Ленточный конвейер Советский патент 1979 года по МПК B65G15/60 

i

Изобретение относится к промышленному транспорту, в частности к ленточным конвейерам для транспортирования изделий плоской формы и может быть исполъзоваио в электронной промьшшенности при производстве полупроводниковых приборов, например, на операциях фотолитографии, связанных с термообработкой слоя фоторезиста, нанесенного на полупроводниковую пластину.

Данная операция необходима для удаления остатков растворителя из пленки фоторезиста, а также для обеспечения большей адгезии между подложкой и фоторезистом. От проведения этой операции зависит качество формируемого в пленке изображения.

Известен ленточный конвейер, включающий грузонесущую сетчатую ленту, огибающую концевые барабаны, снабженные приспособлениями, фиксирующими на них ленту и предотвращающими ее боковой сход. При этом каждое фиксирующее приспособление выполнено в виде обреэиненных роликов, установленных под холостой ветвью конвейера, взаимодействующих с элементами наружной стороны сетчатой ленты. Ролики создают усилие, направленное в сторону, противоположную усилию, возникающему при взаимодействии элементов внутренней стороны ленты с обводаым барабаном 1 .

Однако данный койвейер не исключает схода ленты с барабанов в процессе работы. В результате этого на ленте образуются гофры и складки. Это отрицательно сказывается на качестве обработки материала.

Известен ленточный конвейер, включающий приводаой и натяжной барабаны с проточками на одном из краев, ленту с выстзпами, расположенными в проточках барабанов 2.

Недостатком конвейера является неравномерность термической обработки транспортируемого материала, так как натяжение ленты по щирт1е не одинаково.

Целью изобретения является новыщение равномерности термической обработки транспортируемого материала обеспечения выравнивания натяжения ленты по щирине.

Указанная цель достигается тем, что барабаны выполнены с наклоненными в сторону проточек винтовыми канавками. На фиг. 1 изображен ленточный конвейер, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. J; на фиг. 3 - схема действия сил в точке контактирования полотна ленты с выстуАрм винтовой канавки барабана. Конвейер содержит замкнутую грузонесущую „ленту 1, натянутую на приводной 2 и натяжной 3 барабан. Лента I выполнена из стеклоткани, армированной фторопластом (отвечающей по качеству требованиям полупроводнккового прогаводства при термической обработке слоя фоторезиста). . По одному краю ленты 1 выполнена стальная полоска 4, на которой на равном расстоянии Друг от друга имеются выступы 5 (металлические шипы). На поверхностях природного 2 и натяжного 3 барабанов соответственно выступам 5 выполнены проточки 6. Кроме того, по всей поверхности каждого барабана выполнены наклоненные в сторону проточек винтовые канавки, образующие выступы 7 и вПадины 8. Натяжное средство конвейера выполнено в виде двух винтов 9, а привод осуществляется от мотор-редуктора 10. При включении мотор-редуктора Ю барабаны 2 и 3 начинают вращаться. При этом в точках контактирования верхнего полотна ленты 1 во зникает сила натяжения Р, составляющая которой - тангенциальная Pt направлена в противоположную сторону от металлических ишпов 5. Наличие указанных сил при работе конвейера обеспечивает натяжение ленты I на барабанах 2 и 3 по ширине, в результате чего на полотне ленты 1 полностью отсутствуют неровности (гофры, складки). При транспортировании обрабатываемых .изделий, например, полупроволликовых пластин, изделия находятся в контакте с полотном грузонесущей ленты 1 всей своей поверхностью. Использование данного ленточного конвейера, в частности, в установках инфракрасной конвейерной термообработки, предназначенных для сушки (задубливания) слоя фоторезиста, нанесенного на полупроводниковую пластину, обеспечивает одинаковый температурный режим в зоне обработки для всех обрабатываемых пластин. Формула изобретения Ленточный конвейер, включающий приводной и натяжной барабаны с проточками на одном из краев, ленту с выступами, расположенньгми в проточках барабанов, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности термической обработки транспортируемого материала путем обеспечения выравнивания натяжения ленты по ширине, барабаны выполнены с наклоненными в сторону проточек винтовыми канавками. Источники информации, принятые во внимание при зкспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 191406, кл. в 65 G 15/54, 1965. 2.Авторское свидетельство СССР № 249258, кл. В 65 G 15/42, 1968 (прототип).

. Й/г.- -л

i1

Фиг.З