Криопанель вакуумного криогенного насоса Советский патент 1979 года по МПК F04B37/08 

(54) КРИОПАНЕЛЬ ВАКУУМНОГО КРИОГЕННОГО НАСОСА

1

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известны криопанели плоского типа, состоящие из двух дисков 1.

Недостатком известных конструкций является неравномерность охлаждения поверхности панели.

Известна также криопанель вакуумного криогенного насоса, содержащая два герметично соединенных диска с проточками, образующими канал для хладагента, и патрубки ввода и вывода последнего 2.

Недостатками указанной панели является сложность обеспечения контакта хладагента со всей поверхностью панели, возможность градиента температур по длине каналов большой протяженности. Это приводит к неравномерности охлаждения рабочей поверхности и, как следствие, к уменьшению быстроты откачки.

Целью изобретения является повышение эффективности откачки путем развития теплообменной поверхности криопанели.

Указанная цель достигается тем, что она снабжена кольцевым коллектором с отверстиями, сообщенным посредством последних

с каналом для хладагента и расположенным по периферии дисков, проточки выполнены концентричными, причем: выступы, образованные проточками одного диска, размещены в проточках другого, а патрубок ввода хладагента соединен с коллектором.

Криопанель вакуумного криогенного насоса содержит два герметично соединенных диска 1 и 2 с проточками, образующими канал 3 для хладагента, и патрубки ввода 4 и вывода 5 последнего. Криопанель снабжена кольцевым коллектором 6 с отверстиями 7, сообщенным посредством последних с каналом 3 для хладагента и расположенным по периферии дисков 1 и 2, проточки выполнены концентричными, причем выступы 8, обра зованные проточками диска 1, размещены в проточках диска 2, а патрубок 4 ввода хладагента соединен с коллектором 6.

Хладагент, например газообразный гелий с температурой 20°К, через патрубок 4 ввода поступает в кольцевой коллектор 6 и затем через отверстия 7 проходит в канал 3, двигаясь радиально к центру, волнообразно огибая кольцевые выступы 8, и удаляется через патрубок 5 вывода.

При этом значительно сокращается путь (tfa3areHTa, увеличивается поверхность его контакта с рабочей поверхностью панели и улучшаются условия теплообмейа.

Формула изобретения

КриОпанель вакуумного криогенного насоса, содержащая два герметично соединенных диска с проточками, образующими канал для хладагента, и патрубки ввода и вывода последнего, отличающаяся тем, что, с целью повышения эффективности откачки путем развития тепл обменной поверхносy

ти криопанели, она снабжена кольцевым коллектором с отверстиями, сообщенным посредством последних с каналом для хладагента и расположенным по периферии дисков, проточки выполнены, концентричными, причем вь1ступы, образованные проточками одного диска, размещены в проточках другого, а патрубок ввода хладагента соединен с коллектором.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Минайчев В. Е. Вакуумные крионасосы. М., «Энергия, 1976, с. 62. -2. Патент США № 3279214, кл. 62-55.5, опублик. 1974. ZZ////Z/7/ZZi 7////v////