Устройство автоматического регулированияпРОцЕССА элЕКТРОХиМичЕСКОгОТРАВлЕНия МиКРОпРОВОлОКи Советский патент 1981 года по МПК C25D21/12 C25F7/00 

Изобретение относится к области гальванотехники. Устройство может быть использовано для автоматического регулирования процесса электрохимического травления микропроволоки из тугоплавких металлов и применено в радиоэлектронике и приборостроении для самы разнообразных целей. Известно устройство автоматического регули рования процесса электрохимического травления микропровопоки, содержащее емкостный преобразователь ее выходного диаметра, задатчик диаметра и регулятор силы тока травления 1.. Это устройство, не обеспечивает компенсации параметрических возмущений объекта регу лирования и прежде всего возмущений по коэффищ1енту передачи объекта, вызванных изме нениями скорости движения проволоки в ванне и другими режимнылш факторами. Цель изобретения - снижение неравномер-. кости проволоки по диаметру путем повьппе ния точности регулирования. Цель достигается тем, что регулятор силы тока вьшолнен в виде двух блоков масппабирующего суммирования, регулируемого усипитеяя и интегратора, причем выходьт емкостного преобразоватедя выходного диаметра и задатчика соединены с входами обоих блоков масщтабирующего суммирования, выход первого блока масиггабирующего суммирования соединен с основгаш входом регулируемого усилителя, выход второго блока масщтабирзоощего суммирования соединен с входом интегратора, а выход последнего - с входом управления регулируемого усилителя. На чертеже показана схема устройства. Устройство состоит из электролитической ванны 1, емкостного прео азователя 2 диаметра, двух блоков масштабирующего суммироваиия 3, 4, задатчика 5 диаметра, регулируемого усилителя 6 я интегратора 7. Процесс электрохимического травлеиия микропроволоки 8 проводят в электролитической вание, оснащенной электродами 3t, Э}, ..., Эр. На выходе проволоки из ванны производят иэмереняе ее выходного диаметра с помощью

емкостного преобразователя 2. Его выходной сигнал xC-fc) подается на вход блока масштабирующего суммирования 3, где производится его алгебраическое суммирование с сигналом jH. У задатчнка 5 диаметра с масштабными коэффициентами, дополняющими друг друга до единшдл. При этом выходнрй сигнал блока масштабирующего суммирования 3

2(-fc)Kx(:)-U-K)Xy

Этот СИГ1ЮЛ подается на основной вход регулируемого усилителя 6 мощности, который выполняет функцию управляемого сопротивления в цепи питания электролитических ячеек ванны от питающего трансформатора Ti,

Сигнал Z2(4)Ha входе управления регулируемого усилителя формируется путем вычисления разности W регулируемой величины ) и уставки Ху посредством блока масштабирующего суммирования 4 и последующего интегрирования этой разность в интеграторе 7

t.

2« Ш - Je(-t)dt (t)dt h Яи. .

Таким образом, регулирующее воздействие Хр ( выходе усилителя 6 определяется следующим выражением:

- .. кхШШх ад

Высокочастотные возмущения, действующие на вход системы автоматического регулирования, компенсируются основным контуром системы . (емкостный преобразователь диаметра - первый блок масштабирующего суммирования - регулируелйш усилитель), а низкочастотные параметрические возм)тцения по коэффициенту передачи объе1(та - контуром самонастройки (емкостный преобразователь ДИ аметра - второй блок масштабирующего суммирования - интегратор - регулируемый усилитель).Предложенное устройство позволяет повысить точность регулирования путем уменьшения статической ошибки регулирования за счет того, что регулирующее воздействие в

основной цепи формируют в зависимости от ра:.ности между выходным сигналом объекта регулирования и сигналом задания (уставки), полученной методом их масштабирующего суммирования с коэффициентами, дополняющими друг друга до единицы. Эж) позволяет в стационарных условиях формировать ре-. гулирующёе воздействие, не равное нулю, при ошибке регулирования, близкой к нулю. Введение гибкой связи мезеду ошибкой регулирования и коэффициентом передачи регулятора через контур самонастройки обеспечивает более точную компенсацию низкочастотных параметрических возмущений по коэффициенту передачи объекта.

ФормулаИ 30бретения

Устройство автоматического регулирования процесса электрохимического травления микропроволоки, содержащее емкостный преобразователь ее входного диаметра, задатчик диаметра и регулятор силы тока травления, о тличающееся тем, что, с целью снижения неравномерности проволоки по дааметру путем повышения точности регулирования, регулятор силы тока выполнен в виде двух блоков масштабирующего суммирования, регулируемого усилителя и интегратора, причем выходы емкостного преобразователя выходного диаметра проволоки и задатчика

соединены с входами обоих блоков масштабирующего суммирования, выход первого блока масштабирующего суммирования соеданен с основным входом регулируемого усилителя, выход второго блока масштабирующего. суммирования соединен с входом интегратора, а выход последнего - с входом управления регулируемого усилителя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Информационный листок Алтайского межотраслевого территориального центра НТИ и пропаганды, N° 266-76, 1976.

Р

о