Способ цветного ионного травления металлических образцов Советский патент 1979 года по МПК G01N3/32 

гравлёний в режиме ударной ионизации любые объекта dtpyRtypH iiepeтра; вливаются и на них формируется непрозрачный окисный слой, п6к1рываю дий всю поверхность шлифа. После это обработки регулируемый клапан пёреклйчайт на подачу в вакуумируемую камеру аргона, и образец при тех же электричедких параметрах подвергают травлению ионами аргона для уменьшения толщины поверхностного окисного слоя на шлифе до такой величины, при которой при прохождении полихроматического света через, эти окисные образования происходит его интерференция, т. е. до появления цветного окрашиванйя объектов ашйфа. Достижение требуемой длительности обработки шли фа ионами аргона легко определяется визуально. Tak как все объекты шлифа . (устойчивые и бкйслёнйю и лёТгкбокйсляющиеся) ббладают различной проводи iMOCTbHj, то на них формируются окис-х., ные покрытия различной толщины ,что и обуславливает их различие в цветовой окраске после обработки поля шлифа аргоном. - -:--г, : П р и ме р 1. Шлиф из сферическо гранула/ заполимерйЭйёЙИ-ной вэпо ксйдной смоле, подготавливают к цветному ионному т|;)авлёнию- : ПО общепринятой Методике: полируют, а затем в герметичной камере приг.давлении 5,0х10 ио4 рт. ст, обра6atasaf6T на катОдё ионами alpFO Ua для удаления окисных образований, появившихся на поверхности об1Ё1азца В пррцессе полировки. Затем при ускоряю14ём напряжений 2,5 кВиплотности тока пучка 5,0 мА/см в течение 15 мин обрабаты1вают пОвёрхйост шлифа/иОнами газа-окислителя (кислород или воздух). Для придаййя цвётйОгО окрашивания Объектам в поле шлифа производят его обрабО ку йонами а:ргб га й15й я(ё параметрах в течение 5 мин. В HpeSipJibTaTe предложенного способа удалось выявить зоны с повышенной йврйстЪстЬю, которые имеют зеленую ok jacify. /- ,.--. ..л.,,...л.:.-.,:.: П р им ё р 2. Щгшф из композитного материала - борвольфраМОвШ волокон, приготовленный к цветному ионному травлению так в примере 1, 13 герметичной камере при давлении 3-10 мм рт. ст. подвергают травлейию газом-Окислителем (кис лородом) при плотности тока пучка 3,0 ,0 мА/см в течение 15 мин. Затем для приданий цветного окрашивания шлиф обрабатывают в том же режиме потоком ионов аргона в течение 10 мин. Благодаря применению предложенного способа удалось выявить дополнительно объекты в слое борного покрытия, а именно области с более плотной структурой, окрашенные в светло-желтый цвет, которые расположены в периферийной части борного слоя, имекицего плавно йзменяющуюся окраску от коричневой (в центре) ,цо светло-коричневой (в наружных областйх борного слоя) , Таким образом, предложенный способ рбеспечиЬает четкое цветное контра тиро ание объектов шлифа, изготовленного практически из любых материа.лов, в том числе из однофазных матер1 алЬв и материалов, содержащи2с фазы, резкоотличающиеся бдйа от другой склонностью к окислению. Формула изобретения Способ цветного ионного травления мёта ллйчёских образцов, включающий, очистку поверхности шлифа бомбарди-. ровной ионами инертного газа и окисление при бомбардировке ионами газа окислителя, например, кислорода, вОздУха, о т л и чаю щ и и с я . Telvi 4To,fc цельи повышения качества выявления структуры, окисление проводят при плотности тока пучка 3,0-7,0 мА/см в теЧени 10-15 мин, а затем обрабатывают пОтоКом ионов инертногй газа в течение 5-10 мин до.появления цветного окрашивания поверхности шлифа. ., - ... . ,.1 Источники информации, принятые во вййМанйе при эксцертйзе 1. Aeeuminio , 1964, 33, if 48, 405-411.