Сверхвысоковакуумный вентиль Советский патент 1979 года по МПК F16K31/50 

(54) СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ВЕНТИЛЬ

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к вакуумной запорной арматуре, Известен сверхвысоковакуумный вентиль содержащий клапан со штоком, резьбовая часть которого с гайкой, закрепленной на корпусе, образует винтовую пару. Шток приводится во вращение через муфту ог раничения крутящего момента электромеханическим приАодом; Величина давления между клапаном и седлом корпуса ся в резьбе винтовой пары ij. , Недостатком этого вентиля является отсутствие постоянства давления, обусловленное изменением сил трения в винтовой паре.. Наиболее близок к предлагаемому изо& ретению сверхвакуумный вентиль, в корпу се которого расположены запорный орган со штоком, образующим винтовую пару с гайкой механизма привода, и узел создания усилия уплотнения, выполненный в виде набора предварительно сжатьк тарельгчатых пружин, деформация которых при уплотнении создает усилие прижатия запорного органа к седлу 2. В этом вентиле постеп енный износ кромок тарельчатых пружин и уменьшение их начальной жесткости приводит к уменьшению допустимой величины изменения заданного уплотнения, что снижает надела ность вентиля в работе. Белью изобретения является увеличение срока службы и повышение надежности вентиля в работе путем обеспечения постоянства усилия уплотн1эния на клапане. Для этого узел создания усилия уплотнения выполнен механогйдравлическим с рабочей средой, например, из гидропласта, а на гайке механизма привода установлены резьбовая втулка, -кинематически связ анная с Гидропластом, и муфта предельного момента, срабатывающая при закрытии запорного органа. Внутренняя поверхность втулки связана с наружной поверхностью гайки шлицевым соединением, а наружная с механизмом привода..