(54) УСТАНОВКА ДЛЯ ФОТОГРАФИЧЕСКОГО ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ катель 15 с роликом 16 могут быть и жестко закреплены на кассете 8. Работа устройства осуществляется следуЮЩим образом. Для перемещения каретки 4 служат ро/,ики 17 и привод с электродвигателем 18 редуктором 19, установленным на каретке, и зубчатой рейкой 20 на направляющих 3, которая взаимодействует с зубчатым колесом редуктора (на чертеже не показано). Вначале в зависимости от требуемой величины коррекции изображения с прокладки 12 выставляется зазор между фотощаблоном и подложкой и изготавливается с соответствующим профилем корректирующая линейка 2, которая устанавливается на основание. Каретка 4 отодвигается в крайнее положение, изображенное на чертеже, и с помощью редуктора 19 устанавливается необходимая для качественного экспонирования скорость перемеп1ения каретки по направляющим. Затем включается осветитель 6 и электродвигатель 18 привода каретки, в результате чего происходит перемещение каретки и экспонирование изображения. При движении каретки по направляющим ролик 16 катится по линейке 2 и перемещает в вертикальном направлении толкатель 15, который, в свою очередь, поворачивает кассету 8 вокруг оси 14. Тем самым, угол падения лучей к экспонируемой поверхности изменяется в зависимости от профиля корректирующей линейки 2 и нроис.ходит коррекция продольных размеров получае.мого изображения, Для удобства коррекции размеров neirrpoвая линия оси и точка контакта толкателя 15 с кассетой 8 расположеш в плоскости изображения фотошаблона 10. Удобно также изготавливать корректирующую линейку 2 таким образом, чтобы в начале движения плоскость изображения располагалась параллельно направлению перемеп.1ения. F3 этом случае лучи света иериендикулярпы плоскости изображения и, следовательно, начальный угол падения лучей . Необходимый закон изменения угла падения лучей света в процессе перемещения каретки при оСо О определяется по формулеЛ(агс1. где с{,{х) - значение угла падения в функции от длины перемещения; X - величина пере.мещения, исчисляемая от начальной точки изобретения; h - величина зазора между фотощаблоном и подложкой; l (х) - величина необходимой коррекции размера изображения в функции от длины перемещения. С другой стороны, из чертежа следует, что dC(,x) aictgijt x) , (г) где L - расстояние между центровой линией оси 14 и точкой контакта толкателя 15 с кассетой 8; Y() - закон изменения высоты линейки 2 по ее длине. Согласно выражениям (1) и (2) УСХ)Л(«) Из выражения (3) следует, что профиль линейки 2 должен быть изготовлен по графику ногрещности изображения (х), вычерченному в масштабе т-. Испьггания данной установки показали, что точность изображений, получаемых с фотошаблона, значительно повьипена без ус;1ожнения технологии изготовления. При это.м значите.лыю сокрап1ается время и С1)е;1ства, затрачиваемые на изготовление копий фотон аб:1опа. Формула изобретения Установка для фотографического полученпя изображения, содержащая закрепленные на ооюварши нанравляюц;ие с подвижпой кареткой, выполненной с кассетой и установ;1енными в последней с зазором между собой, фотошаблоном и подложкой, осветитель с параллельными лучами света и щелевую диафрагму, отличающаяся тем, что с целью уменьшения по|-рещности изображения путем коррекции продольных раз.меров его отдельных участков, в нее введена корректируюп1.ая линейка, жестко установленная на основании, а каретка выполнена с направляющей для толкателя, взаимодействующего своими концами с но.мощью ролика и непосредственно соответственно с корректирующей линейкой и одной стороной кассеты, другая сторона которой выполнена с шарниром, ось новорота которого перпендикулярна луча.м света и направлению перемещения фотощаблона и подложки. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 289563, кл. G 03 В 27/42, 1971. 2.Авторское свидетельство СССР Хо 506826, кл. Б 03 С 15/00, 1976.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Способ фотографического получения изображения | 1972 |
|
SU506826A1 |
Устройство для проекционной печати и совмещения рисунков фотошаблона с подложкой | 1972 |
|
SU481145A1 |
Способ репродукционной фотосъемки при изготовлении прецезионных фотошаблонов микроплат | 1989 |
|
SU1767471A1 |
Способ фотолитографии (его варианты) | 1980 |
|
SU966655A1 |
Устройство для контроля размерных параметров топологии фотошаблонов | 1980 |
|
SU905633A1 |
Фототрансформатор | 1982 |
|
SU1081415A1 |
Способ получения рисунка фотошаблона | 1985 |
|
SU1308111A1 |
Устройство для совмещения и экспонирования фотошаблона и подложки | 1989 |
|
SU1675833A1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ РИСУНКОВ | 1999 |
|
RU2257603C2 |
Способ формирования изображения на подложке | 1982 |
|
SU1100604A1 |
Авторы
Даты
1979-06-25—Публикация
1977-04-05—Подача