Способ автоматического контроля и управления процессом электрохимического травления микропроволоки Советский патент 1979 года по МПК C25D21/12 

Изобретение относится к области гальванотехники и может быть исполь-эовано для автоматического контроля и управления процессом электрохимиче кого травления IvttIкpoпpoвoлoки из тугоплавких металлов, применяемой в радиоэлектронике и приборостроении. Известен способ автоматического контроля и управления процессом элек трохимического травления ликропроволокй, включающий измерение выходного диаметра микропроволоки, протягиваемой через многосекционную травильною ванну с постоянной скоростью, и упра ление током травления в зависимости от отклонения диаметра проволоки на выходе от заданного 1. Целью изобретения является снижение неравномерности микропроволоки по диаметру. Это достигается тем, что измеряют первую производную по электропроводности ванны на входных ее секциях в направлении движения микропроволоки и корректируют величину тока трав ления в соответствии с отклонением производной от заданного значения увеличивают при положительном значении отклонения производной и умень majoT при отрицательном. На чертеже приведена принципи альная электрическая схема устройства, реализующего предлагаемый способ. На входных секциях травильной ванны измеряют производную по электропроводности и в зависимости от знака производной формируют корректирующее воздействие на силу тока травления. Проводят автоматический контроль и управление процессом электрохимического травления вольфрамовой микропроволоки 1 в многосекционной электролитической, ванне, имеющей электроды 2 и 3. Мостовой схемой, образованной дифференциальным трансформатором 4 и электродами 2,3 и 5 входных секций электролитической , непрерывно измеряется первая производная электропроводности в направлении движения микропроволоки,, причем измерительная диагональ моста подключается к входу дифференциального кондуктометрического преобразователя б. Затем величину первой производной электропроводности, которой пропорционален сигнал преобразователя 6, сравнивают с величиной сигнала блока 7 задающих воздействий с помощью схемы сравнения регулятора В и регулятором изменяют мощность, подво