Устройство для управления процессом откачки электровакуумных приборов Советский патент 1979 года по МПК H01J9/38 

1

Изофетение относится к электровакуумной технике, а именно к устройствам управления процессом откачки электровакуумных приборов.

И;жвстно устройство управления процессом откачки, содержащее насос, средство управления насосом, датчики давления l

В этом устройстве отсутствует автоматизация управления процессе откачки;

Наиболее близким к изо(тению ретиением является устройство управления процессом откачки электровакуумных приборов, содержащее насос, средство управления насосом, источники питания электродов прибора, jдатчик давления а блок: ступеней вакуума 2,

Целью изобретения является оптимизация режимов откачки во времени с учетом давления в откачиваемом приборе, и его индивидуальных особенностей.

Достигается это тем, что в устройстве управления процессом откачки электровакуумных приборов блок ступеней ваку а выполнен в виде подключенных к источнику опорного напряжения потенциометров :по числу электродов прибора для установки сопротивлений в зависимости от ступени вакуума для соответствующего электрода прибора, и связан с выходом датчика давления по цепи обратной связи и источниками питания электродов через блоки сравнения, причем первый вход каждого блока сравнения соединен с выходом датчика да лешта, второй вход - с выходом соответствующего потенциометра блока ступеней вакуума, а выход соединен с управлякяцим входом соответствующего источника питания.

На чертеже показана схема устройства управлейия процессом откачки электровакуумных приборов.

Устройство содержит магниторазрядный насос 1, который едновргаленно служит и датчиком давления, средство управления насосом, включающее сопротивление 2, источник питания 3, устройство регулирования 4, блок 5 определения окончатшя процесса откачки, который сра батывает по сигналу, снтлаемому с сопротивления 2 и пропорциональному давлению в электровакуумном приборе 6. Пусковая схема, вкшочающая кнопку 7, сопротивление 8, емкость 9 и ключ 10 с контактной группой 11-16, связан с магниторазрядным насосом 1 сигналом по давлению в электровакуум юм приборе 6 и блоком ступеней вакуума, который .состоит из потенциометров 17-20 и источника 21 опорного напряжения. Блоки сравнения 22-25 связаны через потенциометры 26-29, огранкчйвакн пщмя напряжений на электродах электробакуумного прибора 6, с источниками питания 30-33 соответствующих гэлектро дов, а через контактную группу 11-16 с потенциометрами 17-20 блбка ступеней вакуума, Устройство управления процессом откачки рабртает следующим образом. На потенциометрах 17-20 выставляются сопротивления, в соответствии со ступенями вакуума для каждого электрод На потейоиок етрах 26-29 выставляются сопротивления обеспечивающие вы- ходите сигналь для управления через блоки сравнеяия 22-25 источниками питанш еоответстуюншх электродов, В таком положейни устройство подготовлено к пуску. Нажатием кнопки 7 сопротивлевдге 8 с емкостью 9 подключ(зется к первой сту пени вакуума (к потенциометру 19), с которой нйчинается процесс обезгаживания катода. Выход от сопротивления 8 и емкости 9 через контакт 13 попадает на один из входов блока сравнения 24, второй вход которого заземлен контакто 15, Начицается заряд емкости 9, а следовательно подъем напряжения на катоде электровакуумного прибора. При разогреве катода вакуум в приборе б ухудшается, ток магниторазрвдного -насоса 1 рас -теп . - - - - По достижении сигнала по вакууму, снимаемого с сопротивления 2 и эквивалентного сигналу первой ступени вакуум который задается потенйиометром 19, срабатывает ключ Ю пусковой схемы, отркЛючакиций контактом 13 сопротивление 8 и ёмкость 9 от блока сравнения 24, и замыкающий контакты 11-16, Вх ды блоков сравнения 22-25 оказываютс подключенными с одной стороны к соотв гтвующнм потенциометрам 17-2О, ас ругой стороны - к сигналу по вакууму, нимаемому с сопротивления 2, Так как игнал по вакууму является запирающим ля блоков сравнения 22-25, то на их ыходе сигнал равен нулю и напряжение ни на один электрод прибора 6 не будет подано. При работе насоса 1 вакуум в приборе 6 будет уменьшаться и начнется подача напряжения на электроды электровакуумного прибора 6 в той последовательности, как это было определено потенциометрами 17-2О при выборе ступеней вакуума, Подъем напряжения до номинального значения на любом из электродов прибора 6 может производиться как в течение всей отведенной для йего ступени вакуума, так ив ее части. Это будет определять ся соотношении величины ступени и коэффициентом передачи усиления блоков сравнения. Устройство управления процессом откачки позволяет выбрать одну ступень вакуума для всех электродов, тогда подъем напряжения на всех электродах прибора 6 будет производиться одновре- . менно. После выведения всех источников питания электродов прибора 6 на номинальное значение изапрограммированной выдержки времени блок 5 определения окончания процесса откачки произведет отключение источника питания 3 от магнитораз)рядного насоса 1 на заданный промежуток времени ипо величине прироста давления формируется команда на окончание процесса откачки и его продолжешя, В устройстве управления процессом откачки электровакуумных приборов в качестве датчиков давления могут быть испояьзовйны и другие датчики, имеющие электрический выход. Данное устройство управления процессом ОТК9ЧКИ позволяет -оптимизировать процесс откачки электровакуумных приборов по .времени и давлению с учетом индивидуальных особенностей каждого прибора, что позволяет повысить производительность труда. Устройство дает возможность полностью автоматизировать процесс откачки при о,беспечешга плавного повышения напряжения на электродах электровакуумного прибора. Устройство обладает универсальностью, что позволяет производить откачку электровакуумных приборов различных типов.