Устройство для совмещения и экспонирования фотошаблона и подложки Советский патент 1991 года по МПК G03B27/44 G03B27/02 

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в электронной, радиотехнической и других областях промышленности при производстве тонкопленочных гибридных интегральных схем (ГИС), например, для многократного переноса изображения с фотошаблона на подложки.

Целью изобретения является автоматизация работы, повышение производительности и надежности устройства совмещения и экспонирования.

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 2; на фиг. 4 - разрез В-В на фиг. 2.

Устройство для совмещения и экспонирования содержит стол 1 (фиг. 1), механизм 2 перемещения кассеты с подложками, механизм 3 перемещения кассет с фотошаблонами, транспортирующие устройства, содержащие следующие механизмы: механизм 4 для выталкивания подложек из кассеты, механизм 5 для заталкивания подложек в кассету, механизм 6 для выталкивания фотошаблона из кассеты, механизм 7 для заталкивания фотошаблона в кассету (фиг. 2), а также механизм 8 фиксации подложки (фиг. 3) и механизм 9 фиксации фотошаблона.

Стол 1 содержит плиту 10 (фиг. 2), в которой выполнены паз 11 и направляющая 12 для подложки 13. показанная на столе 1

3

ел

00

со

CJ

условно тонкими линиями (фиг. 3), Другая направляющая 14 (фиг. 2) для подложки выполнена съемной. В ней имеется паз 15 (фиг. 3), через который проходит Г-образняя часть рычага 16. Последний имеет возможность колебательного перемещения вокруг оси 17 и пружиной 18 прижимается к якорю 19 электромагнита 20. Рычаг 16, ось 17, пружина 18, якорь 19 и электромагнит 20 составляют механизм 8 фиксации подложки. На плите 10 установлены три упора для фиксации подложки 13, два боковых упора 21 (фиг. 2) и один основной упор 22. Осноз- ной упор 22 расположен с правой стороны от центра подложки 13 и фотошаблона 23 (подложка и фотошаблон на столе 1 показаны тонкими линиями), С левой стороны от центра подложки 13 и фотошаблона 23 расположен основной упор 24 для фиксации фотошаблона 23. Под центром подложки 13, находящейся на столе 1, расположена вакуумная присоска 25 (фмг. 3) и ппршзнь 26, в центре которых выполнено отверстие 27, соединенное с вакуумнэй системой. Под поршень 26 через штуцер 28 подводится сжатый воздух. На поршне 26 находится планка 29 (фиг. 1), плоская пружина 30, два винта 31с контргайкой, которые служат для регулировки хода поршня 26 вверх. На плите 10 (фиг. 3) на четырех бонках 32 установлена подвижная рака 33, с выполненными на ней двумя направляющими 34 и 35 для фотошаблона 23. Направляющие 12 и 14 для подложек и направляющие 34 и 35 для фотошаблонов представляют трассу, по которой перемещаются подложки и фотошаблоны, Подвижная рама 33 прижимается к трем шарикоподшипникам 36 (фиг. 2 и 3) четырьмя пружинами 37 (фиг. 2).

Посадочные места под шарикоподшипники 36 смещены (имеют эксцентриситет) относительно общих осей налов 38 (фиг, 3). На последних закреплены червячные колеса 39, которые входят в зацепление с червяками 40, соединенными с электродвигателями 41.

На столе 1 установлен механизм 9 фиксации фотошаблона 23, который содержит . электромагнит 42 (фиг. 3), который якорем 43 соединен с рычажной системой, состоящей из стержней 44-47 (фиг. 3 и 4), рычагов 48-54 и планки 55. Рычаг48 сидит нз оси 56, рычаг51 на оси 57, рычаг 52 на оси 58, рычаг 49 на оси 59, рычаг 50 на оси 60, рычаги 49 и 50 находятся на плите 10 и своими концами касаются подпружиненных рычагов 53 и 54, на осях вращения которых находятся пружины 61 кручения. Последние обеспечивают прижатие рычагами. 53 и 54 (фиг. 2 и 3) фотошаблона 23 к наггоазляющмм 34 и 35.

Рычаги 53 и 54 располагаются на подвижной раме 33.

На подвижной раме 33 (фиг, 2) на оси 62 установлен рычаг 63 боковой фиксации фотошаблона механизма фиксации фотошаблона. Рычаг 63 подпружинен пружиной 64 растяжения, имеет возможность колебательного перемещения вокруг оси 62, выполнен клещеобразной формы и один конец

0 рычага заканчивается плоской пружиной 65. Рычаг 63 пружиной 64 растяжения прижат к упору 66. Рычаг 63 боковой фиксации фотошаблонов расположен излучающим диодом 67 и фотодиодом 68.

5На плите 10 выполнен паз 69 (фиг. 2), в

которой размещен заталкиватель 70 подложек (фиг. 1-3), выпопненный Г-образной формы.

На столе между направляющими 12 и

0 14 (фиг. 2) установлено несколько светодио- дов 71 и фотодиодов 72 (в данном случае пять светодиодов и пять фотодиодов). Све- тодиоды 71 и фотодиоды 72 являются информаторами для считывающего устройства

5 (не показано), которое предназначено для распознавания информации по количеству размещенных в определенной последовательности отверстий на сопроводительной карте 73, которая располагается в нижней

0 йчейке кассеты 74. По сопроводительной карте 73 отыскивается нужный фотошаблон 22. Крайние светодиоды 75 (фиг. 2) и фотодиоды 76 служат для определения наличия подложки 13 на направляющих 12 и 14.

5На столе 1 условно показаны базовые

знаки 77 (фиг. 2), которые имеются на фотошаблоне, размещенном на столе 1. Над базовыми знаками 77 расположен осветитель 78 (фиг. 1 и 3), над базовыми знаками 0 датчик 79 базирования. Над фотошаблонами 23, расположенными на столе 1, находится источник 80 света.

Механизм 2 перемещения кассеты с подложками (фиг. 1) содержит кассету 74 с

5 расположенными в ней подложками 13 и сопроводительной картой 73 в нижней ячейке кассеты. Кассета 74 установлена в корпусе 81. В последнем располагаются излучающий диод 82 и фотодиод 83, которые

0 определяют наличие кассеты 74 в корпусе 81. Корпус 81 винтом 84 может перемещаться вверх - вниз до конечных выключателей 85 и 86. Вмнт 84 приводится во вращение приводом 87 через конические шестерни 88

5 и 89. Флажок 90 может вращаться вместе с шестерней 88. При вращении флажок 90 происходит между излучающими диодами 91 и 92 и фотодиодами 93 и 94.

Механизм 3 перемещения кассет с фотошаблонами (фиг. 1) содержит две кассеты

95 с расположенными в них фотошаблонами 23. Кассеты 95 установлены в корпусе 96, который винтом 97 может перемещаться вверх - вниз до конечных выключателей 98 и 99. Винт 97 приводится во вращение от привода 100 через конические шестерни 101 и 102. Флажок 103 может вращаться вместе с шестерней 101. При вращении флажок 103 проходит между излучающими диодами 104, 106 и 108 и фотодиодами 105, 107 и 109. Винтом 110 кассеты 95 могут перемещаться в пазы 11 в горизонтальном направлении (фиг. 2, показано стрелками). Винт 110 (фиг. 1) приводится во вращение приводом 111. Перемещение кассет 95 ограни- чивается конечными выключателями 112 и 113.

Механизм 4 для выталкивания подложек из кассеты содержит выталкиватель 114 (фиг. 1), толкающая часть которого имеет прямоугольную форму, кулису 115, кривошип 116, привод 117, предохранительное устройство 118, ось 119, соединяющую кулису 115 с рамой установки, конечные выключатели 120 и 121.

Механизм 5 для заталкивания подложек в кассету (фиг. 1) содержит заталкиватель70 подложек, кулису 122, кривошип 123, привод 124, ось 125, конечные выключатели 126 и 127.

Механизм 6 для выталкивания фотошаблона из кассеты (фиг. 1) содержит выталкиватель 128, кулису 129, кривошип 130, привод 131. ось 132, конечные выключатели 133 и 134.

Механизм 7 для заталкивания фотошаблона в кассету (фиг. 2) содержит заталкива- тель 135, кулису 136, кривошип 137, привод 138, ось 139, две направляющие 140, конечные выключатели 141 и 142. Механизм 7 условно показан в горизонтальном положении. Все выталкиватели и заталкиватели в механизмах 4, 5, 6 и 7 для заталкивания и выталкивания подложек и фотошаблонов подпружинены.

Механизмы 5, 6 и 7 имеют такие же предохранительные устройства, которые имеются в механизме 4 (фиг. 1. позиция 118). На корпусе источника 80 света установлен фотодатчик 143 контроля освещения (фиг. 1).

Устройство для совмещения и экспонирования работает следующим образом.

Робот(не показан) устанавливает кассету 74 (фиг. 1) с подложками 13 и сопроводи- тельный картой 73 в корпус 81. При этом кассета 74 пересекает луч света, выходящий из излучающего диода 82, и фотодиод 83 дает команду на включение привода 87. Последний, вращаясь против часовой стрелки.

через коническую пару 88 и 89 передает вращение на винт 84, который перемещает корпус 81 с кассетой 74 вниз. Флажок 90, вращаясь против часовой стрелки, пересекает луч, выходящий из излучающего диода 91, затемняет фотодиод, который выдает команду нг остановку привода 87. Нижняя ячейка, в которой расположена сопроводительная карта 73. останавливается таким образом, что сопроводительная карта 73 оказывается выше направляющих 12 и 14, расположенных на плите 10, на 0,1-1 мм. С остановкой привода 87 включается привод 117, который приводит во вращение кривошип 11 б, а последний начинает перемещать кулису 115 вправо, вращая ее вокруг оси 119. Кулисз 115 своим верхним концом перемещает выталкиватель 114 в правую сторону, а тот, перемещает сопроводительную карту 73 на стол 1. Сопроводительная карта

73,проходя между пятью излучающими диодами 71 и пятью фотодиодами 72, позволя- от считывающему устройству определить нсмеп партии подложек, находящихся в кассете 74. Излучающий диод 75 и фотодиод 76 дают информацию о прохождении сопроводительной карты 73 или подложек 13. На столе 1 по направляющим 12 и 14, если сопроводительной карты 73 или подложки 13 п кассете 74 не оказывается, то устройство останавливается, включается звуковой и световой сигналы (не показаны). После чего оператор должен выяснить причину отсутствия сопроводительной карты 73 и подложки 13, устранить эту причину и включить устройство для дальнейшей работы. Кулиса 115, дойдя до крайнего правого положения, не останавливаясь, перемещается в левое крайнее положение и конечным включателем 120 останавливается. В то время, когда кулиса 115 находится в крайнем правом положении, конечный включатель 121 включает привод 87 и с некоторой задержкой привод 124, Привод 87, вращая флажок 90 против часовой стрелки, затемняет фотодиод 94, который выдает команду на отключение привода 87. При этом кассета 74 опускается, а ячейка, в которой должна находиться сопроводительная карта 73, занимает положение, которое ниже расположения направляющих 12 и 14 на столе 1 на 0,1-1 мм.

Кассета 74 подготовлена для приема сопроводительной карты 73, а включенный привод 124 кривошипом 123 перемещает кулису 122 влево. Вместе с кулисой перемещается заталкиватель 70, который заталкивает сопроводительную карту 73 в кассету

74.Кулиса 122, не останавливаясь в крайнем левом положении, возвращается в исходное

крайнее правое положение и останавливается конечным выключателем 127.

Считывающее устройство дает команду на поиск соответствующего фотошаблона. Для этого, если необходимо, включается привод 111, который винтом 110 перемещает корпус 96, а с ним и две кассеты 95 в одно из нужных крайних положений. В крайних положениях кассеты останевгмваются конечными выключателями 112 или 113. Затем включением привода 100 в ту или другую сторону через коническую пару 101 и 102 винтом 97 кассеты 95 поднимаются или опускаются в зависимости от информации считывающего устройства, и останавливаются в том положении, при котором необходимый фотошаблон 23 занимает исходную позицию для выталкивания его на стол 1, При движении кассеты 95 вверх флажок 103 вращается по часовой стрепке и в нужный момент срабатывает фотодиод 107 у привод 100 останавливается. При этом нужный фотошаблон останавливается выш; направляющих 34 и 35 на расстсянии равном 0,1-1 мм. При движении кассеты 95 аниз флажок 103 вращается против часовой стрелки и в нужный момент срабатывает фотодиод 109 и привод 100 останавливается. При этом нужный фотошаблон также останавливается выше направляющих 34 и 35 на расстоянии, равном 0,1-1 мм, В первом и во втором случаях флажок 103 занимает одно и то же положение между фотодиодами 107 и 109.

После того, как фотошаблон займет исходную позицию, предназначенную для выталкивания его на стол 1, включается электромагнит 42, который через систему рычагов 48-50 (фиг. 3, 4), толкатели 44-47 и планку 55 поднимает внутренние края рычагов 53 и 54 на 1-2 мм, чтобы под ними мог переместиться фотошаблон 23.

Затем включается привод 131 и кулиса 129, кривошипом 130 начинает перемещаться в левую сторону, перемещая в ту же сторону и подпружиненный выталкиватель 128. Последний перемещает фотошаблон 23 на направляющие 34 и 35 (фиг. 3). По мере продвижения фотошаблона 23 по направляющим 34 и 35 фотошаблон 23 надавливает на один из концов рычага 63 фиксации фотошаблона. Другой конец рычага 63 фиксации фотошаблона плоской пружиной 65 надавливает на фотошаблон 23 и по мере продвижения фотошаблона пружина прижимает егок боковой стенке направляющей 34 (фиг. 3). Перемещаясь далее фотошаблон 23 упирается в основной упор 24 и кулиса 129 конечным выключателем 133 останавливается, а вместе с ней ос анавливается на

направляющих 34 и 35 и фотошаблон 23 (фиг. 1 и 2) После чего обесточивается электромагнит 42 и рычаги 53 и 54 внутренними своими концами с помощью пружин 61 кручения прижимают и зафиксируют фотошаблон 23 на направляющих 34 и 35 (фиг. 3), который также прижат плоской пружиной 65 к боковой стенке направляющей 34. Затем включается привод 131 и кулиса 129 вместе

0 с выталкивателем 128 занимают крайнее правое положение и привод 131 обесточивается конечным включателем 134.

Конечный выключатель 134 также выдает команду на включение привода 100, кото5 рый вращаясь против часовой стрелки, флажком 103 затемняет фотодиод 105, который выдает команду на отключение привода 100. Ячейка без фотошаблона занимает положение на 0,1-1 мм ниже направляющих

0 34 и 35. При этом положении кассета 95 готова принять фотошаблон 23 обратно в ту же ячейку, из которой он вышел.

Одновременно включением привода 131, который перемещает кулису 129 в край5 нее правое положение, включаются три привода вращения эксцентриковых валов 38, на которых сидят шарикоподшипники 36 (фиг, 2).

Подвижная рама 33 вместе с зафиксиро0 ванным на ней фотошаблоном 22 начинает колебаться на шарикоподшипниках 36, вращающихся эксцентрично и колеблется до тех пор пока базовые знаки 77 на фотошаблоне 23 не совместятся с базовыми знаками

5 в датчике 79 базирования.

Механизм совмещения в предлагаемом устройстве аналогичен механизму Я2МЗ, 859, входящему в установку ЭМ-552А,

Принцип работы механизма совмеще0 ния серийной установки ЭМ-552А Я2М3.859 основан на преобразовании аналогичных сигналов фотодиодов, реагирующих на световой поток, проходящий через базовые знаки фотошаблона в положительные им5 пульсы переменной скважности при отсутствии совмещения, фотошаблона с его базовым положением или в постоянные уровни Лог, I ТТЛ-логики (останов двигателей механизма совмещения) при совме0 щении фотошаблона с его базовым положением по координатам X,Y,Z с последующим преобразованием этих сигналов в команды управления двигателями механизма совмещения.

5 После совмещения базовых знаков одновременно с отключением приводов (фиг. 3) включается привод 87. Флажок 90 делает один оборот против часовой стрелки и фотодиодом выдается команда на остановку привода 87. Кассета 74 опускается на

один шаг вниз. Дается команда на включение привода 117, выталкиватель 114 перемещает подложку 13 на стол 1. После того как срабатывает конечный выключатель 121. выталкиватель 114 останавливается и включается электромагнит 20 (фиг. 3) и подложка рыча- го м 16 и подпружиненным выталкивателем 114 зафиксируется на фиксаторах 21 и 22 (фиг. 2).

Одновременно с включением электромагнита 20 включается привод 87, который опустит кассету 74, а вместе с ней направляющую пустой ячейки ниже направляющих 12 и 14, расположенных на столе 1, на 0,1-1 мм, и по команде от фотодиода 94 привод 87 останавливается.

После срабатывания электромагнита 20 через отверстие 27 подключается вакуум и к вакуумной присоске 25 присасывается подложка 13, которая фиксируется на вакуумной присоске 25. Включается привод 117, выталкиватель 114 перемещается влево и занимает исходное положение. Отключается электромагнит 20 и рычаг 16 отходит на подложки 13. Затем через штуцер 28 подается сжатый воздух, поршень 26 вместе с подложкой 13 перемещается вверх и подложка 13 прижимается к фотошаблону 23. Дальнейшее передвижение подложки вверх прекращается, так как два винта 31 (фиг. 1) упираются в плиту 10.

Затем включается источник 80 света и осуществляется эскпонирование подложки 13. Фотодатчик 143 контроля освещенности (фиг. 1) дает команду на отключение источника 80 света.

После окончания операции экспонирования отключается сжатый воздух, поршень 26 (фиг. 3) плоской пружиной 30 опускается вниз (фиг. 1), подложка 13 ложится на направляющие 12 и 14 (фиг. 2), отключается вакуум, включается привод 124 и заталкиватель 70 подложек (фиг. 1-3) перемещает подложку в кассету 74 и привод 124, не останавливаясь, возвращает кулису в исходное положение, в котором ее останавливает конечный выключатель 127. А конечный выключатель 126 при контактировании с кулисой в то время, когда она находилась в левом крайнем положении, выдает команду на включение привода 87. Привод 87 опускает кассету 74 вниз на один шаг, равный расстоянию между подложками 13 в кассете 74, и фотодиод выдает команду на включение привода 117. Кулиса перемещает выталкиватель 114 вправо и он следующую подложку направляет на стол 1 в зону экспонирования, После чего цикл работы устройства повторяется.

Шаговое опускание кассеты 74 осуществляется до тех пор, пока последняя подложка не проэкспонируется. После чего конечный выключатель 86 выдает команду

на включение привода 87 с обратным вращением и кассета 74 начинает подниматься до тех пор, пока не срабатывает конечный выключатель 85. После остановки кассеты 74 в верхнем крайнем положении кассета 74

0 с устройства извлекается и на ее место устанавливается другая кассета 74 с неэкспонированными подложками. После чего цикл работы устройства повторяется.

Если с сопроводительной карты 73 пол5 учена информация, говорящая о том, что фотошаблон 23 на столе 1 необходимо заменить, то считывающее устройство (не показано) выдает команду на включение электромагнита 42. который через систему

0 рычагов отжимает рычаги 53 и 54 от фотошаблона 23 (фиг. 3). Затем осуществляется включение привода 138 (фиг. 2) Заталкива- ель 135 (фиг. 2) кулисой по направляющим 140 начинает перемещаться вправо. В ту же

5 сторону заталкиватель 135 перемещает фотошаблон 23, находящийся на столе 1. Как только кулиса занимает крайнее правое положение, фотошаблон 23 заходит в свою ячейку в кассете 95. Срабатывает конечный

0 выключатель 142, который дает команду на поиск и выведение необходимого фотошаб-. лона на исходную позицию и подачу его на стол 1. Кулиса же не останавливаясь в правом крайнем положении перемещается в ле5 вое крайнее положение и конечным выключателем 141 останавливается.

После того, как дана команда на перемещение фотошаблона на стол 1, цикл работы устройства повторяется.

0 При перемещении подложки и фотошаблона на стол 1 для удаления с них пыли осуществляется обдув подложек и фотошаблонов очищенным сжатым воздухом. Устройства для обдува подложек и фотошаблонов условно не

5 показаны.

Преимущество предлагаемого устройства в сравнении с известным заключается в следующем.

Кассета с подложками и кассеты с фото0 шаблонами на предлагаемом устройстве располагаются вертикально, что позволяет предлагаемое устройство использовать в ГАЛ ФМ (гибкой автоматизированной линии формирования защитной маски), так как

5 имеется возможность автоматизированной замены кассет с подложками и фотошаблонами транспортными роботами.

Повышается производительность устройства путем уменьшения пути прохождения подложки из кассеты на стол 1 в зону

экспонирования и количества кассет с подложками до одной единицы (в известном дне кассеты: одна разгрузочная, другая загрузочная, что значительно сокращает время при замене кассеты на предлагаемом устройстве).

Уменьшаются габариты устройства путем ликвидации магазина с фотошаблонами, выполненного в виде колеса, а также за счет сокращения количества кассет с подложками,(Вместо двух кассет применяется одна).

Повышается надежность работы устройства, так как в, предлагаемом устройстве подложки и фотошаблоны перемещаются принудительно с помощью кривошипно-ку- лисного механизма, что позволяет уменьшить начальную и конечную скорость перемещения изделий, а в известном устройстве подложки и фотошаблоны перемещаются по наклонным поверхностям для собственным весом, что может приводить к заеданию, заклиниванию подложек и фотошаблонов на транспортных направляющих, а также возникает возможность раскола изделий,

То, что основные упоры 22 и 24 (фиг. 2) механизмов фиксации подложек и фотошаблонов в предлагаемом устройстве установлены с противоположных сторон от места расположения вакуумной присоски 25 (в известном устройстве основные упоры установлены с одной стороны от вакуумной присоски) позволяет кассету с подложками и кассеты с фотошаблонами также расположить с противоположных сторон от места расположения вакуумной присоски, а такое расположение кассет позволяет выполнить подачу подложек и фотошаблонов на стол 1 выталкивателями 114 и 128 для осуществления процесса экспонирования, а также позволяет осуществлять перемещение подложек и фотошаблонов обратно в кзссе- ты заталкивателями 70 и 135. При этом перемещение подложек и фотошаблонов осуществляется по самому короткому пути, что позволяет значительно повысить производительность труда.

Вертикальное расположение кассет с подложками и фотошаблонами позволяет полностью автоматизировать процесс экспонирования, так как замена кассет осуществляется с помощью транспортного робота, обслуживающего всю линию.

Для надежного перемещения подложек и фотошаблонов из кассет на стол 1 и из стола 1 обратно в кассеты направляющие в ячейках кассет для подложек и фотошаблонов имеют возможность в момент выгрузки находиться выше соответствующих направляющих на столе, а в момент загрузки подложек или фотошаблонов в кассеты направляющие для подложек или фотошаблонов в ячейках кассет имеют возможность располагаться ниже соответствующих направляющих на столе.

То, что рычаги фиксации фотошаблонов механизма фиксации фотошаблонов подпружинены, расположены на подвиж0 ной раме и через систему рычагов взаимодействуют с электромагнитом позволяет надежно закреплять фотошаблоны 23 рычагами 53 и 54 на подвижной.раме 33, без взаимодействия этих рычагов с рычагами 49

5 и 50 во время колебания подвижной рамы 33 на шарикоподшипниках 36, вращающихся эксцентрично на валах 38. Для отжатия рычагов 53 и 54 от фотошаблонов 23 (когда рама 33 не колеблется) рычаги 53 и 54 всту0 пают во взаимодействие с системой рычагов, в частности с рычагами 49 и 50, что позволяет отжимать два рычага 53 и 54 с помощью одного электромагнита 42.

То, что рычаг 63 боковой фиксации фо5 тошаблона механизма фиксации фотошаблона расположен на подвижной раме 33, подпружинен, имеет возможность колебательного перемещения вокруг оси 62, выполнен .клещеобразной формы и один конец

0 рычага заканчивается плоской пружиной 65 позволяет осуществлять прижим фотошаблона 23 к боковой стенке направляющей 34 путем усилия выталкивателя 128, не применяя для этой цели отдельного привода, что

5 упрощает конструкцию устройства.

То, что выталкиватели и заталкиватели для подложек и фотошаблонов в устройстве расположены с противоположных сторон от соответствующих кассет и при этом заталки0 ватель подложек расположен ниже направляющих для фотошаблона, а заталкиватель для фотошаблонов расположен над направляющими для фотошаблонов позволяет перемещать подложки и фотошаблоны в зону

5 экспонирования и располагать их над вакуумной присоской на разных-уровнях, а затем с этой зоны транспортировать их в соответствующие кассеты.

Формула изобретения

0 Устройство для совмещения и экспонирования фотошаблона и подложки, содержащее стол с вакуумной присоской, осветитель, кассеты для подложек и фотошаблонов, транспортирующие устройства,

5 механизмы фиксации подложек и фотошаблонов, отличающееся тем, что, с целью автоматизации работы, повышения производительности и надежности, в него введены выталкиватели и эзталкивагели подложек и фотошаблонов, причем заталкиватели расположены по разные стороны от плоскости, в которой расположены направляющие для фотошаблонов, на столе по трассе перемещения подложек по обе стороны от вакуумной присоски установлены упоры, механизм фиксации фотошаблонов выполнен в виде подпружиненных рычагов,

расположенных на подвижной раме с возможностью взаимодействия с приводом, а подпружиненный рычаг боковой фиксации механизма фиксации фотошаблонов выполнен клещеобразной формы и установлен с возможностью колебательно-вращательного перемещения,

Изобретение позволяет автоматизировать процесс перекоса изображения с фотошаблона на подложки. Цель изобретения - автоматизация работы, повышение производительности и надежности. Подложки находятся в кассете и подаются выталкивателем подложек. По команде считывающего устройства производится поиск фотошаблонов, которые находятся в кассете фотошаблонов. Фотоблок выталкивается из этой кассеты выталкивателем фотошаблонов. Последний перемещает фотошаблон на на- правляющие. Перемещаясь, фотоблок упирается в основной упор, и рычаги прижимают и фиксируют его. После совмещения фотошаблона с базовыми метками подложка перемещается на стол и фиксируется на фиксаторах. Подложка присасывается к вакуумной присоске и затем прижимается к фотошаблону. Производится экспонирование. После этого подложка и фотошаблон в обратном порядке перемещаются в соответствующие кассеты с помощью заталкивате- лей.4 ил. (/) С

а п

Фиг. I

/3, Q

Hyg

15,.

М

Вид А

11

10

Фиг. 2

60 50 6f 5Ц

Б-Б hoSepHymo W 80

УСж. Воздух

В-В повернуто

13 59

Фиг.з

TS&A

57

ФигЛ