Показать метаданные Скрыть метаданные

(19)

(11)

672 525

(13)

(51)

МПК

G01L9/06(2000-01-01)

(21) (22)

Заявка

2497514, 1977-06-17

(22)

дата подачи заявки

1977-06-17

(45)

опубликовано

1979-07-05

(72)

авторы

Будыко Юрий ИвановичВолокобинский Юрий МихайловичДухнин Юрий ВасильевичКоганер Валентин ЭйзеровичКабзев Юрий ВладимировичСмирнов Кирилл ВладимировичТифанюк Евгений Федорович

Датчик давления Советский патент 1979 года по МПК G01L9/06

Описание патента на изобретение SU672525A1

(54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Похожие патенты SU672525A1

название	год	авторы	номер документа
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ	1991	Ворожбитов А.И. Назаров В.И. Педоренко Н.П. Потапов А.В.	RU2010194C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ	1987	Белозубов Е.М. Жучков А.И.	RU2034252C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ	2011	Полунин Владимир Святославович Шараева Вера Петровна Вологина Валентина Николаевна Купоросова Наталья Ивановна Моисеева Светлана Борисовна	RU2464538C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ	2023	Полунин Владимир Святославович Шараева Вера Петровна Козлова Наталья Анатольевна Козлова Юлия Александровна	RU2805781C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ	1985	Белозубов Е.М. Педоренко Н.П.	RU2034251C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ	1984	Белозубов Е.М.	RU2024829C1
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ	2009	Белозубов Евгений Михайлович Васильев Валерий Анатольевич Васильева Светлана Александровна Громков Николай Валентинович Тихонов Анатолий Иванович	RU2391640C1
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ И СПОСОБ ЕГО НАСТРОЙКИ	1985	Белозубов Е.М. Михайлов П.Г.	RU2028584C1
ДАТЧИК РЕЗНОСТИ ДАВЛЕНИЙ	1986	Педоренко Н.П. Белозубов Е.М. Огуло В.И.	RU2047114C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ	1995	Синицин Е.В. Брехов Р.С. Зимин В.Н. Кривобоков В.П. Сауров А.Н.	RU2082128C1

Иллюстрации к изобретению SU 672 525 A1

Реферат патента 1979 года Датчик давления

Формула изобретения SU 672 525 A1

Изобретение относится к измерительной технике, может быть использовано при измерении давления быстроизменяющихся процессов.

Известен датчик давления с кремниевой мембраной 1.

Этот датчик имеет довольно сложное компенсирующее схемное устройство для устранения температурного дрейфа прибора.

Наиболее близок к предлагаемому датчик абсолютного давления, содержащий мембрану с тензорезисторами на воспринимающей давление части, соединенными в измерительную схему, полости измерительного и опорного давлений, разделенные воспринимающей давление частью мембраны, и компенсирующие тензорезисторы, расположенные на не воспринимающей давление части мембраныКЛ,

Однако схема, примененная в этом датчике, сложна в изготовлении и настройке и принципиально не может полностью компенсировать температурного изменения тевзочувствительности.

Цель изобретения - повышение температурной стабильности выходного сигнала

измерительной схемы датчика при одновременном упрощении конструкции и технологии изготовления.

Указанная цель достигается тем, что в известном датчике давления, содержащем мембрану с тензорезисторами на воспринимающей давление части, соединенными в измерительную схему, полости измеряемого и опорншо давлений, разделенные воспринимающей давление частью мембраны, и компенсирующие тензорезисторы, расположенные на не воспринимающей давление части мембраны, невоснринимающая часть мембраны жестко зафиксирована в дефор: ированном состоянии.

Терм око мпенсирующие тензорезисторы

находятся в одном и том же жестко зафиксированном деформированном положении, что позволяет получить в чистом виде сигнал термокомпенсации по изменению тензочувствительности компенсационной схемы. На фиг. 1 представлен общий вид датчика давления в разрезе, на фиг. 2 - электрическая схема датчика.

Датчик содержит мембрану из монокристаллического кремния с воспринимающей давление частью 1 и не воспринимающей

SU 672 525 A1

Авторы

Будыко Юрий Иванович

Волокобинский Юрий Михайлович

Духнин Юрий Васильевич

Коганер Валентин Эйзерович

Кабзев Юрий Владимирович

Смирнов Кирилл Владимирович

Тифанюк Евгений Федорович

Даты

1979-07-05—Публикация

1977-06-17—Подача