Магниторазрядный насос Советский патент 1978 года по МПК H01J41/12 

(54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано в установках, требующих безмасляной откачки газов.

Известны магниторазрядные насосы, в которых ячеистый анод, расположенный в магнитном поле между катодами из геттерного материала, состоит из множества ячеек одного диаметра и, по крайней мере, одной ячейки большего размера, расположенной между первыми ячейками (ij.

Такое исполнение насоса не позволяет получить максимального значения скорости откачки с площади, занимаемой анодом, потому что в этом случае тоЛько часть площади анода, например занимаемая ячейками малого диаметра, работает эффективно при определенном давлении, в то время как другая часть площади анода, занимаемая большими ячейками, работает неэффективно.. В результате суммарная скорость откачки со всей площади анода получается меньше той, которую можно было бы получить, если бы анод был заполнен ячейками одного оптимального размера.

Известны также магниторазрядные нйсосы, в которых внутри герметического корпуса в магнитном поле размещены катоды

в виде двух пластин из геттерного материала и анод, расположенный между ними, выполненный в виде спирали (2j.

Недостатком такой конструкции является то, что нельзя изменять расстояние между витками анода, а следовательно, и обесПечйвать наибольшую скорость откачки газов.

Целью изобретения является повышение Стабилизации скорости откачки и экономичности насоса.

„

Это достигается тем, что в предлагаемом

насосе анод выполнен в виде упругой спирали -с перфорированными упругими перегородками между витками и снабжен устройством ДЛЯ плавного изменения,расстояния

между виткамн спирали.

Устройство ДЛЯ плавного изменения расстояния между витками спирали выполнено В Виде подвижной оси, на одном конце которой установлено ограничительное кольцо,

а другой ее конец выведен в атмосферу через вакуумный ввод вращения.

На фиг. J показан описываемый ма; ниторазрядный насос, общий вид с чacтичны вырезам стенки для лучшего показа конгрунции; на фиг. 2 - разрез по А- -А

на ,фкг. I. Магниторазрядный насос содержит герметический Kopnycl, катоды 2. спиральный анод 3, подвижную ось 4, на которой с одного концй крепится ограничительное кольцо 5, а другой конец оси выведен через вакуумный ввод 6 вращении в атмосферу. Магнитное поле в насосе создаете при помощи катушки 7. Фланец 8 предназначен для крепления насоса к вакуумной системе. Между витками спирали находятся перфорнрованные упругие перегородки 9, которые одним конаом прикреплены к спирали. Для изменения расстояния между витками спирали анода 3 при помощи герметичного ввода 6 вращают в ту или иную сторону подвижиую ось 4. При этом упругие перегородки 9, образующие ячейки, будут складываться в случае раскручивания и уменьшать размеры ячейки, в случае скручивания распрямляться и увеличивать ее размеры. Применение предлагаемого насоса позволяет повысить и стабилизировать скорость откачки в широком диапазоне давлений, что приведет к значительной экономии при эксплуатации насоса. Формула изобретения . Магннторазрядный насос, содержащий герметический корпус, внутри которого в магиитном поле размещены катоды в виде двух пластин из геттерного материала, и анод, расположенный между ними, выполненный в виде спщал,отличающийся тем, что, с целью повышения стабилизации скорости откачки и экономичности насоса, анод выполиен в виде упругой спирали с перфорированными упругими перегородками между витками и снабжен устройством для плавного изменения расстояния между вйткамн спирали. 2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что устройство для плавного нзменения расстояния между витками спирали выполнено в виде подвижной оси, на одном конце которой установлено ограничительное кольцо, а другой её конец выведен в атмосферу через вакуумный ввод вращення. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Патент США № 3.364.370, кл. 313- 17, 1968. 2.Патеит Франции № 1.506.644, кл. F 04 f, J966.

fm.i

/I-A