Баллон ФЭП захватывают механизмом 4. Перед установкой ЭОС 25 в гнездо 24 съемной вакуумной камеры на щтангель ЭОС 25 надевают колпачок 35 из фторопласта, оставляя зазор между торцами щтенгеля и колпачком 35 От вакуумной камеры отделяют уплотнительное устройство 23. Благодаря отвинчиванию резьбовой пробки 28 ее переводят в крайнее нижнее положение, а в гнездо 24 устанавливают ножкой ЭОС 25 с надетым на ее щтенгель колпачком 35. Уплотнительное устройство 23 со вставленной ЭОС 25 насаживают на цилиндр 21 вакуумной камеры, и завинчиванием накидной гайки 27 обеспечивают герметизацию вакуумной камеры.

Съемную вакуумную камеру устанавливают на уплотнительное гнездо откачного поста для вакуумной обработ(и ЭОС 25. После вакуумной обработки ЭОС 25 внутрь вакуумной камеры пускают инертный газ, освобождают ее от уплотняющего зажима и извлекают камеру из уплотнительного гнез; да откачного поста, придерживая все время в вертикальном положении с целью устранения утечкИ инертного газа из внутреннего объема вакуумной камеры. Придерживая все время камеру в вертикальном положении, устраняют зазор между штенгелем ножки ЭОС 25 и дном колпачка 35 путем завинчивания резьбовой пробки 28. Затем вставляют съемную вакуумную камеру в держатель 16, и фиксируют положение камеры зажимным винтом, предусмотренном на держателе 16. Во внутреннюю полость баллона ФЭП, находящегося в откачном гнезде напылительной установки с изготовленной мишенью, пускают инертный газ и освобождают баллон от зажима. Убирают пробку 7 из конического отверстия, и через пробковый кран 17 пускают инертный газ. Перемещением штока В с помощью рукоятки 9 вверх извлекают баллон ФЭП из уплотнительного гнезда в потоке инертного газа. Перемещают баллон в верхнее крайнее положение, затыкают пробку 7, открывают бо661638

ковую пробку на стенке 15, и поток инертного газа направляют в правую сторону. С помощью ключа 5 освобождают от зажима уплотнительное устройство на верхней части съемной вакуумной камеры, с помощью зажима 6 прикрепляю уплотнительное устройство к ключу 5, и затем в потоке инертного газа переводят его в верхнее крайнее положение. Подвижную верхнюю часть 1 стационарной камеры с закрепленным на нем баллоном ФЭП, находящемся в верхнем положении, переводят в правую сторону до упора (фиг. 4), и совмещают ее с осью съемной вакуумной камеры. Перемещением щтока 8 вниз баллон ФЭП насаживают на ЭОС 25, устанавливают необходи5мый зазор между нижней частью гнезда 24 и резьбовой пробкой 28, и затыкают боковую пробку настенке 15, т. е. поток инертного газа направляют внутрь съемной вакуумной камеры с выходом газа через нижнюю часть камеры.

Верхнее уплотняющее устройство, прикрепленное винтом 6 к ключу 5, вставляют в съемную вакуумную камеру, и этим же ключом путем завинчивания гайки 33 обеспечивают герметизацию верхней части ка5ме,ры (фиг. 5).

Путем завинчивания резьбовой пробки 28 на съемной вакуумной камере устраняют зазор между пробкой и гнездом 24. Съемную вакуумную камеру, заполненную инертным газом с насаженным на ЭОС баллоном,

0 снимают с держателя 16 и переносят на участок заварки.

Использование предлагаемого устройства для сборки ФЭП, например видиконов, с оксино-свинцовой мишенью в сравнении с известными устройствами может значитель5но повысить выход годных изделий.

.Формула изобретения

ти камеры и цилиндре с механизмом захвата колбы прибора.

661638

Источники информации, принятые во,внимание при экспертизе

fuz.Z

33

28

661638