Способ получения чувствительного элемента для газового анализа Советский патент 1979 года по МПК G01N27/02 G01N31/06 

Легирование производят металлами с валентностью, равной или большей валентности катиона окисла.

Как показали исследования, при легировании металлами указанной валентности тонкой полупровода1иковой пленки окисла металла п-типа чувствительный элемент пассивируется в отношении влияния на него водорода (атомарного и молекулярного) и активируется в отношении влияния атомарного кислорода (или свободных радикалов, таких как ОН, СНз, NHj и др.).

Пример. Чувствительный элемент в виде тонкой полупроводниковой пленки окисла металла п-типа, нанесенной на нейтральную огнеупорную подложку, электропроводность которого регистрируется, легируют в вакууме при температуре пленки 350 С методом термодиффузии металлов. Периодически легирование прекращают, чувствительный элемент охлаждают до комнатной температуры и помещают в атмосферу водорода, частично диссоциированного. Легирование прекращают при равенстве значе1шА электропроводности чувствительного элемента в вакууме и атмосфере водорода.

В частности, легирование пленки окиси цинка цинком прекращают при изменении электропроводности пленки от начального значения на 325%. Такой чувствительный элемент не изменяет свою электропроводность при воздействии водорода (атомарного и молекулярного).

Использование предлагаемого способа позволяет, регистрируя на любом этапе изготовления изменение селективности чувствительного элемента, получать ее оптимальное значение, что дает возможность детектировать атомарный кислород (или указанные выше простейшие свободные радикалы) в среде водорода (атомарного и молекулярного) с лучшей точностью.

Формула изобретения

1.Способ получения чувствительного элемента для газового анализа путем легирования металлами тонкой полупроводниковой пленки окисла металла, нанесенной на нейтральную огнеупорную подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения селективных детектирующих свойств элемента в присутствии водорода, во время изготовления элемента измеряют его электропроводности в вакууме и в атмосфере водорода, при равенстве которых легирование заканчивают.

2.Способ по п. 1, отличающийся тем, что измерение электропроводности проводят в атмосфере водорода, частично диссоциированного.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Журнал Всесоюзного химического общества им. Д. И. Менделеева, № 1, 1975.

2.Патент США N 3901067, кл. 73-23, 1976.