Способ определения примеси Советский патент 1991 года по МПК G01N27/12 

сл

С

Изобретение относится к полупроводниковому газовому анализу и может быть использовано для определения газовой примеси в атмосфере неизмеряемого газового компонента. Цель изобретения - повышение чувствительности определения чувствительного элемента, изготовленного в виде тонкой полупроводниковой пленки оксида металла, нанесенной на нейтральную огнеупорную подложку, и термического источника колебательно:возбужденных молекул. Измеряют начальную скорость изменения электропроводности чувствительного элемента, помещенного в анализируемую среду, не менее чем при двух различных температурах термического источника колебательно-возбужденных молекул, и по полученным данным рассчитывается примесная газовая компонента.

Изобретение относится к полупроводниковому газовому анализу и может быть использовано для определения газовой примеси в атмосфере неизмеряемого газового компонента.

Цель изобретения заключается в повышении чувствительности определения.

Сущность способа определения примеси заключается в том, что анализируемую среду подают из баллона или газовой коммуникации в предварительно отвакуумиро ванную герметичную камеру, содержащую чувствительный элемент. Чувствительный элемент представляет собой полупроводниковую пленку оксида металла, нанесенную на огнеупорную изолирующую подложку из кварца, снабженную платиновыми контактами для измерения электропроводности. Термический источник колебательно-возбужденных молекул изготовлен в виде высокотемпературного диэлектрика, снабженного нагревателем, и помещен в камеру. После подачи среды в рабочую камеру чувствительный элемент выдерживают до постоянного значения электропроводности, затем включают источник колебательно-возбужденных молекул и регистрируют начальную скорость измерения электропроводности lf полупроводниковой пленки, помещенной в анализируемую среду, не менее чем при двух различных температурах Ti и Та термического источника колебательно-возбужденных молекул. По tg p угла наклона

кривой в координатах lnV6 - по формуле

Е (R 1,987 - газовая постоянная) находят величину колебательного кванта молекул газовой примеси и тем самым определяют саму примесь.

о ю сл го

П р и м е р 1. Способ определения дейтерия в качестве газовой примеси в атмосфере гелия с помощью чувствительного элемента из оксида цинка.

Полупроводниковую пленку ZnO наносят на огнеупорную изолирующую подложку из кварца; снабженную платиновыми контактами для измерения электропроводности. Подготовленный таким образом чувствительный элемент помещают в вакуумную камеру и напускают в эту камеру анализируемую смесь до давления - торр, Затем включают термический источник колебательно-возбужденных молекул и повышают его температуру до TI 1170 К, определяют значение начальной скорости изменения электропроводности Vs j.To же самое проводят при температуре Т2 1273 К и находят .Определяют. tg p

угла наклона кривой в координатах InVg - H

ifL

по формуле Е Rtg p находят величину колебательного кванта, для дейтерия она

89 ккал

моль

П р и м е р 2. Способ определения кислорода в качестве газовой примеси в атмосфере аргона с помощью чувствительного элемента из оксида цинка.

Последовательность операций такая же, как и в примере 1, с той лишь разницей, что измерение начальной скорости изменения электропроводности чувствительного элемента проводят при температурах TI 770 К и 2 820 К, для кислорода вепичина

колебательного кванта 4,5 кк л . моль

Формула изобретения Способ определения примеси в анализируемой газовой среде методом измерения начальной скорости изменения

электропроводности помещенного в камеру с анализируемой средой чувствительного элемента, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности определения, в камере размещают термический источник колебательно-возбужденных молекул, повышают его температуру и определяют значения начальной скорости изменения электропроводности не менее чем при двух различных температурах, и по полученным данным определяют примесный компонент,