СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОЭЛЕКТРОННОГО ПРИБОРА Российский патент 1995 года по МПК H01J9/12 

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления фотоэлектронных приборов методом раздельной обработки фотокатода и корпусной части.

Целью изобретения является получение высокой чувствительности фотокатода при обеспечении высокой надежности и производительности оборудования.

Для этого в известном способе переноса, включающем изготовление фотокатода в отдельном активировочном баллоне на откачном посту, помещение баллона с готовым фотокатодом и корпуса изделия в вакуумную камеру установки переноса, откачку камеры, обезгаживание корпусной части, вскрытие активировочного баллона и перенос из него фотокатодного узла к корпусу изделия с последующим их герметичным сочленением, корпусные части помещают в прогреваемую вакуумную камеру, а баллоны с фотокатодами в шлюзовую непрогреваемую камеру установки, сообщающуюся с прогреваемой камерой через шиберное устройство. Затем камеру с корпусами термически обезгаживают, производят вскрытие баллона с фотокатодом в шлюзовой камере, вскрытый баллон с фотокатодом передают через шиберное устройство в термически обезгаженную камеру, фотокатодный узел с фотокатодом переносят из баллона к корпусной части в объеме камеры со сверхвысоким вакуумом, прошедшей цикл термического обезгаживания.

На чертеже изображена схема установки переноса.

Установка имеет прогреваемую сверхвысоковакуумную камеру 1 и непрогреваемую шлюзовую камеру 2, камеры соединяются между собой шиберным устройством 3.

Корпусные части и баллоны с фотокатодами помещают в разные камеры установки переноса; корпуса в прогреваемую камеру 1, баллоны с фотокатодами в непрогреваемую шлюзовую камеру 2, сообщающуюся с прогреваемой камерой 1 через шиберное устройство 3. Обе камеры откачивают, затем прогреваемую камеру 1 вместе с помещенными в нее корпусами при непрерывной откачке термически обезгаживают, при этом вакуум достигает до 10^-8 Па. В условиях полученного вакуума проводят необходимую технологическую обработку корпусов (термическое и термоэлектронное обезгаживание). В шлюзовой непрогретой камере 2 с фотокатодными баллонами обеспечивают вакуум 10^-3-10^-5 Па. После завершения технологической обработки корпусов в прогретой камере 1 баллоны с фотокатодами в шлюзовой камере 2 вскрывают, в результате чего обеспечивают доступ к фотокатодному узлу. Конструкция баллона обеспечивает сохранение чувствительности фотокатода при вскрытии баллона в вакууме 10^-3 Па и ниже при условии сохранения положения катодного узла в соответствующем гнезде баллона. Вскрытые баллоны с фотокатодными узлами передают через кратковременно открытый шибер 3 из шлюзовой камеры 2 в прогреваемую камеру 1 со сверхвысоким вакуумом. При передаче баллонов с фотокатодными узлами в прогреваемой камере 1 наблюдается кратковременное повышение давления, которое полностью восстанавливается после закрытия шибера 3. После восстановления давления в прогреваемой камере 1 фотокатодные узлы извлекают из баллонов и переносят к торцам изделий с дальнейшим их сочленением по известному способу. Ввиду того, что перенос фотокатодных узлов производят в условиях сверхвысокого вакуума с низким содержанием активных газов, что обусловлено термическим обезгаживанием камеры, чувствительность заранее изготовленного фотокатода полностью сохраняется.

На основе предлагаемого способа разработана серийноспособная технология изготовления различных ФЭП методом переноса. Изготовлены образцы электронно-оптических преобразователей второго поколения с прямым переносом изображения с чувствительностью 400-500 мкА/лм, также изготовлены плоские фотоэлементы с квантовым выходом на длине волны 410 нм 20-30% (диаметр 30 мм, высота 8 мм) для использования в сцинтилляционных счетчиках на кристаллах NaJ.

Использование: технология изготовления фотоэлектронных приборов методом раздельной обработки фотокатода и корпусной части (методом переноса). Сущность изобретения: после изготовления фотокатода (ФК) в отдельном активировочном баллоне его помещают в общую камеру установки переноса. Корпусную часть прибора обезгаживают, затем вскрывают актиблокировочный баллон с ФК и производят его сочленение с прибором. При этом перед помещением в общую камеру активировочный баллон с ФК предварительно помещают в шлюзовую непрогреваемую камеру через шиберное устройство, затем проводят вскрытие баллона, а при обезгаживании корпусной части прибора проводят одновременно обезгаживание общей камеры до помещения в ней вскрытого баллона с ФК. 1 ил.

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОЭЛЕКТРОННОГО ПРИБОРА методом переноса, включающий предварительное изготовление фотокатода в отдельном активировочном баллоне, обеспечивающем защиту фотокатода от его вскрытия в атмосфере остаточных газов с давлением не больше 10^-4 мм рт.ст. помещение активировочного баллона с фотокатодом и корпусной части прибора в общую камеру установки переноса, обезгаживание корпусной части прибора, вскрытие активировочного баллона с фотокатодом и сочленение корпусной части прибора с фотокатодом, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, активировочный баллон с фотокатодом перед его помещением в общую камеру предварительно помещают в шлюзовую непрогреваемую камеру через шиберное устройство, затем проводят вскрытие баллона, а при обезгаживании корпусной части прибора проводят одновременно обезгаживание общей камеры до помещения в ней вскрытого баллона с фотокатодом.