Магниторазрядный насос Советский патент 1980 года по МПК H01J41/12 

1

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к средствам высокого и сверхвысокого вакуума.

Известны магниторазрядные насосы, ъ которых с целью достижения высокой откачной способности путем более интенсивного использования злектрического и магнитного полей, расстояния между соседними элементами анода (витками спирали) выбрано соответствующим двойной толщине слоя объемного разряда 1.

Однако такое соответствие может быть обеспечено (выбрано перед изготовлением) только для определенного, узкого диапазона рабочих давлений в насосе.

Известны также магниторазрядные насосы, содержащие герметичный корпус, внутри которого размещены катоды и анод, выполненный в виде упругой спирали с перегородками, образующими ячейки, причем один конец спирали жестко закреплен, а другой конец имеет возможность перемещаться 2.

Недостатком данного насоса является сложность конструкции и трудность обеспечивания при эксплуатации синхронности работы самого

насоса и механического устройства, изменяющего расстояние между витками спирали при быстром изменении давления в насосе.

Цель изобретения - улучшение условий зксплуатации и упрощение конструкции насоса..

Это достигается тем, что спираль анода выполнена из биметалла.

На фиг. 1 показан магниторазрядный насос, разрез; на фиг. 2 - то же, поперечный разрез. Насос состоит из герметичного корпуса 1,

10 изолированных от корпуса катодных пластин 2, анода 3, выполненного ъ виде спирали из биметалла.

Один конец спирали жестко прикреплен к

15 корпусу 1, насоса, другой - к ограничивающему кольцу 4, свободно вращающемуся на оси 5.

Фланцем 6 насос крепится к откачиваемому объему.

20

С помощью магнитов 7 в ячейках анода 3 создается и поддерживается постоянное магнитное поле, перпендикулярное к плоскости катодов 2. 37 ХЬгя обр1пон;1} ия ячеисгой cipyKiypiii спиРПЛЬНОГО анода 3 к виткам С 1ир;и1и ириварсн с определенным шагом перфорированные упругие перегородки 8. Насос работает следующим образом. При достижении предварительного разряжения, необходимого для запуска насоса, подает ся питание на электроды, анод 3 и катод 4 насоса. В результате возникающего меж/ду ними тлеющего разряда, усиленного магнитным полем, происходит распьш геттера, которьЕЙ Откачивает газы, находящиеся в зоне разряда. При работе на аноде выделяется мощность в виде тепла, и анод разогревается до температуры порядка 300°С. Температура анода находится в определенно зависимости от давления в насосе. Под влиянием этой температуры спираль анода, вьшолнениая из двух разнородных металлов с различными коэффициентами линейного расширения, будет закручиваться (раскр чиваться) , изменяя, тем самым, автоматически расстояние между витками и размер ячеек в такой же зависимости от давления, в какой изменяется температура анода. Такое исполнение насоса позволяет использовать энергию, выделяемую н виде тепла во время работы насоса, на изменение размера ячеек анода. Формула изобретения Магниторазрядный насос, содержащий герметичный корпус, внутри которого размещены катоды и анод, выполненный в виде упругой спирали с перегородками, образующими ячейки, причем один конец спирали жестко закреплен, а другой конец имеет возможность перемещаться, отличающийся тем, что, с целью улучшения условий эксплуатации и упрощения конструкции насоса, спираль анода вьшолнена из биметалла. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Патент Францш № 1506644, кл. F 04 F, опублик. 1966. 2.Авторское свидетельство СССР по заявке № 2441082/18-25, кл. Н 01 J 41/12, 05.01.77 (прототип).