ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ Советский патент 1994 года по МПК C23C14/32 

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении для нанесения износостойких и защитных покрытий, а также в электронной технике для получения проводящих слоев и покрытий из плазменной фазы.

Целью изобретения является увеличение срока службы испарителя и повышение чистоты покрытий.

На чертеже изображен электродуговой испаритель металлов в разрезе.

Испаритель содержит коаксиальные рабочие электроды - анод 1 и расходуемый катод 2, торцовая часть которого выполнена из наносимого материала, между которыми находится нейтральная вставка 3 с изоляторами 4, 5 и 6. Нейтральная вставка3 и обращенные к ней нерабочие части анода 1 и расходуемого катода 2 снабжены кольцевыми буртами 7, 8, 9 и 10, образующими меандрообразные зазоры 11 и 12. Для поджига разряда между рабочими электродами используется поджигающий электрод 13, соединенный с источником электропитания 14 через ограничительное сопротивление 15. Источник электропитания 14 соединен с рабочими электродами через балластное сопротивление 16.

Электродуговой испаритель для нанесения проводящих материалов работает следующим образом.

Поджигающий электрод 13 приводится в соприкосновение с расходуемым катодом 2, после чего между рабочими электродами возбуждается дуговой разряд в парах расходуемого материала катода и осуществляется нанесение покрытий на подложку (на чертеже не показано). Благодаря наличию меандрообразных зазоров 11 и 12, образованных кольцевыми буртами 7-10, нейтральной вставки 3 и рабочих электродов 1 и 2 исключается запыление изоляторов 4-6, что позволяет повысить срок службы испарителя (испаритель может непрерывно работать до полного испарения сменной расходуемой торцовой части катода) и обеспечить высокую чистоту покрытий вследствие отсутствия примесей в покрытии материала вставки 3 из-за эрозии катодными пятнами дугового разряда, попадающими на нее при возможном запылении изоляторов.

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ, содержащий коаксиально расположенные анод, расходуемый катод, нейтральную вставку с изолятором и поджигающий электрод, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы и повышения чистоты покрытий, нейтральная вставка и обращенные к ней части анода и расходуемого катода снабжены кольцевыми буртами, причем бурты вставки размещены в пазах между буртами анода и расходуемого катода с образованием меандрообразных зазоров.