(54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Турбомолекулярный вакуумный насос | 1978 |
|
SU737660A1 |
| Молекулярный вакуумный насос | 1983 |
|
SU1155027A1 |
| Турбомолекулярный вакуумный насос | 1973 |
|
SU533757A1 |
| Криогенный двухступенчатый вакуумный насос | 1977 |
|
SU691600A1 |
| ДВУХПОТОЧНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС С ГИБРИДНЫМИ ПРОТОЧНЫМИ ЧАСТЯМИ | 2014 |
|
RU2543917C1 |
| Криогенный фрвакуумный насос | 1976 |
|
SU629357A1 |
| ОДНОПОТОЧНЫЙ ЧЕТЫРЕХСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС | 2014 |
|
RU2560133C1 |
| Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия | 1977 |
|
SU642506A1 |
| Криоадсорбционный насос | 1988 |
|
SU1682628A1 |
| Криогенная форвакуумная ловушка | 1988 |
|
SU1572119A1 |
Г
Изобретение относится к вакуумной техкике, а именно к устройству молекуляршых тзхуумных насосов.
Известны молекулярные вакуумные юоосы, содержащие корпус и расположенные в нем ротор и охлаждаемый статор, заключенный в тонкостенный цилиндр с образованием полости, заполненной сорбентом 1.
Недостатком известных насосов является невысокая степень сжатия.
Цель изобретения - повышение степени сжатия насоса.
Указанная цель достетается тем, что ротор вьшолнен в ввде барабана, а статор имеет ширальные пазы и сообщенные с ними я полостью окна, в которых установлены металлические пластины из пористого материала.
На чертеже изображен насос, продольный разрез.I
Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем ротор 2 и охлаждаемый статор 3, заключенный в тонкостенный цилиндр 4 с образованием полости 5, заполненной сорбентом 6, причем рот(ф 2
вьшолнен в виде барабана, а статор 3 имеет спиральные пазы 7 и сообщенные с ними и not лостью 5 окна 8, в которьос установлены металлические пластины 9 из пористого материала. На тонкостенном щишнщте 4 расположены змеевик 10 для даркуляции хладагента н нагреватель И, а в полости 5 размещены перегородки 2 из высокотеплопрюводного материала.
Насос работает следующим образом.
10
В змеевик 10 подается хладагент, который охлаждает статор 3, а вместе с ним и сорбент
6,что позволяет обеспечить предварительное вакуумнрование внутренней полости насоса без использования форвакуумного насоса.
IS Затем приводится во вращение ротор 2 и газ из откачиваемого объема по спиральным пазам 7 переносится со стороны всасывания иа сторону нагнетания, частично поглощаясь сорбентом 6 через окна 8, сообщешпле с пазамя
20
Такое вьшолнение насоса обеспечивает снижение давления всасывания и повышение степени сжатия.
Форм у л а и 3 о б ре те н и я
Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус н расположенные в нем ротор н охлаждаемый статор, заключенный в тонкостенный щшиндр с образованием полости, заполненной сорбентом, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, ротор выполнен в виде барабана, а статор имеет спиральные пазы и сообщенные с ними и полостью окна, в которых установлены металлические пластины из пористого материала.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР N 533757 кл. F 04 D 19/04, 1973.
