Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1980 года по МПК F04D19/04 

(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

1

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям турбомояекулярных вакуумных насосов.

Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий охлаждаемый корпус с расположенными в нем статором и ротором 1.

Недостатком этого насоса является больщие энергозатраты, обусловленные значительными потерями хладагента в процессе работы.

Известен также турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем ротор и охлаждаемый статор с сорбентом, выполненный в виде дисков с лопатками. Сорбент расположен в форвакуумной полости 2.

Однако расположение сорбента в форвакуумной полости не позволяет улучщить откачные характеристики проточной части насоса..

Целью изобретения является улучщение откачных характеристик.

Указанная цель достигается тем, что в лопатках статорных дисков с торцовой стороны выполнены выемки и сорбент размещен в последних.

На фиг. 1 показан насос, продольный разрез; на фиг. 2 - часть статорного диска. ,

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем 5 ротор 2 и охлаждаемый статор 3 с сорбентом 4, выполненный в виде дисков 5 с лопатками 6. В лопатках 6 статорных дисков 5 с торцовой стороны выполнены выемки 7 и сорбент 4 размещен в последних. Кроме того, на статоре 3 расположены змеевик 8 О и нагреватель 9.

Насос работает следующим образом.

Предварительно производится регенерация сорбента 4 в лопатках 5 статорных дисков 5 путем прогрева его при помощи наJ5 гревателя 9. Затем через змеевик 8 пропускается хладагент и Осуществляется охлаждение сорбента 4. При этом происходит предварительное вакуумирование полости насоса. Далее ротор 2 приводится во вращение и производится откачка газа из 20 откачиваемого объема.,

Сорбент, размещенный в лопатках ста- -торных дисков, препятствует проникновению паров рабочего масла и продуктов его распада в откачиваемый объем и по.ддерживает

в определенном интервале давление газа во внутренней поюсти насоса, тем самым улучшая его откачные характеристики.

Формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем ротор и охлаждаемый статор с сорбентом, выполненный в виде дисков с лопатками.

отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, в лопатках статорных дисков с торцовой стороны выполнены выемки и сорбент размещен в последних.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США ° 3536418, кл. 417-49, опублик. 1970.

2.Авторское свидетельство СССР № 533757, кл. F 04 D 19/04, 1973.