Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1981 года по МПК F04D19/04 

(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов. Известны турбомолекулярные вакуум ные насосы, содержащие корпус и расположенные в нем статор и ротор, выполненные в виде дисков с лопатками 1 . Недостатком известных насосов являются невысокие откачные характеристики вследствие ограниченности скорости вращения ротора. Цель изобретения - увеличение откачных характеристик при выполнении дисков ротора из титана или его спла вов. Указанная цель достигается тем, что между дисками статора, расположенными на входе насоса, и остальными дисками статора расположена токоизолирующая проставка, а на корпусе размещена магнитная система, создающая магнитное поле, перпендикулярное плоскости дисков, причем к дискам статора, расположенным на вхо де, подключен источник высокого напряжения. На чертеже представлен насос, .продольный,- разрез. Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем статор 2 и ротор 3, выполненные в виде дисков 4,5 и 6 с-лопатками, при этом между дисками 4 статора 2, расположенными на входе насоса, и остальными дисками 5 статора 2 расположена токоизолирующая проставка 7, а на корпусе 1 размещена магнитная система 8, создающая магнитное поле, перпендикулярное плоскости дисков 4,5 и 6, причем к дискам 4 статора 2, расположенным на входе, подключен источник высокого напряжения. Источник высокого напряжения подключен посредством токопровода 9. Насос работает следующим образом. Молекулы остаточного-газа, поступающие из откачиваемого объема, соударяясь с лопатками дисков 6. быстро вращающегося ротора 3, получают импульс в направлении откачки и переносятся к выходу из насоса. К дискам 4 статора 2 по токопроводу 9 подводится высокое напряжение от источника (5-10 кВ), в результате чего возникает разряд , ионизирующий остаточный газ.Ионы остаточного газа бомбардируют диски 6 ротора 3,

распыляя материал дисков 6(титан или егр сплавы).Распыленный титан образует с остаточным газом твердые соединения и является дополнительным откачным средством.

Таким образом в предлагаемом насосе помимо эффекта откачки, создаваемого турбомолекулярным насосом, реализует дополнительно эффект откачки, аналогичный работе геттерноионного насоса, что позволяет улучшить откачные характеристики насоса в целом без увеличения его геометрических размеров.

Формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумньлй насос, содержащий корпус и расположенные в

нем статор и ротор, выполненные в виде дисков с лопатками, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик при выполнении дисков ротора из титана или его сплавов , между дисками статора расположена токоизолирующая проставка, а на корпусе разметена магнитная система, со:здающая магнитное поле, перпендикулярное плоскости дисков, причем к дискам статора, расположенным на входе, подключен источник высокого напряжения.

Источники информации, . принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 533757, кл. F 04 D 19/04, 1973.