Устройство для дозирования паров жидкости Советский патент 1993 года по МПК G01F13/00 

Изобретение может быть использовано, в частности, для дозирования количества диффузанта в его порах в химической, радио, электронной и другой промышленности. Известны устройства для дозирования паров жидкости, содержащие емкость с жидким диффузантом, расположенный в ней ограничитель площади поверхности испарения и соединенные с ним каналы для ввода газа-носителя отвода паров диффузанта, причем ограничитель выполнен в виде полого усеченного конуса, большое основание которого соединено с емкостью, а меньшее погружено в жидкий диффузант. Недостатком устройства является то, что при использовании низколетучих жидкостей при малых расходах газа-носителя увеличения температуры испаряемой жидкости ограничено условиями его разложения и не всегда выполнимо, а также то, что увеличение площади испарения приводит к увеличению размеров устройства. Кроме того, полый усеченный конус должён выполняться из прозрачного материала для возможности контроля уровня жидкости в испаряемом обьеме. Цель изобретения - расширение пределов применения и уменьшение габаритов. Эта цель достигается тем, что в устройстве верхнее основание емкости выполнено в виде эластичной мембраны, в которой укреплено меньшее основание полого усеченного конуса ограничителя, патрубки подвода и отвода газа-носителя подключены к упомянутой емкости, а заливочная горловина выполнена в меньшем основании ограничителя. На чертеже представлена схема устройства. Устройство содержит емкость 1 с испрзяемой жидкостью, в которой расположен ограничитель площади испарения в виде полого усеченного конуса 2, меньшее основание 3 которого соединено с подвижной эластичной мембраной 4, выполняющей функцию герметичной крышки, а большое основание 5 своим дном сообщено с внутреЬним объемом емкости 1. Ввод газа-носителя осуществляется через патрубок 6, а отвод паров жидкости в потоке газа носителя через патрубок 1. В патрубке установлен кран-натекатель 8. Для выставления уровня жидкости на контрольную отметку 9 подвижная мембрана 4 соединена с регулировочным винтом 10. Контрольную отметку 9, определяющую п проделе (при минимальном экстремальном расходе гоз-ч-иосителя) максимальную площадь испарения жидкости, делают на середине высоты поверхности усеченного конуса 2. Величину конусности, т.е. угол наклона образующей усеченного конуса 2 к основанию, подбирают в зависимости от вязкости жидкости, давления насыщенных паров и диапазона изменения расхода газа-носителя, .. ... Для заправки устройства жидким реагентом в усеченном конусе 2 имеется заливочная горловина 11. Устройство работает следующим образом. В емкость 1 через заливочную горловину 11 наливают жидкость, например, тетраэтоксисилан CsH2o04Si (т.кип, 168°С 700 мм рт.ст.) или другие сложные силаны, в обьеме V nv + Уб, где v - объем жидкости, испаряемой в течение одного цикла работы; п - число предстоящих циклов: Ve - балластный объем жидкости, в пределах которого происходит изменение плоидади поверхности испарения. Жидкость через горловину 11 заполняет емкость 1, после этого перед началом каждого цикла работы перемещают усеченный конус 2 внутри емкости до совпадения уровня жидкости с контрольной отметкой 9 на внешней гкэверхности усеченного конуса 2. После этого через патрубок б подают газ-носитель, затем краном-натекателем 8 уменьшают проходное сечение канала 7, Увеличение сопротивления потоку газа-носителя приводит к вытеснению жидкости из емкости 1 внутрь усеченного конуса 2 и снижению в ней уровня жидкости до заданного значения площади поверхности испарения. Захваченные с заданной площади поверхности испарения газом-носителем пары жидкости поступают в канал патрубка 7. При увеличении расхода газа-носителя относительно среднего расхода давление над поверхностью испарения увеличивается, что уменьшает площадь поверхности испарения. При увеличении расхода газа-носителя, наоборот, давление над поверхностью испарения уменьшается, что увеличивает площадь поверхности испарения. Таким образом, изменение расхода газа-носителя компенсируется изменением площади поверхности испарения, в результате чего количество дозируемых паров жидкости сохраняется неизменным в течение всего процесса. Применение этого устройства позволяет, оптимально используя объем устройства, производить дозирование паров различных жидкостей, вплоть до низколетучих, например сложных силанов, с температурой

кипения (160-260°С) с использойанием низких расходов газов носителей.

Формула изобретения

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОЗИРОВАНИЯ ПАРОВ ЖИДКОСТИ, содержащее емкость с жидким диффузантом, расположенный в ней ограничитель площади поверхности испарения, выполненный в виде полого усеченного конуса, патрубок подвода газаносителя, заливочную горловину, патрубок отвода газа-носителя с краном-натекателем, отличающееся тем, что, с целью рас(56) Авторское свидетельство СССР № 522641, кл. G 01 F 13/00, 1975.

ширения пределов применения и уменьшения габаритов, в нем верхнее основание емкости выполнено в виде эластичной мембраны, в которой укреплено меньшее основание полого усеченного конуса ограничителя, патрубки подвода и отвода газа-носителя подключены к упомянутой емкости, а заливочная горловина выполнена в меньшем основании ограничителя.

уУ/Су

sfK-/

V

-П 7 в